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전이금속 디칼코게나이드 박막의 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015144256
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 전이금속 디칼코게나이드 박막의 형성 방법은, 디메틸포름아마이드(dimehtylformamide), 알킬아민 및 아미노알코올을 포함하는 혼합 용매와 전이금속 디칼코게나이드의 전구체를 포함하는 코팅 용액을 준비하는 단계, 코팅 용액을 피처리 기판 상에 스핀-코팅하는 단계 및 코팅된 박막을 열처리하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/20 (2006.01) H01L 21/324 (2006.01)
CPC H01L 21/28568(2013.01) H01L 21/28568(2013.01) H01L 21/28568(2013.01)
출원번호/일자 1020140116063 (2014.09.02)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1532883-0000 (2015.06.24)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150702) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.09.02)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김형섭 대한민국 서울특별시 서초구
2 구예현 대한민국 서울특별시 종로구
3 양재현 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.09.02 수리 (Accepted) 1-1-2014-0837934-03
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0275949-95
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2015.03.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2015.04.01 수리 (Accepted) 9-1-2015-0021050-84
5 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2015.04.08 수리 (Accepted) 9-1-2015-0021826-07
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.04.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0235539-09
7 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2015.04.09 수리 (Accepted) 9-1-2015-0022329-95
8 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0027195-24
9 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2015.04.11 수리 (Accepted) 9-1-2015-0027553-77
10 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2015.04.12 수리 (Accepted) 9-1-2015-0027866-52
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0405870-48
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0405871-94
13 등록결정서
Decision to grant
2015.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0329656-69
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
디메틸포름아마이드(dimehtylformamide), 알킬아민 및 아미노알코올을 포함하는 혼합 용매와 전이금속 디칼코게나이드의 전구체를 포함하는 코팅 용액을 준비하는 단계;상기 코팅 용액을 피처리 기판 상에 스핀-코팅하는 단계; 및상기 코팅된 박막을 열처리하는 단계를 포함하고,상기 전구체는 몰리브덴 또는 텅스텐을 포함하며,상기 혼합 용매에서 디메틸포름아마이드 100 중량부에 대해서 알킬아민의 함량은 50 내지 200 중량부이고 아미노알코올의 함량은 16 내지 40 중량부인 것을 특징으로 하는,전이금속 디칼코게나이드 박막의 형성 방법
2 2
제1항에 있어서,알킬아민 및 아미노알코올은 각각 독립적으로탄소수 1 내지 5를 갖는 알킬기를 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속 디칼코게나이드 박막의 형성 방법
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 전구체는 암모늄 테트라티오몰리브데이트(Ammonium tetrathiomolybdate) 또는 암모늄 테트라티오텅스테네이트(Ammonium tetrathiotungstate)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속 디칼코게나이드 박막의 형성 방법
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서,상기 피처리 기판에 스핀-코팅하는 단계 이전에, 상기 피처리 기판의 표면을 산소 플라즈마 처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속 디칼코게나이드 박막의 형성 방법
7 7
제1항에 있어서,상기 열처리하는 단계는400℃ 내지 500℃에서 1차 어닐링하는 단계; 및900℃ 내지 1,100℃에서 2차 어닐링하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속 디칼코게나이드 박막의 형성 방법
8 8
제7항에 있어서,상기 열처리하는 단계는상기 1차 어닐링하는 단계 이전에 100℃ 내지 200℃에서 프리-어닐링하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속 디칼코게나이트 박막의 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 성균관대학교 산학협력단 일반연구자지원사업(기본연구) 용액공정을 이용한 대면적 MoS2 박막 형성 및 플렉시블 박막트랜지스터 제작 기반 기술 연구
2 미래창조과학부 성균관대학교 산학협력단 기초연구실지원사업 초박형 System-On-Skin 소자용 저차원 무기물 전자소재 및 공정 연구