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내부에 피 가열체를 수용하도록 형성되는 챔버;상기 챔버의 외부에서 고주파 전류를 공급받아 상기 챔버 내부의 피 가열체를 가열하도록 상기 챔버의 외벽을 관통하는 관통부를 구비하는 유도코일; 및상기 유도코일과 상기 챔버의 외벽 사이에 전기적 절연을 유지하도록 상기 관통부를 감싸고, 상기 챔버의 외벽을 통해 외부로 열을 방출시켜 비수냉 방식으로 상기 유도코일을 냉각하도록 상기 유도코일에서 발생한 열을 상기 챔버의 외벽으로 전달하는 열전도성 절연튜브를 포함하며,상기 유도코일은 상기 챔버의 외부에 배치되는 부분의 내부에 냉각수 유로를 구비하는 것을 특징으로 하는 고주파 유도 가열 모듈
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제1항에 있어서,상기 열전도성 절연튜브는 공유결합 세라믹 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 고주파 유도 가열 모듈
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제2항에 있어서,상기 공유결합 세라믹 재료는 질화알루미늄(AlN)인 것을 특징으로 하는 고주파 유도 가열 모듈
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제1항에 있어서,상기 챔버의 기밀성을 유지하도록 상기 챔버의 외벽과 상기 열전도성 절연튜브 사이에 배치되어 상기 열전도성 절연튜브를 감싸는 금속튜브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 유도 가열 모듈
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제1항에 있어서,상기 유도코일은 상기 챔버의 외부에서 상기 고주파 전류를 발생시키는 발진기와 전기적으로 연결되고, 상기 냉각수 유로는 상기 발진기에서 상기 챔버의 외벽까지 연장되는 것을 특징으로 하는 고주파 유도 가열 모듈
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제5항에 있어서,상기 챔버의 외부에서 서로 이격되게 배치되는 상기 유도코일의 적어도 두 부분을 연결하고, 상기 두 부분 사이에 냉각수를 순환시키도록 내부에 상기 냉각수 유로와 통하는 연결 유로를 구비하는 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 유도 가열 모듈
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제1항에 있어서,상기 챔버는 상기 열전도성 절연튜브를 통해 전달되는 열에 의해 상기 챔버의 외벽 온도가 상승하는 것을 억제하도록 상기 외벽의 내부에 냉각수가 흐르는 것을 특징으로 하는 고주파 유도 가열 모듈
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