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롤 임프린트 장치

  • 기술번호 : KST2015130813
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유연성 패턴 플레이트의 장착이 가능한 패턴 롤을 구비한 롤 임프린트 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 임프린트 장치는, 롤 형상으로 감겨진 상기 유연성 기판을 회전하면서 공급하는 필름 롤과, 패턴 플레이트가 표면에 고정되어 회전하면서 상기 유연성 기판에 패턴을 전사하는 패턴 롤, 및 상기 유연성 기판을 사이에 두고 상기 패턴 롤과 인접하여 회전하는 가압 롤을 포함하여 유연성 기판을 연속적으로 이송하면서 임프린트 공정을 수행할 수 있으며, 이 때, 상기 패턴 롤은 내부에 히터가 장착되고, 상기 히터에 열전대가 연결되어 온도를 제어할 수 있다. 롤 임프린트, 히터, 패턴 플레이트, 패턴 롤, 가압 롤, 열전대, 플레이트 조임부
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020090042704 (2009.05.15)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0937211-0000 (2010.01.08)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20100120) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.05.15)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조정대 대한민국 대전 유성구
2 유종수 대한민국 대전 유성구
3 김광영 대한민국 경남 창원시
4 김동수 대한민국 대전 서구
5 허 신 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2009-0293231-47
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2009.06.02 수리 (Accepted) 1-1-2009-0333701-22
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.07.22 수리 (Accepted) 9-1-2009-0043441-30
5 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination		 2009.08.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2009-0014250-19
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0352930-18
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.10.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0617952-58
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2009-0617950-67
9 등록결정서
Decision to grant		 2009.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0532377-35
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
유연성 기판을 연속적으로 이송하면서 임프린트 공정을 수행하는 롤 임프린트 장치에 있어서, 롤 형상으로 감겨진 상기 유연성 기판을 회전하면서 공급하는 필름 롤; 유연성 패턴 플레이트가 표면에 고정되어 회전하면서 상기 유연성 기판에 패턴을 전사하는 패턴 롤; 및 상기 유연성 기판을 사이에 두고 상기 패턴 롤과 인접하여 회전하는 가압 롤; 을 포함하고, 상기 패턴 롤에는, 표면에 플레이트 고정부가 형성되고, 상기 플레이트 고정부와 이웃하여 플레이트 조임부가 형성되며, 상기 플레이트 고정부는, 상기 패턴 롤의 표면으로부터 함몰된 함몰부와, 상기 함몰부에 체결되면서 상기 유연성 패턴 플레이트의 일 단부를 고정시키는 고정바를 포함하는 롤 임프린트 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 패턴 롤은 내부에 히터가 장착되고, 상기 히터에 열전대가 연결되어 온도를 제어하는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 플레이트 조임부는 상기 패턴 플레이트의 단부가 삽입될 수 있는 삽입홈이 상기 패턴 롤의 표면에 형성되고, 상기 삽입홈의 내부에는 상기 유연성 패턴 플레이트의 일 단부를 파지하여 끌어당김으로써 상기 유연성 패턴 플레이트가 상기 패턴 롤의 표면에 밀착되게 할 수 있는 한 쌍의 조임기어가 설치되는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 유연성 패턴 플레이트는 Ni, Cr, Cu, Au 및 스테인레스 강으로 이루어지는 군에서 선택된 금속재가 전주도금(electroforming) 된 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 필름 롤과 패턴 롤의 사이에서 상기 유연성 기판이 지나는 경로에 할로겐 램프 또는 자외선 램프를 설치한 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 유연성 기판이 지나는 경로에서 상기 패턴 롤의 전후에 정전기 방지장치가 설치된 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 패턴 롤의 상부에 위치하며 상기 패턴 롤의 축과 연결되어, 상기 패턴 롤과 가압 롤의 사이를 지나는 유연성 기판에 압력과 하중을 제어하는 스텝핑 모터와 로드셀(load cell)이 설치되는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 패턴 롤의 출력단에는 냉각기가 설치되어 상기 유연성 기판을 냉각시키는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치
11 11
제 1 항에 있어서, 상기 유연성 기판은 상기 패턴 롤과 상기 가압 롤 사이를 지나도록 설정되면서 압착되는 것을 특징으로 하는 롤 임프린트 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 2009년도 주요사업 마이크로 연속생산장비 핵심요소기술 개발