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플라즈마 향상 화학 기상 증착을 이용한 구리합금 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015143319
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마 향상 화학 기상 증착을 이용한 구리합금 형성 방법에 대한 것으로서, 특히, 전구체간의 반응 전 수소 리모트 플라즈마로 분해하여 알루미늄과 함께 증착하는 플라즈마 향상 화학 기상 증착을 이용한 구리합금 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명은 챔버 외부에서 발생된 플라즈마를 챔버 내의 구리 전구체와 합금 원소 전구체가 반응하기 전에 분해되도록 공급하여 구리와 합금 원소간의 이상 반응을 억제하면서 구리와 합금 원소를 동시에 증착할 수 있는 플라즈마 향상 화학 기상 증착을 이용한 구리합금 형성 방법을 제공할 수 있다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) C23C 16/513 (2006.01) C23C 16/06 (2006.01)
CPC C23C 16/452(2013.01) C23C 16/452(2013.01)
출원번호/일자 1020100043224 (2010.05.07)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0123631 (2011.11.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이내응 대한민국 경기도 과천시 별양로 ***
2 문학기 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2010-0296098-09
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
챔버 내에 증착 대상을 구비하는 단계와,상기 챔버 내에 전구체를 공급하는 단계와,상기 챔버 외부에서 플라즈마를 발생시키는 단계와,상기 전구체에 상기 플라즈마를 공급하여 상기 증착 대상에 증착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 향상 화학 기상 증착을 이용한 구리합금 형성 방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 챔버 내에 전구체를 공급하는 단계는,상기 챔버 내에 구리 전구체를 공급하는 단계와,상기 챔버 내에 합금 원소 전구체를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 향상 화학 기상 증착을 이용한 구리합금 형성 방법
3 3
청구항 2에 있어서,상기 전구체에 상기 플라즈마를 공급하여 상기 증착 대상에 증착시키는 단계는,상기 챔버 내에 공급된 구리 전구체에 상기 플라즈마를 공급하여 상기 증착 대상에 증착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 향상 화학 기상 증착을 이용한 구리합금 형성 방법
4 4
청구항 2에 있어서,상기 전구체에 상기 플라즈마를 공급하여 상기 증착 대상에 증착시키는 단계는,상기 챔버 내에 공급된 구리 전구체와 합금 원소 전구체에 상기 플라즈마를 공급하여 상기 증착 대상에 증착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 향상 화학 기상 증착을 이용한 구리합금 형성 방법
5 5
청구항 4에 있어서,상기 합금 원소 전구체는 알루미늄 전구체를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 향상 화학 기상 증착을 이용한 구리합금 형성 방법
6 6
청구항 1에 있어서,상기 챔버 내에 전구체를 공급하는 단계에서,상기 전구체를 운반하는 운반가스는 수소를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 향상 화학 기상 증착을 이용한 구리합금 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 산업기술평가관리원 소재원천기술개발사업 플라즈마 응용 고종횡비 Gap-fill 공정기술 개발