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3차원 곡면의 피가공 대상물을 장착하고 x축 및 y축 방향으로 구동되는 XY스테이지;상기 XY스테이지의 상방에서 z축 방향으로 구동되는 Z스테이지;상기 피가공 대상물을 향하는 대물렌즈를 z축 방향으로 이동시키도록 상기 Z스테이지에 장착되는 스탭 모터;상기 Z스테이지에 장착되어 상기 대물렌즈로 레이저 빔을 조사하는 레이저 헤드;상기 레이저 헤드와 상기 대물렌즈 사이에 설치되는 제1 빔 스플리터;상기 Z스테이지에 장착되어 상기 3차원 곡면의 형상을 측정하는 공초점 광학계;상기 공초점 광학계와 상기 대물렌즈 사이에 설치되는 제2 빔 스플리터; 및상기 공초점 광학계에서 측정한 상기 3차원 곡면의 데이터에 따라 상기 XY스테이지, Z스테이지 및 스탭 모터를 제어하고, 상기 레이저 헤드의 출력을 제어하는 제어부를 포함하며,상기 제1 빔 스플리터는 상기 대물렌즈의 상방에 배치되고,상기 제2 빔 스플리터는 상기 제1 빔 스플리터의 상방에 배치되며,상기 레이저 헤드는,상기 제어부의 제어에 따라 상기 피가공 대상물의 3차원 곡면의 형상을 측정하는 측정용 레이저 빔, 및 상기 피가공 대상물의 3차원 곡면에 홈을 가공하는 가공용 레이저 빔을 선택적으로 조사하고,상기 제1 빔 스플리터는,상기 레이저 헤드에서 조사되는 상기 측정용 레이저 빔 및 상기 가공용 레이저 빔을 반사하여, 상기 대물렌즈를 통하여 상기 피가공 대상물에 이르게 하고,상기 피가공 대상물에서 반사되는 측정용 레이저 빔을 상기 대물렌즈의 반대측으로 투과시켜 상기 제2 빔 스플리터에 이르게 하는 3차원 곡면의 홈 패터닝 장치
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제1 항에 있어서,상기 스탭 모터는,상기 대물렌즈의 z축 방향 이동을 측정하여 상기 제어부에 신호를 인가하는 광학 스케일을 구비하는3차원 곡면의 홈 패터닝 장치
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제1 항에 있어서,상기 공초점 광학계는,상기 제2 빔 스플리터로부터 반사되는 측정 레이저 빔의 초점을 형성하는 공초점 렌즈,상기 공초점 렌즈를 진행하는 레이저 빔을 핀홀로 통과시키는 디스크, 및상기 핀홀을 통과하는 레이저 빔을 감지하여 상기 제어부에 인가하는 광센서를 포함하는 3차원 곡면의 홈 패터닝 장치
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제1 항에 있어서,상기 대물렌즈, 제1 빔 스플리터 및 제2 빔 스플리터의 수직 연장선 상에 설치되는 광역 광학계, 및상기 광역 광학계의 수직 연장선 상에 설치되어 상기 레이저 빔의 초점을 확인하여 상기 제어부에 인가하는 CCD 카메라를 더 포함하는 3차원 곡면의 홈 패터닝 장치
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