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친환경 STI 공정용 슬러리 및 첨가제 조성물

  • 기술번호 : KST2015141634
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 친환경 STI 공정용 슬러리 및 첨가제 조성물에 관한 것으로서, 본 발명의 액상법을 이용하여 제조된 연마 입자를 포함하는 슬러리 조성물은 적은 양의 연마 첨가제의 사용으로도 우수한 공용 선택비(universal selectivity) 특성, 높은 연마 속도 및 세정 성능 등의 우수한 연마 특성을 나타낼 수 있으며, 카르복실기를 포함하는 음이온성 고분자의 카르복실기의 수소와 비이온성 고분자(polyoxyethylene oxide; PEO)의 산소 간의 수소결합(hydrogen bond)을 포함하는 연마 첨가제를 사용하여 연마 공정을 수행하면, 음이온성 고분자와 비이온성 고분자의 착체(complexation)의 고희석비 적용으로 공용 선택비를 구현할 수 있으며, 질화막에 대한 선택비 제어 및 폴리막의 선택비를 조절할 수 있다. 또한 폴리막 정지 공정뿐만 아니라 질화막 정지 공정에 적용이 가능하다.
Int. CL C09G 1/02 (2006.01.01) C09K 3/14 (2006.01.01) H01L 21/3105 (2006.01.01) H01L 21/306 (2006.01.01)
CPC C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01)
출원번호/일자 1020120125347 (2012.11.07)
출원인 한양대학교 산학협력단, 주식회사 케이씨
등록번호/일자 10-1472858-0000 (2014.12.09)
공개번호/일자 10-2014-0059346 (2014.05.16) 문서열기
공고번호/일자 (20141217) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.11.07)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
2 주식회사 케이씨 대한민국 경기도 안성시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 백운규 대한민국 서울 성동구
2 배재영 대한민국 경기 용인시 기흥구
3 김정윤 대한민국 경기 안성시
4 최낙현 대한민국 경기 안성시
5 정기화 대한민국 경기 안성시
6 황준하 대한민국 경기도 평택시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
2 주식회사 케이씨텍 경기도 안성시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2012-0914314-76
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.07.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.08.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0064899-91
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.12.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0902506-91
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0054309-88
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.01.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0054310-24
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0443017-11
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0801890-05
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-0924036-36
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-1018646-49
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.10.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1018647-95
13 등록결정서
Decision to grant		 2014.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0790692-59
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.05.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5070900-17
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.06 수리 (Accepted) 4-1-2017-5176182-94
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5246687-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
