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고정체인 하우징; 상기 하우징의 내부 일측에 구비되어 피 측정물의 변위에 따라 상응하게 변위되는 변위부; 상기 하우징의 내부 타측에 구비되어 상기 변위부에 작용되는 이상 진동에 대응하는 상대 진동을 발생시켜 상쇄시켜주는 진동 상쇄부; 및 상기 변위부와 진동 상쇄부를 연결하는 연결부;를 포함하되,상기 변위부는, 상기 하우징의 내부 일측에 배치되는 제1 유동체와, 상기 하우징의 내벽과 상기 제1 유동체 사이에 이격되게 배치된 채 제1 상부 탄성체 및 제1 하부 탄성체를 매개로 상기 하우징에 연결되는 제1 힌지 서포트와, 상기 제1 힌지 서포트와 상기 제1 유동체 사이의 상부 및 하부를 각각 연결하여 상기 제1 유동체가 상하 직선 유동만 가능하도록 안내하는 제1 상부 안내바 및 제1 하부 안내바와, 상기 제1 유동체와 연결된 채 피 측정물과 접촉 또는 비 접촉에 의해 피 측정물의 변위를 감지하는 프로브로 구성되고,상기 진동 상쇄부는, 상기 하우징의 내부 다른 일측에 격벽을 사이에 두고 상기 제1 유동체와 나란하게 배치된 채 상기 제1 유동체가 이상 진동할 때 상쇄 유동하는 제2 유동체와, 상기 하우징의 내벽과 상기 제2 유동체 사이에 이격되게 배치된 채, 제2 상부 탄성체 및 제2 하부 탄성체를 매개로 상기 하우징에 연결되는 제2 힌지 서포트와, 상기 제2 힌지 서포트와 상기 제2 유동체 사이의 상부 및 하부를 각각 연결하여 상기 제2 유동체 사이의 상부 및 하부를 각각 연결하여 상기 제2 유동체가 상하 직선유동만 가능하도록 안내하는 제2 상부 안내바 및 제2 하부 안내바로 구성되며,상기 연결부는, 상기 하우징의 내부 중, 상기 제1 유동체 및 제2 유동체의 하부에 수평상 배치된 채 그 길이방향 중점이 상기 하우징에 힌지 연결되는 레버와, 상기 제1 유동체와 상기 레버의 일단부를 연결하는 수직상의 제1 연결바와, 상기 제2 유동체와 상기 레버의 타단부를 연결하는 수직상의 제2 연결바로 구성된 것을 더 포함하는 진동 상쇄구조를 갖는 변위측정유닛
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청구항 1에 있어서,상기 제1 상부 탄성체, 제1 하부 탄성체, 상기 제1 상부 안내바, 제2 하부 안내바, 제2 상부 탄성체, 제2 하부 탄성체, 제2 상부 안내바 및 제2 하부 안내바는 판 스프링 또는 노치형 유연힌지인 진동 상쇄구조를 갖는 변위측정유닛
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청구항 1에 있어서,상기 제1 유동체 하부 또는 제2 유동체 상부에 설치되어, 상기 제1 유동체 또는 제2 유동체로부터부터 전달되는 변위값을 감지하는 변위센서를 더 포함하는 진동 상쇄구조를 갖는 변위측정유닛
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청구항 1에 있어서,상기 변위부와 진동 상쇄부는 와이어 방전 가공에 의해 일체로 제작된 진동 상쇄구조를 갖는 변위측정유닛
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청구항 1에 있어서,상기 프로브에 설치되는 비 접촉식 변위센서를 더 포함하는 진동 상쇄구조를 갖는 변위측정유닛
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청구항 1에 있어서,상기 프로브는 제1 유동체와 일체로 된 진동 상쇄구조를 갖는 변위측정유닛
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7
청구항 1에 있어서,상기 프로브는 별개로 제작되어 상기 제1 유동체에 끼움 결합된 진동 상쇄구조를 갖는 변위측정유닛
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8
제1항 내지 제7항 중, 어느 한 항에 기재된 진동 상쇄구조를 갖는 변위측정유닛을 복수개 구비하여 서브 베이스 상에 등간격으로 원형 배열되어 이루어진 변위측정장치
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청구항 8에 있어서,상기 각 변위측정유닛을 소정각도로 받쳐주는 베이스를 더 포함하는 변위측정장치
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청구항 9에 있어서,상기 변위측정유닛, 베이스 및 서브 베이스는 모두 또는 일부가 일체형으로 된 변위측정장치
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청구항 8에 있어서,상기 각 변위측정유닛의 프로브에 설치되는 비 접촉식 변위센서를 더 포함하는 변위측정장치
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