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외부와 밀폐되게 형성되는 메인 챔버(100);상기 메인 챔버(100)의 양측에 구비되어 기판(700)의 양단이 연결되어 권취되며, 상기 기판(700)이 메인 챔버(100) 내부를 통과하도록 형성되는 공급롤(200) 및 회수롤(300);상기 메인 챔버(100)에 구비되어 상기 메인 챔버(100) 내부를 통과하는 기판(700)을 유도 가열하는 인덕터(400);상기 메인 챔버(100)의 일측에 형성되어 메인 챔버(100) 내부로 탄소를 포함한 가스를 공급하는 가스 공급부(500); 및상기 메인 챔버(100)의 일측에 형성되어 메인 챔버(100) 내부의 가스를 배출하는 가스 배출부(600); 를 포함하여 이루어지며,상기 메인 챔버(100), 공급롤(200) 및 회수롤(300)은 수직으로 형성되어, 상기 공급롤(200)이 메인 챔버(100)의 상측에 형성되고 상기 회수롤(300)이 메인 챔버(100)의 하측에 형성되되, 상기 회수롤(300)은 수직으로 배출되는 기판(700)으로부터 수평방향으로 일정거리 이격되게 형성되며, 상기 회수롤(300)에 권취되는 기판(700)의 하측에 구비되는 리미트 센서(800)를 더 포함하여 이루어지는 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치
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제1항에 있어서,상기 인덕터(400)는 상기 기판(700)의 외부를 둘러싸는 인덕션 코일인 것을 특징으로 하는 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치
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제2항에 있어서,상기 메인 챔버(100)는 상기 인덕션 코일에 의해 가열되지 않는 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치
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제1항에 있어서,상기 메인 챔버(100)의 일측에 형성되어 상기 공급롤(200)이 내부에 수용되는 공급 챔버(210); 및 상기 메인 챔버(100)의 타측에 형성되어 상기 회수롤(300)이 내부에 수용되는 회수 챔버(310); 를 더 포함하여 이루어지는 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치
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제1항에 있어서,상기 인덕터(400)는 상기 메인 챔버(100)의 내부에 구비되며, 상기 메인 챔버(100) 내부를 통과하는 기판(700)의 폭 방향 및 길이 방향으로 이동 가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치
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제1항에 있어서,상기 메인 챔버(100)와 공급롤(200) 사이에 형성되는 전처리부(2000)를 더 포함하여 이루어지며,상기 전처리부(2000)는 외부와 밀폐되게 형성되어 기판(700)이 내부를 통과하도록 형성되는 전처리 챔버(100a); 상기 전처리 챔버(100a)에 구비되어 상기 전처리 챔버(100a) 내부를 통과하는 기판(700)을 유도 가열하는 인덕터(400);상기 전처리 챔버(100a)의 일측에 형성되어 전처리 챔버(100a) 내부로 탄소를 포함한 가스를 공급하는 가스 공급부(500); 및상기 전처리 챔버(100a)의 일측에 형성되어 전처리 챔버(100a) 내부의 가스를 배출하는 가스 배출부(600); 를 포함하여 이루어지는 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치
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제6항에 있어서,상기 전처리 챔버(100a)는 배출부(120a)가 메인 챔버(100)의 투입부(110)에 연결되도록 결합되는 것을 특징으로 하는 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치
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제1항에 있어서,상기 메인 챔버(100)를 통과한 기판(700)이 리미트 센서(800)에 접촉되었을 때, 상기 회수롤(300)은 일정시간 또는 일정각도 회전되는 것을 특징으로 하는 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치
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제1항에 있어서,상기 메인 챔버(100)는 투입부(110)의 기판(700)이 공급되는 전단 및 배출부(120)의 기판(700)이 배출되는 후단에 노즐(5)이 형성되는 것을 특징으로 하는 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치
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제1항에 있어서,상기 메인 챔버(100)의 투입부(110) 및 배출부(120)는, 챔버(1); 상기 챔버(1) 내부에 구비되어 기판(700)이 통과되며, 챔버(1)를 밀폐하는 두 쌍의 실링 롤러(2); 상기 챔버(1)의 일측에 형성되어 챔버(1) 내부로 특정한 가스를 공급하는 가스 공급부(3); 및 상기 챔버(1)의 일측에 형성되어 챔버(1) 내부의 가스를 배출하는 가스 배출부(4); 를 포함하여 이루어지는 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치
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제11항에 있어서,상기 두 쌍의 실링 롤러(2) 사이에 구비되어 기판(700)의 일면에 밀착되는 텐션 조절 롤러(6) 및 상기 텐션 조절 롤러(6)의 일측에 결합되는 텐션 측정부(7)를 더 포함하여 이루어져, 상기 텐션 측정부(7)에서 측정되는 값에 따라 한 쌍의 제1실링롤러(2-1) 및 한 쌍의 제2실링롤러(2-2)의 속도가 제어되는 것을 특징으로 하는 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치
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