연마 입자 및 분산제를 포함하는 연마액; 및카르복실기를 포함하는 음이온성 고분자와 비이온성 고분자를 포함하고, 상기 음이온성 고분자의 카르복실기의 수소와 상기 비이온성 고분자의 산소 간의 수소결합(hydrogen bond)을 포함하는 연마 첨가제;를 포함하고,상기 분산제는, 고분자 분산제, 분산향상제 및 분산안정화제로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것이고, 상기 고분자 분산제는, 폴리아크릴산, 폴리메타아크릴산, 폴리아크릴산/스티렌 공중합체 및 이들의 염들로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하고, 상기 분산향상제는, 카르복실산, 아미노산 또는 이들의 조합을 포함하고, 상기 분산안정화제는, 암모늄으로 치환된 무기염을 포함하고,상기 음이온성 고분자는, 폴리아크릴산(polyacrylic acid), 폴리술폰산(polysulfonic acid), 폴리아크릴아마이드/아크릴산 공중합체(polyacrylamide/acrylic acid copolymer), 폴리아크릴산/술폰산 공중합체(polyacrylic acid/sulfonic acid copolymer), 폴리술폰산/아크릴아마이드 공중합체(polysulfonic acid/acrylamide copolymer) 및 폴리아크릴산/말론산 공중합체(polyacrylic acid/malonic acid copolymer)로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하고,상기 비이온성 고분자는, 폴리알킬 옥사이드(polyalkyl oxide), 폴리옥시에틸렌 옥사이드(polyoxyethylene oxide; PEO), 폴리에틸렌 옥사이드(polyethylene oxide) 및 폴리프로필렌 옥사이드(polypropylene oxide)로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것이고,상기 연마 입자는 단결정성인 것이고,폴리실리콘막 노출 시 연마가 억제되는 것인,슬러리 조성물
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 연마 입자는 단분산성인 것인, 슬러리 조성물
4 4
제 1 항에 있어서,상기 연마 입자는, 실리카 입자, 알루미나 입자, 세리아 입자, 지르코니아 입자 및 티타니아 입자로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 금속산화물 입자;스티렌계 중합체 입자, 아크릴계 중합체 입자, 폴리염화비닐 입자, 폴리아미드 입자, 폴리카보네이트 입자 및 폴리이미드 입자로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 유기 입자; 및상기 금속산화물 입자와 상기 유기 입자를 복합하여 형성한 유기-무기 복합 입자;로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는, 슬러리 조성물
5 5
제 1 항에 있어서,상기 연마 입자는, 1차 입자의 크기는 10 nm 내지 50 nm 이고, 2차 입자의 크기는 50 nm 내지 300 nm인 것인, 슬러리 조성물
6 6
제 1 항에 있어서,상기 연마 입자의 표면을 개질하여 pH 6 내지 10에서 -20 mV 이상의 음의 제타전위를 가지는 것인, 슬러리 조성물
7 7
삭제
8 8
제 1 항에 있어서,상기 음이온성 고분자는 상기 연마 첨가제 중 0
9 9
삭제
10 10
제 1 항에 있어서,상기 음이온성 고분자와 상기 비이온성 고분자의 몰비는 0
11 11
제 1 항에 있어서,상기 연마 첨가제는, 상기 슬러리 조성물 중 200 ppm(중량) 내지 3 중량%인 것인, 슬러리 조성물
12 12
삭제
13 13
제 1 항에 있어서,상기 분산제는, 상기 슬러리 조성물 중 0
14 14
삭제
15 15
삭제
16 16
제 1 항에 있어서,상기 카르복실산은, 포름산, 아세트산, 옥살산, 피콜린산 및 폴리아크릴산으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하고,상기 아미노산은, 글리신, 프롤린, 아기닌 및 β-알라닌으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 슬러리 조성물
17 17
제 1 항에 있어서,상기 무기염은, 암모늄 퍼설페이트, 암모늄포스페이트, 암모늄 모노베이직, 암모늄설파메이트, 암모늄 티오시아네이트, 암모늄 바이카보네이트, 암모늄 시트레이트 디베이직, 암모늄설페이트, 및 암모늄나이트레이트로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 슬러리 조성물
18 18
제 1 항에 있어서,상기 고분자 분산제는, 상기 연마 입자 100 중량부에 대하여 0
19 19
제 1 항에 있어서,암모니아, AMP(ammonium methyl propanol), TMAH(tetra methyl ammonium hydroxide), 수산화칼륨, 수산화나트륨, 수산화마그네슘, 수산화루비듐, 수산화세슘, 탄산수소나트륨, 탄산나트륨, 트리에탄올아민, 트로메타민, 나이아신아마이드, 질산, 황산, 인산, 염산, 아세트산, 시트르산, 글루타르산, 글루콜산, 포름산, 젖산, 말산, 말론산, 말레산, 옥살산, 프탈산, 숙신산 및 타르타르산으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나의 pH 조절제를 더 포함하는 것인, 슬러리 조성물
20 20
제 1 항에 있어서,유기산, 무기산, 유기산염 및 무기산염으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 연마 가속제를 상기 연마 첨가제 중 0
21 21
제 1 항에 있어서,상기 슬러리 조성물은, pH가 6 내지 10인 것인, 슬러리 조성물
22 22
제 1 항에 있어서,상기 슬러리 조성물은, 산화막 : 폴리실리콘막의 연마 선택비가 100 : 1 내지 400 : 1인 것인, 슬러리 조성물
23 23
삭제
24 24
제 1 항에 있어서,피콜린산, 포름산, 아세트산, 옥살산 및 아코니트산으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나의 선택비 강화제를 더 포함하는 것인, 슬러리 조성물
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.