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무전해 도금을 통한 코발트 합금 계열의 다층 확산방지막 형성방법

  • 기술번호 : KST2015134844
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 다층 확산방지막 형성방법은, 구리배선의 표면에 2단계의 무전해 도금을 통해 서로 다른 조성을 가지는 2층의 코발트 합금계열의 확산방지막을 순차적으로 형성하는 것을 특징으로 한다. 이러한 예로서, 상기 확산방지막의 하부층은 Co-W-P 합금으로 이루어지고, 상기 확산방지막의 상부층은 Co-B 합금으로 이루어지는 것이 바람직하다. 본 발명에 의하면, 금속 배선 물질인 구리 또는 그의 합금의 신뢰성을 높이기 위해 화학적-기계적 연마 이후 공기 중에 노출되는 구리 배선의 상부 표면에 형성하는 무전해 도금 확산방지막의 성능을 개선시킬 수 있다. 구체적으로 구리 배선의 산화에 대한 저항성이 개선되고, 구리 배선과 확산방지막의 계면 사이의 특성을 개선하여 일렉트로마이그레이션(electromigration) 에 의한 배선의 손상을 최소화시킬 수 있다. 구리배선, 일렉트로마이그레이션, 산화, 무전해 도금, 코발트
Int. CL C23C 18/32 (2006.01.01) C22C 19/07 (2006.01.01) C23C 18/36 (2006.01.01) C23C 18/16 (2006.01.01)
CPC C23C 18/32(2013.01) C23C 18/32(2013.01) C23C 18/32(2013.01) C23C 18/32(2013.01)
출원번호/일자 1020080092350 (2008.09.19)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1048744-0000 (2011.07.06)
공개번호/일자 10-2010-0033262 (2010.03.29) 문서열기
공고번호/일자 (20110714) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.09.19)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재정 대한민국 서울 관악구
2 구효철 대한민국 서울특별시 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아주 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)
2 허진석 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)(특허법인아주김장리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.09.19 수리 (Accepted) 1-1-2008-0661497-16
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2008-0719972-96
3 보정요구서
Request for Amendment		 2008.10.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2008-0120045-08
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2008-0735749-96
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.01.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.02.11 수리 (Accepted) 9-1-2010-0008687-13
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0345786-88
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.10.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0656250-98
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.10.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0656249-41
10 [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2010.10.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0656235-13
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2011.02.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0098333-26
12 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2011.04.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2011-0014749-18
13 등록결정서
Decision to grant		 2011.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0271705-77
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
구리배선의 표면에 2단계의 무전해 도금을 통해 서로 다른 조성을 가지는 상부층과 하부층의 2층의 코발트 합금계열의 확산방지막을 순차적으로 형성하고, 상기 확산방지막의 하부층은 Co-W-P 합금으로 이루어지고 상기 확산방지막의 상부층은 Co-B 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층 확산방지막 형성방법으로서, 상기 확산방지막의 하부층은 상기 상부층에 비해 상기 구리배선의 일렉트로마이그레이션에 대해 더 우수한 저항성을 가지는 코발트 합금계열의 확산방지막으로 이루어지고, 상기 확산방지막의 상부층은 상기 하부층에 비하여 구리배선의 산화에 대해 더 우수한 저항성을 가지는 코발트 합금계열의 확산방지막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층 확산방지막 형성방법
2 2
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3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서, 상기 무전해 도금에 사용되는 무전해 도금 용액은 탈이온수를 주용매제로 하여, Co 이온(II) 함유 화합물, 환원제, pH 조절제, 착물 형성제, 및 기타 첨가제를 포함하되, 상기 확산방지막의 하부층을 형성하는 경우에는 상기 첨가제가 텅스텐 성분을 함유하고, 상기 확산방지막의 상부층을 형성하는 경우에는 상기 첨가제가 텅스텐 성분을 함유하지 않는 것을 특징으로 하는 다층 확산방지막 형성방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 확산방지막의 하부층을 형성하는 경우에 사용되는 상기 첨가제가 Na2WO4 인 것을 특징으로 하는 다층 확산방지막 형성방법
7 7
제5항에 있어서, 상기 확산방지막의 하부층을 형성하는 경우에는 상기 하부층에 인이 포함되도록 상기 환원제로서 sodium hypophosphite, potassium hypophosphite, 및 ammonium hypophosphite 중에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함한 것을 사용하고, 상기 확산방지막의 상부층을 형성하는 경우에는 상기 상부층에 붕소가 포함되도록 상기 환원제로서 dimethylamine borane 및 sodium borohydride 중에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함한 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 다층 확산방지막 형성방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 무전해 도금에 사용되는 무전해 도금 용액의 pH가 8~11인 것을 특징으로 하는 다층 확산방지막 형성방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 무전해 도금은 40℃ 내지 90℃의 온도범위에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층 확산방지막 형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.