요약 | 표면에 패턴 영역이 형성되어 있는 기판 및 상기 기판의 패턴 영역 상에 나노 와이어들이 배열되어 형성된 나노 와이어 패턴을 포함하는 나노 와이어 강화 단위막을 적어도 하나 이상 포함하는 나노 와이어 강화 복합체가 제공된다. 적층되는 나노 와이어 강화 단위막들은 서로의 나노 와이어 패턴이 오버랩되거나 교차될 수 있도록 배치된다. |
---|---|
Int. CL | H01L 29/06 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) C01B 32/158 (2017.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01) |
CPC | H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020080084526 (2008.08.28) |
출원인 | 서울대학교산학협력단 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2010-0025819 (2010.03.10) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 거절 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2008.08.28) |
심사청구항수 | 27 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 서울대학교산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 관악구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김용협 | 대한민국 | 서울시 서초구 |
2 | 강태준 | 대한민국 | 서울시 동작구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 특허법인 무한 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
최종권리자 정보가 없습니다 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.08.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0614592-65 |
2 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2008.09.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0629969-14 |
3 | [출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status |
2008.11.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0766510-18 |
4 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2010.04.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
5 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2010.05.17 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0029167-19 |
6 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.08.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0385242-90 |
7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2010.11.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0711539-12 |
8 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2010.11.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0787062-49 |
9 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2011.01.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0058644-94 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.09.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5195109-43 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.01.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5007213-54 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.03.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5033829-92 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5062924-01 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5093546-10 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.05.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5101798-31 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5154561-59 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 표면에 나노 와이어들이 배열되어 이루어진 나노 와이어 패턴이 형성되어 있는 단위막을 적어도 하나 이상 포함하는 나노 와이어 강화 복합체 |
2 |
2 표면에 패턴 영역이 형성되어 있는 기판과, 상기 기판의 패턴 영역 상에 나노 와이어들이 배열되어 형성된 나노 와이어 패턴을 포함하는 나노 와이어 강화 단위막을 적어도 하나 포함하는 나노 와이어 강화 복합체 |
3 |
3 제2항에 있어서, 상기 나노 와이어는 탄소나노튜브인 나노 와이어 강화 복합체 |
4 |
4 제2항에 있어서, 상기 나노 와이어 강화 단위막 중 적어도 하나의 단위막은 나머지 단위막들에 포함된 나노 와이어와 다른 종류의 나노 와이어를 포함하는 나노 와이어 강화 복합체 |
5 |
5 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 패턴 영역은 상기 나노 와이어와 친화력을 갖는 나노 와이어 강화 복합체 |
6 |
6 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 나노 와이어들은 상기 나노 와이어 패턴의 길이 방향을 따라 배열되어 있는 나노 와이어 강화 복합체 |
7 |
7 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 나노 와이어 패턴은 서로 분리되어 있는 다수의 나노 와이어 서브 패턴들로 이루어진 나노 와이어 강화 복합체 |
8 |
8 제7항에 있어서, 상기 서브 패턴들은 상기 기판의 일 변을 따라 평행하게 배열되어 있고, 서로 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 강화 복합체 |
9 |
9 제7항에 있어서, 상기 서브 패턴의 폭은 상기 나노 와이어 길이의 50%이하인 나노 와이어 강화 복합체 |
10 |
10 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 패턴 영역 상에는 친수성 코팅막이 형성되어 있는 나노 와이어 강화 복합체 |
11 |
11 제10항에 있어서, 상기 친수성 코팅막은 자기조립 단분자막(SAM)인 나노 와이어 강화 복합체 |
