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연마 입자, 연마용 슬러리 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015142529
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 슬러리용 연마 입자의 제조 방법에 있어서, 원료 전구체를 준비하는 단계 및 상기 원료 전구체를 적어도 2단계 이상 하소하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러리용 연마 입자의 제조 방법을 제공한다. 본 발명은 상기 연마 입자를 마련하는 단계, 상기 연마 입자를 초순수, 분산제 및 첨가제와 혼합하여 밀링하는 단계 및 거대 입자 제거를 위한 필터링 공정을 실시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마용 슬러리의 제조 방법을 제공한다. 또한 본 발명은 상술한 바에 따라 제조된 것을 특징으로 하는 슬러리용 연마 입자 및 연마용 슬러리를 제공한다. 연마 입자, 연마용 슬러리, CMP, 세리아, 세리움 카보네이트, 하소
Int. CL B24D 3/34 (2006.01.01) C09K 3/14 (2006.01.01)
CPC B24D 3/346(2013.01) B24D 3/346(2013.01)
출원번호/일자 1020050063665 (2005.07.14)
출원인 주식회사 케이씨, 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0637403-0000 (2006.10.16)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20061023) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.07.14)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 케이씨 대한민국 경기도 안성시
2 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김대형 대한민국 경기 안성시
2 홍석민 대한민국 경기도 안성시
3 김용국 대한민국 경기 안성시
4 김동현 대한민국 서울 강서구
5 서명원 대한민국 경기 용인시 풍덕
6 박재근 대한민국 경기도 성남시 분당구
7 백운규 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남승희 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 청보빌딩)(아인특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울 성동구
2 주식회사 케이씨텍 경기도 안성시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2005-0381188-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.05.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.06.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0040564-18
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.07.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0396561-79
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.09.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0647548-59
6 의견서
Written Opinion		 2006.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2006-0647551-97
7 등록결정서
Decision to grant		 2006.09.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0550130-84
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5037763-28
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.05.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5070900-17
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.06 수리 (Accepted) 4-1-2017-5176182-94
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5246687-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
연마제 슬러리용 연마 입자의 제조 방법에 있어서,원료 전구체를 준비하는 단계;상기 원료 전구체를 하소하여 다수의 결정립을 생성하는 단계;상기 원료 전구체를 분쇄 또는 해쇄하여 상기 원료 전구체의 내부를 돌출시키는 단계;상기 원료 전구체를 적어도 1회 이상 추가 하소하여 결정화를 촉진시키는 단계; 및상기 하소된 원료 전구체를 분쇄 또는 해쇄하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마제 슬러리용 연마 입자의 제조 방법
2 2
삭제
3 3
청구항 1에 있어서,상기 하소된 원료 전구체를 분쇄 또는 해쇄한 후 하소하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연마제 슬러리용 연마 입자의 제조 방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 하소하는 단계는,500 내지 1000℃의 온도에서 하소하는 것을 특징으로 하는 연마제 슬러리용 연마 입자의 제조 방법
5 5
청구항 1에 있어서,상기 연마 입자는 세리아를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마제 슬러리용 연마 입자의 제조 방법
6 6
청구항 5에 있어서,상기 원료 전구체는 세리움 카보네이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마제 슬러리용 연마 입자의 제조 방법
7 7
연마용 슬러러의 제조 방법에 있어서,원료 전구체를 준비하고, 상기 원료 전구체를 하소하여 다수의 결정립을 생성한 후, 상기 원료 전구체를 적어도 1회 이상 추가 하소하여 결정화를 촉진시켜 제조된 연마 입자를 마련하는 단계;상기 연마 입자를 초순수, 분산제 및 첨가제와 혼합하여 밀링하는 단계; 및거대 입자 제거를 위한 필터링 공정을 실시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마용 슬러러의 제조 방법
8 8
청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 따라 제조된 것을 특징으로 하는 슬러리용 연마 입자
9 9
청구항 7에 따라 제조된 것을 특징으로 하는 연마용 슬러리
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101082620 KR 대한민국 FAMILY
2 TWI323741 TW 대만 FAMILY
3 US20060156635 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN101255286 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN101255286 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 CN1818002 CN 중국 DOCDBFAMILY
4 CN1818002 CN 중국 DOCDBFAMILY
5 TW200621924 TW 대만 DOCDBFAMILY
6 TWI323741 TW 대만 DOCDBFAMILY
7 US2006156635 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.