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개폐장치부(200), 장비수용부(300), 이송장치부(400), 및 가스주입장치(500)로 구성되는 공기 및 불활성 분위기 셀 간 대형장비 이송시스템에서,
공기 셀과 불활성 분위기 셀을 관통하여 고정되고 상하부가 개방된 쳄버(5),
상기 쳄버(5)의 상부 말단에 힌지(hinge)체결되고 상기 쳄버(5)의 상부 말단의 면적을 커버할 수 있도록 구비된 쳄버 상부뚜껑(6),
상기 쳄버(5) 상부 외측면에 고정되고 상기 쳄버 상부뚜껑(6)을 가압하여 상기 쳄버(5)에 접촉 고정시킬 수 있는 클램프체결장치(100),
공기 셀에 구비되고 대형장비가 통과할 수 있도록 구비된 이송관(1),
상기 이송관(1)의 상부말단에 구비되어 상기 이송관(1)의 상부말단의 면적을 커버할 수 있도록 구비된 일 측이 힌지(hinge)체결 된 이송관뚜껑(2)을 포함하는 상기 장비수용부(300);
상기 쳄버(5)의 위쪽으로 일정한 거리에 고정되고 상기 쳄버 상부뚜껑(6)의 힌지축 반대쪽 상측면과 연결되는 쳄버 상부뚜껑 인양장치(7),
상기 이송관(1)의 위쪽으로 일정한 거리에 고정되고 상기 이송관뚜껑(2)의 힌지축 반대쪽 상측면과 연결되는 이송관뚜껑 인양장치(3)를 포함하는 상기 개폐장치부(200);
상기 쳄버(5)의 일측면에 연결되고 상기 쳄버(5)와 통기될 수 있도록 구비되는 가스주입장치(500);
상기 쳄버(5)와 상기 이송관(1)의 하부 말단의 면적을 커버할 수 있도록 구비된 상하이동형테이블(4),
상기 상하이동형테이블(4)의 하부면에 접촉 구비되고 모서리 끝단에 볼스크류 너트(22)를 고정 구비하는 상하이동형테이블받침대(4a),
상기 볼스크류 너트(22)가 치합되어 삽입되는 볼스크류(11),
상기 볼스크류(11)의 하부 끝단에 수평방향으로 고정 구비되는 체인스프로켓(26),
상기 체인스프로켓(26)에 치합되는 체인(27),
상기 체인(27)에 치합되는 모터출력축스프로켓(26a),
상기 모터출력축스프로켓(26a)에 회전력을 제공하는 상하 이동모터 및 감속기(24),
상기 볼스크류(11)를 수용하는 카트(30)의 하단부에 레일(34)에 접촉 구비되어 상기 카트(30)가 좌우 이동할 수 있게 구비되는 바퀴(35),
상기 카트(30)의 하부 좌우 끝단에 고정 구비된 구동체인(29),
상기 구동체인(29)과 치합되고 상기 카트(30)의 이동영역 양끝부분에 회전가능하게 세로로 각각 구비된 구동체인스프로켓(32),
상기 구동체인스프로켓(32) 중 일측에 축을 통해서 회전력을 제공하는 좌우이동 모터 및 감속기(12)를 구비하는 이송장치부(400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 공기 및 불활성 분위기 셀 간 대형장비 이송시스템
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제 1항에 있어서,
일측은 상기 쳄버 상부뚜껑(6)의 외면에 고정 구비되고 타측은 공기 셀과 불활성 가스 셀을 구분하는 벽의 양측면 중 불활성 가스 셀 쪽 벽면에 힌지 고정되는 지지레버(15)를 포함하는 것을 특징으로 하는 공기 및 불활성 분위기 셀 간 대형장비 이송시스템
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3
제 1항에 있어서,
상기 공기 셀과 불활성 가스 셀을 구분하는 벽에 통기가 가능하게 구비된 공간을 밀폐할 수 있고 탈착이 가능하게 구비된 투시창(9),
일면이 개방되어 있고 개방된 면이 상기 투시창(9)의 면적을 커버할 수 있도록 구비되며 관을 통해서 가스를 주입할 수 있는 개폐가 가능한 통기구멍(8a)을 구비한 그로브박스(8)를 구비하는 것을 특징으로 하는 공기 및 불활성 분위기 셀 간 대형장비 이송시스템
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제 1항에 있어서,
