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육불화황(SF6)과 수소(H2)가 유입되도록 형성되는 챔버;상기 챔버에 전자빔을 조사하여, 상기 육불화황과 상기 수소를 황(S)과 불화수소(HF)로 분해하도록 형성되는 전자빔 조사장치; 및상기 챔버로부터 유출되는 상기 황과 상기 불화수소를 회수하도록 구성되는 회수부를 포함하고,상기 황과 상기 불화수소 이외의 부산물이 생성되지 않도록, 상기 육불화황과 상기 수소 이외에 다른 화합물은 상기 챔버로 유입되지 않도록 구성되는 것을 특징으로 하는 육불화황 처리 시스템
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제1항에 있어서,상기 육불화황은 중전기기(重電機器)에서 발생하는 난분해성 온실가스인 것을 특징으로 하는 육불화황 처리 시스템
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제1항에 있어서,상기 육불화황과 상기 수소를 혼합하여 상기 챔버로 유입시키도록 형성되는 가스혼합기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 육불화황 처리 시스템
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제1항에 있어서,상기 챔버로의 유입 경로 상에 마련되어, 상기 다른 화합물의 유입을 방지하도록 형성되는 필터장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 육불화황 처리 시스템
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제1항에 있어서,상기 수소는, 상기 육불화황이 상기 황과 상기 불화수소로 완전히 분해될 수 있도록, 상기 육불화황의 몰수의 최소 3배 이상의 몰수를 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 육불화황 처리 시스템
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제1항에 있어서,상기 챔버의 외주면에는 상기 전자빔이 통과 가능한 윈도우가 형성되며,상기 전자빔 조사장치는 상기 윈도우를 덮도록 설치되는 것을 특징으로 하는 육불화황 처리 시스템
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제1항에 있어서,상기 회수부는,상기 챔버로부터의 유출 경로 상에 마련되어, 상기 황을 포집하도록 형성되는 황회수장치; 및상기 황회수장치와 연결되고, 상기 불화수소를 농축시켜 회수하도록 형성되는 불화수소회수장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 육불화황 처리 시스템
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제8항에 있어서,상기 회수부는,상기 불화수소회수장치에 연결되어, 전자빔에 의하여 반응하지 못하고 남은 수소를 회수하도록 형성되는 수소회수장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 육불화황 처리 시스템
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제9항에 있어서,상기 수소회수장치는 상기 남은 수소를 상기 챔버로 유입시키도록 형성되는 것을 특징으로 하는 육불화황 처리 시스템
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육불화황(SF6)과 수소(H2)가 유입되도록 형성되는 챔버;상기 챔버에 전자빔을 조사하여, 상기 육불화황과 상기 수소를 황(S)과 불화수소(HF)로 분해하도록 형성되는 전자빔 조사장치; 및상기 챔버로부터 유출되는 상기 황과 상기 불화수소를 회수하도록 구성되는 회수부를 포함하고,상기 전자빔 조사장치를 통한 상기 육불화황의 처리 과정에서 반응을 일으키지 않도록, 질소 가스는 상기 챔버로 유입되지 않도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 육불화황 처리 시스템
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