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다수의 공극을 포함하는 기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 금속 함유 나노와이어가 집적되도록 금속 함유 나노와이어를 포함하는 용액을 여과시키는 단계; 및상기 기판을 건조시키는 건조 단계;를 포함하되,상기 금속 함유 나노와이어는 상기 공극을 통과하지 않고, 인접한 금속 함유 나노와이어와 표면 플라즈몬 공명을 유도하는 나노갭을 형성하며,상기 금속 함유 나노와이어의 표면에는 코팅물질이 존재하고,상기 코팅물질을 이용하여 상기 나노갭이 조절되는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속 함유 나노와이어는 각기 불규칙한 방향을 가지며, 기 설정된 두께 이상으로 집적되고,상기 기 설정되는 두께는 표면증강 라만 분광용 기판의 라만 신호 증가가 포화되는 두께를 기준으로 설정되는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속 함유 나노와이어 상에 절연막을 형성하는 단계; 및상기 절연막 상에 상호 이격되어 표면 플라즈몬 공명을 유도하는 나노갭을 형성하는 금속 함유 나노입자를 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 금속 함유 나노입자와 금속 함유 나노와이어 사이에는 표면 플라즈몬 공명을 유도하는 나노갭이 형성된 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 기판은 유리섬유로 제조된 여과지인 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 기판은 알루미나, 테프론(Polytetrafluoroethlylene, PTFE), 폴리카보네이트(Polycarbonate, PC), 셀룰로오스(cellulose) 및 종이 중 어느 하나 인 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 여과는 진공여과 방식을 이용한 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판의 제조방법
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제1항 및 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 금속은 Ag, Al, Au, Co, Cu, Fe, Li, Ni, Pd, Pt, Rh, Ru 및 이의 합금 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 건조 단계는 상기 기판 상에 잔존하는 상기 금속 함유 나노와이어를 제외한 물질을 제거하는 열처리를 이용한 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속 함유 나노와이어가 집적되는 두께는 상기 용액 내 금속 함유 나노와이어의 농도 및 상기 용액의 여과량을 이용하여 조절되는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속 함유 나노와이어가 집적되는 밀도는 상기 용액 내 금속 함유 나노와이어의 농도 및 상기 용액의 여과량을 이용하여 조절되는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 플라즈몬 공명의 파장은 상기 금속 함유 나노와이어의 재질, 지름, 길이 중 적어도 어느 하나를 이용하여 조절되는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 절연막은 알루미나, 금속산화물, 금속황화물, 금속 할로겐화물, 실리카, 산화지르코늄 및 산화철 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 절연막은 진공증착 및 용액공정 중 어느 하나를 이용하여 형성한 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 금속 함유 나노입자는 라만활성물질을 진공증착시켜 형성되는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판의 제조방법
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제16항에 있어서,상기 진공증착은 스퍼터링(sputtering), 기화(evaporation) 및 화학 증기 증착(chemical vapor deposition) 중 어느 하나를 이용한 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판의 제조방법
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다수의 공극을 포함하는 기판; 및상기 공극을 통과하지 않고 상기 기판 상에 집적된 금속 함유 나노와이어;를 포함하되,상기 금속 함유 나노와이어는 인접한 금속 함유 나노와이어와 표면 플라즈몬 공명을 유도하는 나노갭을 형성하며,상기 금속 함유 나노와이어의 표면에는 코팅물질이 존재하고,상기 코팅물질을 이용하여 상기 나노갭이 조절되는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판
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제18항에 있어서,상기 금속 함유 나노와이어는 각기 불규칙한 방향을 가지며, 기 설정된 두께 이상으로 집적되고,상기 기 설정되는 두께는 표면증강 라만 분광용 기판의 라만 신호 증가가 포화되는 두께를 기준으로 설정되는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판
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제18항에 있어서,상기 금속 함유 나노와이어 상에 형성된 절연막; 및상기 절연막 상에 형성되며 상호 이격되어 플라즈몬 공명을 유도하는 나노갭을 형성하는 금속 함유 나노입자;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판
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제20항에 있어서,상기 금속 함유 나노입자와 금속 함유 나노와이어 사이에는 표면 플라즈몬 공명을 유도하는 나노갭이 형성된 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판
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제18항에 있어서,상기 기판은 유리섬유로 제조된 여과지인 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판
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제18항에 있어서,상기 기판은 알루미나, 테프론(Polytetrafluoroethlylene, PTFE), 폴리카보네이트(Polycarbonate, PC), 셀룰로오스(cellulose) 및 종이 중 어느 하나 인 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판
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제18항에 있어서,상기 금속 함유 나노와이어는 금속 함유 나노와이어를 포함하는 용액을 상기 기판을 통해 진공여과 방식으로 여과시켜 상기 기판상에 금속 함유 나노와이어를 집적시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판
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제18항에 있어서,상기 금속은 Ag, Al, Au, Co, Cu, Fe, Li, Ni, Pd, Pt, Rh, Ru 및 이의 합금 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판
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제18항에 있어서,상기 기판은 상기 기판 상에 잔존하는 상기 금속 함유 나노와이어를 제외한 물질을 제거하는 열처리를 하여 건조한 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판
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제24항에 있어서,상기 금속 함유 나노와이어가 집적되는 두께는 상기 용액 내 금속 함유 나노와이어의 농도 및 상기 용액의 여과량을 이용하여 조절되는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판
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제24항에 있어서,상기 금속 함유 나노와이어가 집적되는 밀도는 상기 용액 내 금속 함유 나노와이어의 농도 및 상기 용액의 여과량을 이용하여 조절되는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판
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제18항에 있어서,상기 플라즈몬 공명의 파장은 상기 금속 함유 나노와이어의 재질, 지름, 길이 중 적어도 어느 하나를 이용하여 조절되는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판
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제20항에 있어서,상기 절연막은 알루미나, 금속산화물, 금속황화물, 금속 할로겐화물, 실리카, 산화지르코늄 및 산화철 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판
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제20항에 있어서,상기 절연막은 진공증착 및 용액공정 중 어느 하나를 이용하여 형성한 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판
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제20항에 있어서,상기 금속 함유 나노입자는 라만활성물질을 진공증착시켜 형성되는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판
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제33항에 있어서,상기 진공증착은 스퍼터링(sputtering), 기화(evaporation) 및 화학 증기 증착(chemical vapor deposition) 중 어느 하나를 이용한 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판
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다수의 공극을 포함하는 기판을 준비하는 단계;금속 함유 나노와이어를 포함하는 용액에 분석물질을 혼합하여 혼합 용액을 형성하는 단계;상기 혼합 용액을 상기 기판에 여과시키는 단계;상기 기판을 건조시키는 건조 단계; 및상기 분석물질에 광조사하여 라만 신호를 검출하는 단계;를 포함하되,상기 금속 함유 나노와이어는 상기 공극을 통과하지 않고, 인접한 금속 함유 나노와이어와 표면 플라즈몬 공명을 유도하는 나노갭을 형성하며,상기 금속 함유 나노와이어의 표면에는 코팅물질이 존재하고,상기 코팅물질을 이용하여 상기 나노갭이 조절되는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판을 이용한 분석방법
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제18항 내지 제24항, 및 제26항 내지 제34항 중 어느 한 항에 기재된 표면증강 라만 분광용 기판을 준비하는 단계;상기 기판에 분석물질을 여과시키는 단계; 및상기 분석물질에 광조사하여 라만 신호를 검출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면증강 라만 분광용 기판을 이용한 분석방법
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