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초발수/초친수 특성을 가진 금속 표면 구조의 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015130062
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 의한 초발수/초친수 특성을 가진 금속 표면 구조는, 금속대상물의 표면에 형성된 마이크로 크기의 요철과, 상기 요철의 표면에 형성된 나노 크기의 돌기와, 상기 돌기의 외측에 코팅되어 초발수 또는 초친수 특성을 갖도록 하는 초발수-초친수층을 포함하여 구성된다. 본 발명에 의한 초발수/초친수 특성을 가진 금속 표면 구조의 형성 방법은, 금속 대상물의 표면에 기계적 가공 또는 화학적 가공을 실시하여 요철을 형성하는 요철형성단계와, 상기 요철에 플라즈마 식각 공정을 실시하여 돌기를 형성하는 돌기형성단계와, 상기 돌기의 외측에 초발수-초친수층을 형성하여 상기 마이크로-나노 표면구조층이 초발수 또는 초친수 특성을 갖도록 하는 초발수-초친수층형성단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 16/02 (2006.01) C23C 14/02 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC B01J 2/30(2013.01) B01J 2/30(2013.01) B01J 2/30(2013.01) B01J 2/30(2013.01) B01J 2/30(2013.01)
출원번호/일자 1020110032424 (2011.04.08)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1311754-0000 (2013.09.17)
공개번호/일자 10-2012-0114720 (2012.10.17) 문서열기
공고번호/일자 (20130926) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020130016758;
심사청구여부/일자 Y (2011.04.08)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김도근 대한민국 경상남도 창원시
2 김종국 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 강재욱 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 김창수 대한민국 경상남도 창원시 성산구
5 정성훈 대한민국 서울특별시 은평구
6 이승훈 대한민국 서울특별시 성동구
7 문명운 대한민국 서울특별시 성북구
8 김상섭 대한민국 경기도 부천시 원미구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김기문 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동 현죽빌딩)(한미르특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
3 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0255875-08
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.10.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.11.22 수리 (Accepted) 9-1-2012-0087734-15
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.02.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0094050-97
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0140816-20
8 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2013.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0140802-92
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.02.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0140828-78
10 등록결정서
Decision to grant		 2013.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0583541-39
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
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금속 대상물의 표면에 마이크로샌드 블라스팅, 방전 가공, 레이저 가공을 실시하거나, 에칭공정 또는 포토 리소그라피 공정을 실시하여 마이크로 크기의 요철을 형성하는 요철형성단계와, 상기 요철에 플라즈마 식각 공정을 실시하여 돌기를 형성하는 돌기형성단계와, 상기 돌기의 외측에 초발수-초친수층을 형성하여 상기 마이크로-나노 표면구조층이 초발수 또는 초친수 특성을 갖도록 하는 초발수-초친수층형성단계로 이루어지고,상기 돌기형성단계와 초발수-초친수층형성단계는 진공 챔버에서 연속적으로 실시되며,상기 초발수-초친수층형성단계는 O2 플라즈마 또는 CF4 플라즈마가 선택적으로 적용되어 초발수 또는 초친수층의 형성이 가능한 것을 특징으로 하는 초발수/초친수 특성을 가진 금속 표면 구조의 형성 방법
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금속 대상물의 표면에 마이크로샌드 블라스팅, 방전 가공, 레이저 가공을 실시하거나, 에칭공정 또는 포토 리소그라피 공정을 실시하여 마이크로 크기의 요철을 형성하는 요철형성단계와, 상기 요철에 플라즈마 식각 공정을 실시하여 돌기를 형성하는 돌기형성단계와, 상기 돌기의 외측에 초발수-초친수층을 형성하여 상기 마이크로-나노 표면구조층이 초발수 또는 초친수 특성을 갖도록 하는 초발수-초친수층형성단계로 이루어지고,상기 돌기형성단계 중 플라즈마 식각 시간 및 가속 전압을 변경시에 초발수 또는 초친수 특성이 선택적으로 발현되며,상기 초발수-초친수층형성단계는 O2 플라즈마 또는 CF4 플라즈마가 선택적으로 적용되어 초발수 또는 초친수층의 형성이 가능한 것을 특징으로 하는 초발수/초친수 특성을 가진 금속 표면 구조의 형성 방법
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제 11 항 또는 제 12 항에 있어서, 상기 돌기형성단계는, 1
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제 11항 또는 제 12 항에 있어서, 상기 초발수-초친수층형성단계는, 1
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1 지식경제부 한국기계연구원 부설 재료연구소 소재원천기술개발사업 나노표면 다차 구조제어 융복합 공정시스템 기술개발