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정전기 스프레이 장치

  • 기술번호 : KST2015134770
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 정전기 스프레이 장치에 관한 것으로, 저장조 내부에 저장된 전구체를 냉각 상태로 유지시킴으로써, 별도의 분산제 등을 첨가하지 않아도 전구체 내에 함유된 입자 응집 현상을 방지할 수 있고, 이에 따라 분사 노즐에 의한 안정적인 분사가 가능할 뿐만 아니라 첨가물에 의한 코팅층의 불순물 잔류 현상을 방지할 수 있어 더욱 양질의 코팅층을 얻을 수 있고, 또한, 저장조의 전구체를 냉각하는 냉각 기능과 분사 노즐에 공급되는 전구체를 다시 가열하는 가열 기능을 냉동 사이클을 이루는 하나의 열교환 장치를 통해 모두 수행하도록 구성함으로써, 각각 냉각장치 및 가열장치를 별도로 구비하지 않아도 되므로, 그 구조가 간단하고 제작이 용이하며, 열교환 장치에서 발생하는 열에 대한 손실 없이 응축열 및 증발열을 모두 활용할 수 있어 에너지 효율이 향상되는 정전기 스프레이 장치를 제공한다.
Int. CL B05B 5/025 (2006.01) B05B 5/16 (2006.01)
CPC B05B 5/03(2013.01) B05B 5/03(2013.01) B05B 5/03(2013.01) B05B 5/03(2013.01)
출원번호/일자 1020110073580 (2011.07.25)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1263592-0000 (2013.05.06)
공개번호/일자 10-2013-0012401 (2013.02.04) 문서열기
공고번호/일자 (20130513) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.07.25)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 우지훈 대한민국 서울특별시 성동구
2 윤현 대한민국 서울특별시 송파구
3 라영민 대한민국 충청북도 청주시 상당구
4 윤석구 미국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍동우 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, * 층 (역삼동, 혜천빌딩)(지혜안국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2011-0572792-19
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2011-0607387-30
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.10.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0625187-19
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-1060196-55
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.01.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0059493-97
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2013-0059489-14
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0272441-66
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전구체를 대전시켜 분사하고, 분사된 전구체를 정전기적 인력에 의해 피처리 기판에 부착하는 정전기 스프레이 장치에 있어서,전구체를 저장하는 저장조; 상기 저장조로부터 전구체를 공급받아 피처리 기판에 에어로졸 상태로 분사하는 분사 노즐; 상기 분사 노즐을 통해 분사되는 전구체가 대전될 수 있도록 고전압을 인가하는 고전압 인가 장치; 및 상기 저장조에 저장된 전구체를 아이스 슬러리 상태로 냉각하고, 상기 저장조로부터 상기 분사 노즐로 유입되는 과정에서 전구체를 액체 상태로 가열하는 열교환 장치를 포함하고, 상기 저장조 내부에는 아이스 슬러리 상태의 전구체를 교반할 수 있도록 별도의 교반기가 장착되는 것을 특징으로 하는 정전기 스프레이 장치
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 전구체는 입자를 함유한 형태의 전구체가 적용되는 것을 특징으로 하는 정전기 스프레이 장치
4 4
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 열교환 장치는냉매가 압축기, 제 1 열교환부, 팽창 밸브 및 제 2 열교환부를 순환하는 냉동 사이클을 이루도록 구성되며, 상기 제 1 열교환부에서는 냉매와의 열교환을 통해 전구체가 가열되고, 상기 제 2 열교환부에서는 냉매와의 열교환을 통해 전구체가 냉각되는 것을 특징으로 하는 정전기 스프레이 장치
5 5
제 4 항에 있어서,상기 제 1 열교환부는 상기 저장조와 상기 분사 노즐을 연결하는 전구체 공급 호스를 감싸는 형태로 형성되고, 상기 제 2 열교환부는 상기 저장조의 외부를 감싸거나 또는 상기 저장조의 내부에 위치하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 정전기 스프레이 장치
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 전구체 공급 호스에는 전구체 흐름 방향을 따라 상기 제 1 열교환부보다 전방에 위치하도록 전구체 유량 조절기가 장착되는 것을 특징으로 하는 정전기 스프레이 장치
7 7
제 6 항에 있어서,상기 고전압 인가 장치는 상기 전구체 공급 호스의 상기 제 1 열교환부와 상기 분사 노즐 사이 구간에 연결되는 것을 특징으로 하는 정전기 스프레이 장치
8 8
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 피처리 기판이 안착되며 접지되도록 접지 단자가 형성되는 스테이지가 구비되고, 상기 스테이지에는 상기 피처리 기판에 열을 가할 수 있도록 히팅 모듈이 장착되는 것을 특징으로 하는 정전기 스프레이 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.