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연마입자;아미노산, 비이온성 분산제 및 아민염을 포함하는 분산제; 및pH 조절제;를 포함하고,상기 연마입자는, 액상법에 의해 제조된 것이고,상기 연마입자의 표면전위가 양전하로 분산된 것인, 슬러리 조성물
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제1항에 있어서,상기 아미노산은,세린(serine), 글루타민(glutamine), 베타인(betaine), 프롤린(proline), 파이로글루타민산(pyroglutamic acid) 아르지닌(arginine), 아미노 부티르산(amino butyric acid), 피리딘 카르복시산(pyridine carboxylic acid), 폴리에틸렌 글라이콜 아미노 에테르 아세트산(polyethyleneglycol amino ether acetatic acid), 아스파라진(Asparagine), 아스파틱산(Aspartic acid), 시스테인(Cysteine), 오르니틴(ornithine), 아미노벤조산(aminobenzoic acid), 글라이신(Glycine), 히스티딘(Histidine), 아이솔루신(Isoleucine), 라이신(Lysine), 페닐알라닌(Phenylalanine), 티로신(Tyrosine) 및 발린(Valine)으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 슬러리 조성물
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제1항에 있어서,상기 아미노산은, 상기 연마 입자 대비 0
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제1항에 있어서,상기 비이온성 분산제는, 폴리알킬 옥사이드(polyalkyl oxide)인 것인, 슬러리 조성물
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제1항에 있어서, 상기 비이온성 분산제는, 폴리옥시에틸렌 옥사이드(polyoxyethylene oxide; PEO), 폴리에틸렌 옥사이드(polyethylene oxide) 및 폴리프로필렌 옥사이드(polypropylene oxide)로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 슬러리 조성물
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제1항에 있어서,상기 비이온성 분산제는,상기 슬러리 조성물 중 0
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제1항에 있어서,상기 아민염은,암모늄나이트레이트, 암모늄포스페이트, 암모늄아세테이트, 암모늄클로라이드, 암모늄설페이트, 암모늄포메이트, 암모늄카르보네이트 및 암모늄사이트레이트로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 슬러리 조성물
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제1항에 있어서,상기 아민염은,상기 슬러리 조성물 중 0
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제1항에 있어서,상기 pH 조절제는,암모니아, AMP(ammonium methyl propanol), TMAH(tetra methyl ammonium hydroxide), TEAH(tetra ethyl ammonium hydroxide), TPAH(tetra propyl ammonium hydroxide), 아미노 메틸 프로판올, 수산화칼륨, 수산화나트륨, 수산화마그네슘, 수산화루비듐, 수산화세슘, 탄산수소나트륨, 탄산나트륨, 트리에탄올아민, 트로메타민, 나이아신아마이드, 질산, 황산, 인산, 염산, 아세트산, 시트르산, 글루타르산, 글루콜산, 포름산, 젖산, 말산, 말론산, 말레산, 옥살산, 프탈산, 숙신산 및 타르타르산으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 슬러리 조성물
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제1항에 있어서,상기 pH 조절제는, 상기 슬러리 조성물 중 0
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제1항에 있어서,상기 연마입자는, 세리아 입자, 실리카 입자, 알루미나 입자, 지르코니아 입자 및 티타니아 입자로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 금속산화물 입자;스티렌계 중합체 입자, 아크릴계 중합체 입자, 폴리염화비닐 입자, 폴리아미드 입자, 폴리카보네이트 입자 및 폴리이미드 입자로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 유기 입자; 및상기 금속산화물 입자와 상기 유기 입자를 복합하여 형성한 유기-무기 복합 입자;로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는, 슬러리 조성물
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제1항에 있어서,상기 연마입자는, 상기 슬러리 조성물 중 0
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제1항에 있어서,상기 슬러리 조성물은 1차 입자 및 2차 입자를 포함하고, 상기 1차 입자의 크기는 5 nm 내지 100 nm 이고, 상기 2차 입자의 크기는 50 nm 내지 300 nm인 것인, 슬러리 조성물
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제1항에 있어서,상기 슬러리 조성물은, pH가 3 내지 8인 것인, 슬러리 조성물
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제1항에 있어서,상기 슬러리 조성물 표면의 제타전위가 +20 mV 내지 +85 mV인 것인, 슬러리 조성물
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제1항 내지 제11항, 제13항 내지 제16항 중 어느 한 항에 따른 슬러리 조성물; 및자동연마정지 기능을 갖는 첨가제;를 포함하는, 연마용 조성물
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제17항에 있어서,상기 첨가제는 아크릴산, 메타크릴산 및 이들의 염으로 이루어진 군에서 선택되는 것인, 연마용 조성물
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