맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

콘젯 모드 정전기 스프레이 장치

  • 기술번호 : KST2015134789
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 전구체를 대전시켜 분사하고, 분사된 전구체를 정전기적인력에 의해 피처리기판에 부착하는 콘젯 모드 정전기 스프레이 장치에 있어서, 별도의 공급부로부터 액체 상태의 전구체를 공급받고, 공급받은 전구체를 콘 형태의 노즐 블록을 통해 피처리 기판에 에어로졸 상태로 분사하는 콘젯 분사노즐; 상기 콘젯 분사노즐을 통해 분사되는 전구체가 대전될 수 있도록 고전압을 인가하는 고전압 인가 장치; 상기 콘젯 분사 노즐의 외주면을 감싸도록 배치되어 상기 콘젯 분사노즐의 외측 둘레에서 상기 콘젯 분사 노즐의 분사 방향을 따라 가스를 분사하는 가이드 분사 유닛을 포함하고, 상기 가이드 분사 유닛은: 중공 파이프 형상으로 중심부에 상기 콘젯 분사노즐이 길이 방향으로 관통 결합되어 상기 콘젯 분사 노즐의 외측 둘레를 따라 가스 유입 유로가 형성되는 가이드 노즐; 및 상기 가이드 노즐에 가스를 공급하는 가스 공급 유닛을 포함하고, 상기 가이드 노즐에는 상기 가스공급유닛으로부터 가스가 공급되도록 일측에 유입구가 형성되고, 상기 콘젯 분사 노즐의 노즐 블록에 인접한 일단에는 유입된 가스가 분사되도록 노즐홀이 형성되고, 상기 콘젯 분사노즐 및 상기 가이드노즐은 복수 개가 구비되어 평면 배치 구조를 취하고, 상기 고전압 인가장치와 연결되고 상기 콘젯 분사노즐 및 상기 가이드노즐에 이격 배치되는 더미노즐을 구비하는 콘젯 모드 정전기 스프레이 장치를 제공한다.
Int. CL B05B 5/04 (2006.01) B05B 5/03 (2006.01)
CPC B05B 5/03(2013.01) B05B 5/03(2013.01) B05B 5/03(2013.01) B05B 5/03(2013.01)
출원번호/일자 1020110080230 (2011.08.11)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1263602-0000 (2013.05.06)
공개번호/일자 10-2013-0017659 (2013.02.20) 문서열기
공고번호/일자 (20130510) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.08.11)
심사청구항수 11