상기 쳄버(5)의 상부의 플랜지 직경이 다른 두 개의 가스켓 링(17)을 안착시키고 각각의 상기 가스켓 링(17)의 사이공간에 유량게이지(14)가 연결될 수 있는 도관(16)을 구비하는 것을 특징으로 하는 공기 및 불활성 분위기 셀 간 대형장비 이송시스템
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제 1항에 있어서,
프레임(11a)의 좌우측 양측 하부면에 구비된 브라켓(33a), 상기 브라켓(33a)과 상기 구동체인(29)을 연결하는 볼트 및 너트 조합장치(33)를 구비하는 것을 특징으로 하는 공기 및 불활성 분위기 셀 간 대형장비 이송시스템
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6
제 1항에 있어서,
상기 체인스프로켓(26)의 하부 양쪽에 구비된 벨트로울러(31), 상기 벨트로울러(31)가 회전가능하게 체결된 고정편(31a), 상기 고정편(31a)을 프레임(11a)의 하부 측면에 고정시키는 것을 특징으로 하는 공기 및 불활성 분위기 셀 간 대형장비 이송시스템
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제 6항에 있어서,
상기 고정편(31a)에 상부에 수직방향으로 길게 펀칭된 장방형의 구멍(37a),
상기 장방형 구멍(37a)과 체결되어 상기 고정편(31a)을 상기 프레임(11a)의 하부 측면에 고정시키는 볼트(37)를 구비하는 것을 특징으로 하는 공기 및 불활성 분위기 셀 간 대형장비 이송시스템
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8
제 1항에 있어서,
상기 쳄버(5)의 하부에 구비된 쳄버 하부플랜지(5b), 상기 쳄버 하부플랜지(5b)에 접촉 밀폐될 수 있는 상기 상하이동형테이블(4), 상기 쳄버 하부플랜지(5b)와 상기 상하이동형테이블(4)이 접촉되는 면에 위치한 직경이 다른 두 개의 가스켓 링(19), 상기 각각의 가스켓 링(19) 사이에 유량게이지(18)를 연결하는 것을 특징으로 하는 공기 및 불활성 분위기 셀 간 대형장비 이송시스템
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제 1항에 있어서,
상기 상하이동형테이블 받침대(4a)에 상하이동형테이블(4)과 쳄버(5)가 정압으로 밀착될 수 있도록 하는 밀착압력조절볼트(20)를 구비하는 것을 특징으로 하는 공기 및 불활성 분위기 셀 간 대형장비 이송시스템
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10
제1항에 있어서,
개폐장치부(200), 장비수용부(300), 이송장치부(400), 및 가스주입장치(500)로 구성되는 공기 및 불활성 분위기 셀 간 대형장비 이송시스템에서,
상기 쳄버(5)와 상기 쳄버 상부뚜껑(6)을 밀폐하기 위해서 상기 쳄버(5)의 외면에 고정 구비된 프레임(50), 상기 프레임(50)의 하측 내부에 구비된 가스가 유출입될 수 있는 실린더(52), 상기 실린더(52)가 하부에 고정 구비되는 플레이트(52a), 상기 플레이트(52a)를 관통하여 상기 실린더(52) 내부에 밀폐 수용되며 상하이동이 가능한 피스톤(51a), 상기 피스톤(51a)의 상부 끝단에 고정 구비된 클램프 암(51)을 포함하는 클램프 체결장치(100)를 구비하는 것을 특징으로 하는 공기 및 불활성 분위기 셀 간 대형장비 이송시스템
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제 10항에 있어서,
상기 플레이트(52a)에 상부에 고정되고 상기 클램프 암(51)이 내려와서 맞닿을 수 있는 위치에 좌우로 슬라이드 될 수 있게 구비된 클램프 암 받침대(53),
상기 클램프 암 받침대(53)에 고정되는 돌출부(53a), 상기 플레이트(52a)의 하부에 상기 프레임(50)을 측면으로 관통하며 상기 실린더(52)의 외부 면에 끼워지는 빗장레버(54)를 구비하는 것을 특징으로 하는 공기 및 불활성 분위기 셀 간 대형장비 이송시스템
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