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다층 적층 판재가 구비되는 이격공간 양측에 구비되어 상기 다층 적층 판재를 고정하는 ‘ㄷ’자 및 역 'ㄷ'자 형상의 고정지그;상기 고정지그 상부와 하부에 구비되되 상기 다층 적층 판재를 가압하는 고정부재;상기 다층적층판재와 상기 고정부재 사이에 구비되어 상기 다층 적층 판재와 상기 고정부재의 확산접합을 방지하는 세라믹 볼인 접합방지 부재; 및상기 고정지그와 상기 접합방지 부재 사이에 구비되되 상기 접합방지 부재를 고정하는 접합방지 부재 고정지그를 포함하는 확산접합장치
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제1항에 있어서, 상기 다층 적층 판재는 적층 열교환기인 것을 특징으로 하는 확산접합장치
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제1항에 있어서, 상기 고정지그의 열팽창도는 상기 다층 적층 판재의 열팽창도에 대하여 90% 이하인 것을 특징으로 하는 확산접합장치
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제1항에 있어서, 상기 고정지그는 합금 공구강인 것을 특징으로 하는 확산접합장치
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제1항에 있어서, 상기 고정지그의 두께는 4 내지 10 cm인 것을 특징으로 하는 확산접합장치
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제1항에 있어서, 상기 고정부재는 볼트 또는 나사인 것을 특징으로 하는 확산접합장치
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 세라믹 볼은 알루미나(Al2O3), 실리카 카바이드(SiC), 지르코니아(ZrO2) 또는 이산화티타늄(TiO2)인 것을 특징으로 하는 확산접합장치
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제1항에 있어서, 상기 세라믹 볼은 확산접합이 수행되는 다층 적층 판재 일면의 길이 만큼 배열되되 폭 및 볼의 크기에 따라 단열 또는 다열로 배열되는 것을 특징으로 하는 확산접합장치
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제1항에 있어서, 상기 세라믹 볼은 직경이 0
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제1항에 있어서, 상기 고정부재 및 접합방지 부재 고정지그는 합금 공구강 인 것을 특징으로 하는 확산접합장치
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제1항에 있어서, 상기 접합방지 부재 고정지그는 접합방지 부재를 고정하기 위한 고정홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 확산접합장치
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다층 적층 판재가 구비되는 이격공간 양측에 구비되어 상기 다층 적층 판재를 고정하는 ‘ㄷ’자 및 역 'ㄷ'자 형상의 고정지그;상기 고정지그 상부와 하부에 구비되되 상기 다층 적층 판재를 가압하는 고정부재;상기 다층적층판재와 상기 고정부재 사이에 구비되어 상기 다층 적층 판재와 상기 고정부재의 확산접합을 방지하는 세라믹 볼인 접합방지 부재; 및상기 고정지그와 상기 접합방지 부재 사이에 구비되되 상기 접합방지 부재를 고정하는 접합방지 부재 고정지그를 포함하는 확산접합장치를 이용하여 다층 적층 판재를 상기 고정지그에 고정시키고, 상기 확산접합장치를 진공로 내부로 장입하여 진공가열함으로써 다층 적층 판재가 확산접합되는 것을 특징으로 하는 확산접합방법
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제13항에 있어서, 상기 진공가열은 상기 고정지그 및 다층 적층 판재의 상변태가 발생하지 않는 온도인 용융점 이하에서 수행되는 것을 특징으로 하는 확산접합방법
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제13항에 있어서, 상기 진공가열은 10-2 내지 10-7 torr 의 압력 및 200 내지 1500 ℃ 의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 확산접합방법
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