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압전 엑츄에이터;상기 압전 엑츄에이터를 지지 및 고정하는 지지부와, 상기 지지부의 일측에 형성되는 기둥부 및 상기 기둥부와 탄성 힌지부로 연결되어 상기 압전 엑츄에이터의 상부에 배치되는 지렛대부를 포함하는 변형 프레임;상기 지렛대부를 관통하여 체결되고, 상기 압전 엑츄에이터의 상부면에 접촉되도록 높이 조절이 가능한 제1 예압인가부재;상기 지지부 하부에 배치되는 체결판을 관통하여 체결되고, 상기 지지부 하부면에 접촉되도록 높이 조절이 가능한 제2 예압인가부재; 및상기 변형 프레임에 길이방향으로 체결되는 스프링부를 포함하고,상기 제1 예압인가부재 및 제2 예압인가부재를 높이 조절함으로써, 상기 압전 엑츄에이터에 예압을 가하고, 상기 예압에 의한 상기 변형 프레임의 미소 변형을 복원하는 지렛대형 변위확대기구
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제 1항에 있어서, 상기 지렛대부에는 내부에 나사산이 형성된 관통홀이 형성되고, 상기 제1 예압인가부재는 외부면에 상기 나사산에 대응하는 나사부가 형성되는 지렛대형 변위확대기구
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 제1 예압인가부재는 상기 압전 엑츄에이터의 상부면과 접촉되는 부분이 둥근 형태로 형성된 볼 플런저인 지렛대형 변위확대기구
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제 1항에 있어서,상기 스프링부는 탄성금속체이고, 상기 스프링부는 상기 변형 프레임의 전면부 및 후면부에 각각 체결되는 지렛대형 변위확대기구
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압전 엑츄에이터;상기 압전 엑츄에이터를 지지 및 고정하는 지지부와, 상기 지지부 일측에 탄성 힌지부로 연결되어 형성되는 제1 브릿지부와, 상기 지지부 타측에 상기 제1 브릿지부와 대칭 형성되는 제2 브릿지부 및 상기 제1 브릿지부와 상기 제2 브릿지부 상부에 형성되는 상부 프레임을 포함하는 변형 프레임;상기 상부 프레임을 관통하여 체결되고, 상기 압전 엑츄에이터의 상부면에 접촉되도록 높이 조절이 가능한 제1 예압인가부재;상기 지지부 하부에 배치되는 체결판을 관통하여 체결되고, 상기 지지부 하부면에 접촉되도록 높이 조절이 가능한 제2 예압인가부재; 및상기 변형 프레임에 길이방향으로 체결되는 스프링부를 포함하는 브릿지형 변위확대기구
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제 5항에 있어서, 상기 상부 프레임에는 내부에 나사산이 형성된 관통홀이 형성되고, 상기 제1 예압인가부재는 외부면에 상기 나사산에 대응하는 나사부가 형성되는 브릿지형 변위확대기구
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제 5항에 있어서, 상기 스프링부는 탄성금속체이고, 상기 스프링부는 상기 변형 프레임의 전면부 및 후면부에 각각 체결되는 브릿지형 변위확대기구
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