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모재의 간접가열방식을 이용한 에칭장치

  • 기술번호 : KST2015147706
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 모재의 간접가열방식을 이용한 에칭장치에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 에칭액을 공급하기 위한 에칭액공급부; 에칭 가공을 위한 모재(母材)가 얹히는 지지판; 및 상기 지지판을 가열하여 상기 모재의 간접가열을 가능하게 하는 히팅수단;을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.따라서 본 발명은 히팅수단에 의하여 지지판을 가열함으로써 모재가 가열되는 간접가열방식을 통하여 에칭작업을 수행함으로써 종래와 같이 부식 반응 촉진을 위해 강산액이나, 고온의 산성액을 에칭액으로 사용하지 않아 에칭 작업 시, 안전성 확보가 가능해질 뿐만 아니라, 수월성을 향상시킬 수 있는 모재의 간접가열방식을 이용한 에칭장치를 제안하고자 한다.
Int. CL C23F 1/08 (2006.01) B44C 1/22 (2006.01) H01L 21/306 (2006.01)
CPC C23F 1/08(2013.01) C23F 1/08(2013.01) C23F 1/08(2013.01)
출원번호/일자 1020120158593 (2012.12.31)
출원인 한국원자력연구원, 한국수력원자력 주식회사
등록번호/일자 10-1401782-0000 (2014.05.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140530) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.12.31)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국수력원자력 주식회사 대한민국 경상북도 경주시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김찬수 대한민국 대전 유성구
2 홍성덕 대한민국 대전 서구
3 김용완 대한민국 대전광역시 유성구
4 최영종 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이룸 대한민국 서울시 서초구 사평대로 ***, *층(반포동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국수력원자력 주식회사 경상북도 경주시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-1097903-95
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.07.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.23 수리 (Accepted) 9-1-2013-0069744-95
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.02.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0099650-77
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.04.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0349194-54
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.04.11 수리 (Accepted) 1-1-2014-0349192-63
7 등록결정서
Decision to grant
2014.05.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0350379-75
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.03.18 수리 (Accepted) 4-1-2016-5034922-43
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번호 청구항
1 1
에칭액을 공급하기 위한 에칭액공급부(10);에칭 가공을 위한 모재(母材)(BM)가 얹히는 지지판(20); 및상기 지지판(20)을 가열하여 상기 모재(BM)의 간접가열을 가능하게 하는 히팅수단(30);을 포함하여 이루어진 모재의 간접가열방식을 이용한 에칭장치
2 2
제 1 항에 있어서상기 모재(BM)는 강내식성을 갖는 합금소재인 것을 특징으로 하는 모재의 간접가열방식을 이용한 에칭장치
3 3
제 2 항에 있어서상기 합금소재는 alloy617 합금인 것을 특징으로 하는 모재의 간접가열방식을 이용한 에칭장치
4 4
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 히팅수단(30)에 의한 가열온도는 에칭액의 비등점 미만인 것을 특징으로 하는 모재의 간접가열방식을 이용한 에칭장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국원자력연구원 원자력기술개발사업 초고온가스로 요소기술개발