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 라영민 대한민국 충청북도 청주시 상당구
2 윤현 대한민국 서울특별시 송파구
3 우지훈 대한민국 서울특별시 성동구
4 윤석구 미국 서울특별시 강남구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 홍동우 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, * 층 (역삼동, 혜천빌딩)(지혜안국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.08.11 수리 (Accepted) 1-1-2011-0622682-02
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.10.24 수리 (Accepted) 9-1-2012-0080555-31
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0704866-88
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2013-0027621-51
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.01.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0027630-62
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0272440-10
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전구체를 대전시켜 분사하고, 분사된 전구체를 정전기적 인력에 의해 피처리 기판에 부착하는 콘젯 모드 정전기 스프레이 장치에 있어서,별도의 공급부로부터 액체 상태의 전구체를 공급받고, 공급받은 전구체를 콘 형태의 노즐 블록을 통해 피처리 기판에 에어로졸 상태로 분사하는 콘젯 분사 노즐; 상기 콘젯 분사 노즐을 통해 분사되는 전구체가 대전될 수 있도록 고전압을 인가하는 고전압 인가 장치; 상기 콘젯 분사 노즐의 외주면을 감싸도록 배치되어 상기 콘젯 분사 노즐의 외측 둘레에서 상기 콘젯 분사 노즐의 분사 방향을 따라 가스를 분사하는 가이드 분사 유닛을 포함하고, 상기 가이드 분사 유닛은: 중공 파이프 형상으로 중심부에 상기 콘젯 분사 노즐이 길이 방향으로 관통 결합되어 상기 콘젯 분사 노즐의 외측 둘레를 따라 가스 유입 유로가 형성되는 가이드 노즐; 및 상기 가이드 노즐에 가스를 공급하는 가스 공급 유닛을 포함하고, 상기 가이드 노즐에는 상기 가스 공급 유닛으로부터 가스가 공급되도록 일측에 유입구가 형성되고, 상기 콘젯 분사 노즐의 노즐 블록에 인접한 일단에는 유입된 가스가 분사되도록 노즐홀이 형성되고, 상기 콘젯 분사 노즐 및 상기 가이드 노즐은 복수 개가 구비되어 평면 배치 구조를 취하고, 상기 고전압 인가 장치와 연결되고 상기 콘젯 분사 노즐 및 상기 가이드 노즐에 이격 배치되는 더미 노즐을 구비하는 것을 특징으로 하는 콘젯 모드 정전기 스프레이 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 더미 노즐은 복수 개가 구비되고, 상기 콘젯 분사 노즐에 최근접하도록 이격 배치되는 상기 더미 노즐은, 적어도 하나의 상기 콘젯 분사 노즐에 대하여 3개가 등각 배치되는 것을 특징으로 하는 콘젯 모드 정전기 스프레이 장치
3 3
제 1항에 있어서, 상기 콘젯 분사 노즐 및 상기 더미 노즐은 복수 개의 행을 이루며 배치되되, 상기 콘젯 분사 노즐이 이루는 콘젯 분사 노즐 행과, 상기 더미 노즐이 이루는 더미 노즐 행은 상기 피처리 기판이 이루는 평면에 평행한 면에 대하여 교차 배치되는 것을 특징으로 하는 콘젯 모드 정전기 스프레이 장치
4 4
제 1항에 있어서, 상기 피처리 기판에 평행한 면에서 볼 때, 상기 콘젯 분사 노즐은 상기 더미 노즐이 이루는 영역 내에 포위 배치되는 것을 특징으로 하는 콘젯 모드 정전기 스프레이 장치
5 5
제 1항에 있어서, 상기 콘젯 분사 노즐의 길이 방향으로 상기 피처리 기판과의 사이에 상기 콘젯 분사 노즐의 단부가 배치되도록 하고 상기 콘젯 분사 노즐 및 상기 더미 노즐의 위치를 안정적으로 유지시키는 노즐 고정 프레임을 구비하는 것을 특징으로 하는 콘젯 모드 정전기 스프레이 장치
6 6
제 1항에 있어서, 상기 콘젯 분사 노즐의 길이 방향으로 상기 피처리 기판과의 사이에 상기 콘젯 분사 노즐의 단부가 배치되도록 하고 상기 콘젯 분사 노즐의 정전기력 이외의 전기장이 상기 콘젯 분사 노즐의 단부에 영향을 미치는 것을 차단하기 위한 노즐 절연부를 구비하는 것을 특징으로 하는 콘젯 모드 정전기 스프레이 장치
7 7
제 1 항에 있어서,상기 가이드 노즐의 노즐홀은 상기 가이드 노즐의 일단이 완전 개방된 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 콘젯 모드 정전기 스프레이 장치
8 8
제 1 항에 있어서,상기 가이드 노즐의 가스 유입 유로에는 상기 가이드 노즐로 유입된 가스가 통과하며 유동하도록 별도의 메쉬가 장착되는 것을 특징으로 하는 콘젯 모드 정전기 스프레이 장치
9 9
제 7 항 또는 제 8항에 있어서,상기 가스 공급 유닛은가스를 저장하며 저장된 가스가 상기 가이드 노즐로 공급되도록 가스 공급 호스를 통해 상기 가이드 노즐과 연결되는 가스 저장 탱크; 및상기 가스 저장 탱크로부터 상기 가이드 노즐로 공급되는 가스의 유량을 조절하는 가스 유량 조절기를 포함하는 것을 특징으로 하는 콘젯 모드 정전기 스프레이 장치
10 10
제 7항 또는 제 8항에 있어서,상기 피처리 기판이 안착되며 접지되도록 접지 단자가 형성되는 스테이지가 구비되고, 상기 스테이지에는 상기 피처리 기판에 열을 가할 수 있도록 히팅 모듈이 장착되는 것을 특징으로 하는 콘젯 모드 정전기 스프레이 장치
11 11
제 7 항 또는 제 8항에 있어서,상기 고전압 인가 장치는저장조로부터 상기 콘젯 분사 노즐을 연결하는 전구체 공급 호스에 연결되어 고전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 콘젯 모드 정전기 스프레이 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.