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탄소나노튜브에 루테늄 디옥사이드 분말을 증착시키는 단계; 및 상기 탄소나노튜브에 증착된 루테늄 디옥사이드 분말을 환원시켜 루테늄 나노입자를 형성하는 단계를 포함하는 루테늄 나노입자가 결합된 탄소나노튜브의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 탄소나노튜브는 버퍼층 및 시드층이 형성된 기판 상에 직접 성장된 탄소나노튜브인 것을 특징으로 하는 루테늄 나노입자가 결합된 탄소나노튜브의 제조방법
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제2항에 있어서,
상기 버퍼층은 질화티타늄, SiO2, Al2O3 및 MgO으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종을 사용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 루테늄 나노입자가 결합된 탄소나노튜브의 제조방법
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제2항에 있어서,
상기 시드층은 니켈, 철 및 코발트로 이루어진 군으로부터 선택된 금속을 사용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 루테늄 나노입자가 결합된 탄소나노튜브의 제조방법
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제2항에 있어서,
상기 버퍼층과 시드층은 기판 상에 마그네트론 스퍼터링, 화학기상증착 또는 진공 증발법에 의해 증착되는 것을 특징으로 하는 루테늄 나노입자가 결합된 탄소나노튜브의 제조방법
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제2항에 있어서,
상기 탄소나노튜브는 직류 플라즈마 화학기상증착법(DC PE-CVD)에 의해 기판 상의 시드층에 성장되는 것을 특징으로 하는 루테늄 나노입자가 결합된 탄소나노튜브의 제조방법
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7
제1항에 있어서,
상기 루테늄 디옥사이드 분말은 고주파 스퍼터링 방식 화학기상증착법 또는 원자층 증착법에 의해 증착되는 것을 특징으로 하는 루테늄 나노입자가 결합된 탄소나노튜브의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 탄소나노튜브에 증착된 루테늄 디옥사이드 분말을 환원시키기 위하여 열처리 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 루테늄 나노입자가 결합된 탄소나노튜브의 제조방법
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제8항에 있어서,
상기 탄소나노튜브에 증착된 루테늄 디옥사이드 분말을 환원시키기 위한 열처리 공정은 300~600 ℃에서 수행되는 급속 열처리 공정인 것을 특징으로 하는 루테늄 나노입자가 결합된 탄소나노튜브의 제조방법
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10
탄소나노튜브에 루테늄 디옥사이드 분말을 증착시킨 후, 증착된 루테늄 디옥사이드 분말을 열처리 과정을 통해 환원시킴으로서 제조되는 루테늄 나노입자가 결합된 탄소나노튜브
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제10항에 있어서,
상기 루테늄 디옥사이드 분말은 고주파 스퍼터링 방식 화학기상증착법 또는 원자층 증착법에 의해 탄소나노튜브에 증착되는 것을 특징으로 하는 루테늄 나노입자가 결합된 탄소나노튜브
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12
제10항에 있어서,
상기 탄소나노튜브에 증착된 루테늄 디옥사이드 분말을 환원시키기 위한 열처리 과정은 300~600 ℃에서 급속 열처리 공정에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 루테늄 나노입자가 결합된 탄소나노튜브
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13
탄소나노튜브에 루테늄 디옥사이드 분말을 증착시킨 후, 증착된 루테늄 디옥사이드 분말을 열처리 과정을 통해 환원시킴으로서 제조되는 루테늄 나노입자가 결합된 탄소나노튜브를 포함하여 이루어진 전계방출소자
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