맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

박막 증착 장치

  • 기술번호 : KST2015144248
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 플라즈마부의 하단에 소스부가 배열되고, 플라즈마부에 그리드를 포함하는 박막 증착 장치에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01)
CPC H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01)
출원번호/일자 1020150016477 (2015.02.03)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1533032-0000 (2015.06.25)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150701) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.02.03)
심사청구항수 6

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 서상준 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 유지범 대한민국 서울특별시 서초구
3 정호균 대한민국 경기도 용인시 수지구
4 조성민 대한민국 경기도 군포시 산본로***번길 **, **

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인엠에이피에스 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 아르케 경기도 용인시 기흥구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2015-0113483-66
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2015.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2015-0116798-57
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2015.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.02.13 수리 (Accepted) 9-1-2015-0013401-74
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0131552-87
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0406079-17
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0406078-72
8 등록결정서
Decision to grant		 2015.06.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0379515-46
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기재가 로딩되는 기재 로딩부;상기 기재 로딩부에 결합되어 상기 기재를 교번 이동시키는 기재 수송부; 및,상기 기재 상에 박막을 증착하는 박막 증착부를 포함하되,상기 박막 증착부는 각각 독립된 소스부 및 플라즈마부를 포함하는 플라즈마 모듈을 포함하고,상기 플라즈마 모듈의 상기 플라즈마부는 플라즈마 가스가 유입되는 유입부, 상기 유입부로 유입된 플라즈마 가스를 저장하는 플라즈마 저장부, 및 상기 저장부의 하단에 교차되어 배열된 복수의 플라즈마 발생부 및 소스부를 포함하며,상기 플라즈마 모듈은 그리드(grid)를 추가 포함하고, 상기 그리드는 상기 플라즈마 발생부의 상단 또는 하단에 위치하고, 메쉬(mesh) 형태를 포함하며,상기 그리드는 상기 플라즈마부에서 발생하는 이온의 손상을 최소화하고, 상기 소스부와 상기 플라즈마부의 혼합을 방지하는 것인,상기 그리드는 박막 증착 장치
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 모듈은 복수의 배기부를 추가 포함하는 것인, 박막 증착 장치
4 4
제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 모듈은 소스 플라즈마 또는 반응 플라즈마를 발생시키는 것인, 박막 증착 장치
5 5
제 1 항에 있어서,상기 소스부에서 실리콘, 알루미늄, 아연, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 금속을 함유하는 전구체 및 불활성 기체를 플라즈마 처리하는 것인, 박막 증착 장치
6 6
제 1 항에 있어서,상기 플라즈마부에서 N2, H2, O2, N2O, NH3, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 반응가스를 플라즈마 처리하는 것인, 박막 증착 장치
7 7
제 1 항에 있어서,상기 기재의 크기에 따라 상기 플라즈마 모듈의 크기가 조절되는 것인, 박막 증착 장치
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN105839076 CN 중국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN105839076 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN105839076 CN 중국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.