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미세패턴 불량 교정방법

  • 기술번호 : KST2015130626
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 기판에 형성된 다수의 패턴형성영역에 형성된 미세패턴 중 불량 미세패턴을 교정하는 미세패턴 불량 교정방법에 관한 것으로서, 상기 미세패턴형성 영역에 대응하도록 개구된 레이져통과구를 갖는 마스크를 상기 미세패턴 상에 배치하는 단계와; 상기 불량 미세패턴에 대응하는 상기 레이져통과구로 레이져를 조사하여 상기 불량 미세패턴을 제거하는 단계와; 상기 불량 미세패턴이 제거된 패턴형성영역에 정상적인 미세패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 미세패턴의 불량 영역을 빠르고 정밀하게 보정함과 동시에, 미세패턴 불량 영역 확대를 미연에 방지할 수 있는 미세패턴 불량 교정방법이 제공된다. 미세패턴, 불량, 교정, 보정, 마스크, 레이져
Int. CL H01L 21/00 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC G03F 7/7065(2013.01)G03F 7/7065(2013.01)
출원번호/일자 1020070013858 (2007.02.09)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0810043-0000 (2008.02.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080305) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.02.09)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이택민 대한민국 대전 유성구
2 신동윤 대한민국 대구 수성구
3 김충환 대한민국 서울 강남구
4 조정대 대한민국 대전 유성구
5 김동수 대한민국 대전 서구
6 최병오 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양광남 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)
2 연무식 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.02.09 수리 (Accepted) 1-1-2007-0123300-33
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.01.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.02.12 수리 (Accepted) 9-1-2008-0005637-67
4 등록결정서
Decision to grant		 2008.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0098521-10
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
기판에 형성된 다수의 패턴형성영역에 형성된 미세패턴 중 불량 미세패턴을 교정하는 미세패턴 불량 교정방법에 있어서, 상기 미세패턴형성 영역에 대응하도록 개구된 레이져통과구를 갖는 마스크를 상기 미세패턴 상에 배치하는 단계와;상기 불량 미세패턴에 대응하는 상기 레이져통과구로 레이져를 조사하여 상기 불량 미세패턴을 제거하는 단계와;상기 불량 미세패턴이 제거된 패턴형성영역에 정상적인 미세패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 불량 교정방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 미세패턴은 상기 기판의 판면을 따라 소정의 선형 배열 구조로 형성되고, 상기 레이져통과구는 상기 선형 배열 구조에 대응하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 불량 교정방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 미세패턴은 상기 기판의 판면에 메쉬형상 구조로 형성되고, 상기 레이져통과구는 상기 메쉬형상 구조에 대응하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 불량 교정방법
4 4
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 레이져의 스폿은 점광원, 선광원, 면광원 중 어느 하나의 형태인 것을 특징으로 하는 미세패턴 불량 교정방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 불량 미세패턴이 제거된 패턴형성영역에 정상적인 미세패턴을 형성하는 단계는 상기 패턴형성영역에 정상적인 미세패턴재료를 채우고 경화시키는 단계인 것을 특징으로 하는 미세패턴 불량 교정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.