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액정 표시장치의 연성 ＭＩＭ 소자 제조방법

  • 기술번호 : KST2015144989
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 액정 표시장치의 연성 MIM 소자 제조방법에 관한 것으로, 특히 이 방법은 투명 플라스틱 기판 상부에 연성 금속물질로서 알루미늄으로 하부 전극을 형성하고, 투명 플라스틱 기판 상부에 하부 전극의 일부 상측면이 드러나는 절연막용 포토레지스트 패턴을 형성하고 하부 전극의 상측면에 절연막을 형성한 후에, 포토레지스트 패턴을 제거한다. 그리고 투명 플라스틱 기판 상부에 절연막의 상측면과 소정의 기판 표면이 드러나는 상부 전극용 포토레지스트 패턴을 형성하고, 결과물 전면에 하부 전극과 동일한 연성 금속물질인 알루미늄을 증착하고나서 리프트-오프로 포토레지스트 패턴과 그 상부에 증착된 알루미늄을 제거하여 상부 전극을 형성한다. 그러므로, 본 발명은 상부 전극과 하부 전극을 동일한 연성의 금속 물질로 형성함으로써 연성의 플라스틱 기판으로의 스트레스를 낮추어 플라스틱 기판의 변형과 하부 전극의 균열을 방지한다. 그리고, 본 발명의 MIM 소자는 절연막이 한 개이고 상부 전극과 하부 전극이 동일한 물질로 형성된 기본 대칭 구조를 갖기 때문에 제조 공정을 단순화하며 MIM 소자의 I-V 특성 곡선에서 대칭성을 이룬다.
Int. CL G02F 1/1365 (2006.01)
CPC G02F 1/13439(2013.01) G02F 1/13439(2013.01) G02F 1/13439(2013.01)
출원번호/일자 1020010052091 (2001.08.28)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0458122-0000 (2004.11.11)
공개번호/일자 10-2003-0018385 (2003.03.06) 문서열기
공고번호/일자 (20041120) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.08.28)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이찬재 대한민국 충청북도 청주시 흥덕구
2 홍성제 대한민국 경기도군포시산
3 한정인 대한민국 서울특별시송파구
4 김원근 대한민국 경기도오산시
5 곽민기 대한민국 경기도오산시
6 박성규 대한민국 경상남도 밀양시 하남
7 김영훈 대한민국 경기도 평택시 송탄공원로 ***

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2 김원준 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기 평택시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2001-0217718-12
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 2001.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2001-5241721-07
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.06.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2003-0028345-30
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0436589-60
6 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.01.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0000444-99
7 의견서
Written Opinion		 2004.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2004-0000445-34
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2004.07.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0284814-18
9 명세서 등 보정서 (심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2004.09.13 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2004-0012591-13
10 등록결정서
Decision to grant		 2004.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0433922-92
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

액정 표시장치에 구비된 하부 전극-절연막-상부 전극 소자를 형성하는 방법에 있어서,

투명 플라스틱 기판 상부에 알루미늄 또는 ITO의 연성 금속물질로 하부 전극을 형성하는 단계;

상기 하부 전극이 형성된 투명 플라스틱 기판 상부에 상기 하부 전극의 일부 상측면가 드러나도록 포토레지스트 패턴을 형성하고, 상기 하부 전극의 상측면에 절연막을 형성하는 단계;

상기 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계;

상기 절연막이 형성된 투명 플라스틱 기판 상부에 상기 절연막의 상측면과 기판 표면이 드러나도록 포토레지스트 패턴을 형성하고, 상기 결과물 전면에 상기 하부 전극과 동일한 연성 금속물질을 증착하는 단계; 및

상기 포토레지스트 패턴과 그 상부에 증착된 연성 금속물질을 리프트-오프로 제거하여 상기 절연막의 상측면과 기판 표면에 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 연성 MIM 소자 제조방법

2 2

제 1항에 있어서, 상기 투명 플릭스틱 기판은 연성의 투명 플라스틱인 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 연성 MIM 소자 제조방법

3 3

삭제
4 4

제 1항에 있어서, 상기 하부 전극이 알루미늄으로 형성될 경우 그 위에 양극 산화용 금속을 일정 두께로 형성한 후에, 절연막을 양극 산화 공정으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 연성 MIM 소자 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.