12 |
12 제2항에 있어서, 제1 나노 와이어 패턴을 포함하는 제1 나노 와이어 강화 단위막 및 제2 나노 와이어 패턴을 포함하는 제2 나노 와이어 강화 단위막을 포함하는 나노 와이어 강화 복합체 |
13 |
13 제12항에 있어서, 상기 제1 나노 와이어 패턴과 제2 나노 와이어 패턴이 서로 대응하도록 상기 제1 나노 와이어 강화 단위막 및 제2 나노 와이어 강화 단위막이 배치되어 있는 나노 와이어 강화 복합체 |
14 |
14 제12항에 있어서, 상기 제1 나노 와이어 패턴과 제2 나노 와이어 패턴이 서로 교차되도록 상기 제1 나노 와이어 강화 단위막 및 제2 나노 와이어 강화 단위막이 배치되어 있는 나노 와이어 강화 복합체 |
15 |
15 제12항에 있어서, 상기 제1 나노 와이어 패턴과 제2 나노 와이어 패턴의 형상이 서로 다른 나노 와이어 강화 복합체 |
16 |
16 제2항에 있어서, 적어도 하나의 상기 나노 와이어 강화 단위막은 양면에 상기 나노 와이어 패턴을 포함하는 나노 와이어 강화 복합체 |
17 |
17 제2항에 있어서, 최상부에 배치된 상기 나노 와이어 강화 단위막 상에는 상기 나노 와이어 강화 단위막을 보호하기 위한 보호막이 더 형성되는 나노 와이어 강화 복합체 |
18 |
18 기판 상에 패턴 영역을 형성하는 단계; 상기 패턴 영역 상에 나노 와이어를 배열하여 나노 와이어 패턴을 상기 기판 상에 형성함으로써 나노 와이어 강화 단위막을 준비하는 단계; 및 상기 나노 와이어 강화 단위막을 적어도 하나 적층하는 단계를 포함하는 나노 와이어 강화 복합체의 제조 방법 |
19 |
19 제18항에 있어서, 상기 패턴 영역을 형성하는 단계는, 상기 기판 상에 포토레지스트 막을 형성하고 노광 및 현상을 통하여 기판의 일부를 노출시킴으로써 이루어지는 나노 와이어 강화 복합체의 제조 방법 |
20 |
20 제19항에 있어서, 상기 패턴 영역을 형성하는 단계는, 상기 노출된 기판 상에 친수성 물질을 코팅하는 단계를 더 포함하는 나노 와이어 강화 복합체의 제조 방법 |
21 |
21 제19항에 있어서, 상기 현상 후 잔존하는 포토레지스트 막은 상기 노출된 기판 상에 나노 와이어를 배열한 후에 제거되는 나노 와이어 강화 복합체의 제조 방법 |
22 |
22 제18항 내지 제20항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 패턴 영역을 형성하는 단계는, 친수성 물질을 상기 기판 상에 인쇄함으로써 이루어지는 나노 와이어 강화 복합체의 제조 방법 |
23 |
23 제22항에 있어서, 상기 인쇄는 소프트 리소그래피 방식에 의해 이루어지는 나노 와이어 강화 복합체의 제조 방법 |
24 |
24 제22항에 있어서, 상기 패턴 영역을 형성하는 단계는, 친수성 물질을 상기 기판 상에 인쇄하기 전에 상기 기판과 다른 물질로 이루어진 막을 상기 기판 상에 형성하는 단계를 더 포함하는 나노 와이어 강화 복합체의 제조 방법 |
25 |
25 제22항에 있어서, 상기 나노 와이어 패턴은 나노 와이어 함유 용액을 상기 기판 전면에 도포하고 건조시켜 형성되는 나노 와이어 강화 복합체의 제조 방법 |
26 |
26 제18항에 있어서, 상기 나노 와이어는 상기 배열 전에 산성 용액 내에서 초음파 처리되는 전처리 과정을 거치는 나노 와이어 강화 복합체의 제조 방법 |
27 |
27 제18항에 있어서, 상기 나노 와이어는 탄소나노튜브인 나노 와이어 강화 복합체의 제조 방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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국가 R&D 정보가 없습니다. |
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등록사항 정보가 없습니다 |
---|
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.08.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0614592-65 |
2 | [출원서등 보정]보정서 | 2008.09.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0629969-14 |
3 | [출원인변경]권리관계변경신고서 | 2008.11.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0766510-18 |
4 | 선행기술조사의뢰서 | 2010.04.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
5 | 선행기술조사보고서 | 2010.05.17 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0029167-19 |
6 | 의견제출통지서 | 2010.08.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0385242-90 |
7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2010.11.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0711539-12 |
8 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2010.11.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0787062-49 |
9 | 거절결정서 | 2011.01.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0058644-94 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.09.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5195109-43 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.01.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5007213-54 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.03.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5033829-92 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5062924-01 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5093546-10 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.05.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5101798-31 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5154561-59 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1345071069 |
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세부과제번호 | 과C6A1803 |
연구과제명 | 차세대기계항공시스템창의설계인력양성사업단 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국학술진흥재단 |
연구주관기관명 | 서울대학교 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200603~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | 기타 |
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