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고강성 듀얼 서보 나노스테이지

  • 기술번호 : KST2015148853
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 보다 미세한 이동이 가능하고, 강성이 향상된 이송부를 갖는 고강성 듀얼 서보 나노스테이지에 관한 것으로서, 본 발명의 일 형태에 따른 스테이지는, 작업대상물이 놓여지는 작업대, 회전력을 제공하는 모터, 상기 모터에 의해 회전되면서 상기 작업대를 이송시키는 샤프트, 상기 작업대와 치합된 샤프트; 상기 샤프트를 회전시키는 모터, 내부에 상기 샤프트의 일단이 삽입되는 중공이 형성되며, 상기 샤프트와 모터의 사이에 구비되고, 신축함으로써 상기 샤프트를 축방향으로 선형이동시키는 선형이동부, 상기 샤프트가 상기 선형이동부에 의해 이동된 거리만큼 신축하는 신축부를 포함하여 이루어질 수 있다. 스테이지, 피에조, 신축
Int. CL B82Y 30/00 (2011.01) H01L 21/677 (2011.01)
CPC H01L 21/67706(2013.01) H01L 21/67706(2013.01) H01L 21/67706(2013.01) H01L 21/67706(2013.01) H01L 21/67706(2013.01) H01L 21/67706(2013.01) H01L 21/67706(2013.01)
출원번호/일자 1020080041204 (2008.05.02)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0975137-0000 (2010.08.04)
공개번호/일자 10-2009-0115372 (2009.11.05) 문서열기
공고번호/일자 (20100811) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.05.02)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강은구 대한민국 서울 영등포구
2 홍원표 대한민국 인천 연수구
3 이석우 대한민국 충청남도 천안시
4 최헌종 대한민국 서울특별시 강남구
5 이상무 대한민국 경기도 용인시 기흥구
6 남경태 대한민국 경기도 용인시 기흥구
7 유영선 대한민국 경기 용인시 수지읍 풍덕천리 수지

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고영갑 대한민국 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2008-0317264-61
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.08.13 수리 (Accepted) 9-1-2009-0045879-60
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.02.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0060092-59
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.04.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0228559-17
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.04.09 수리 (Accepted) 1-1-2010-0228552-09
10 등록결정서
Decision to grant		 2010.08.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0336019-87
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
작업대상물이 놓여지는 작업대; 회전력을 제공하는 모터; 상기 모터에 의해 회전되면서 상기 작업대를 이송시키는 샤프트; 내부에 상기 샤프트의 일단이 삽입되는 중공이 형성되며, 신축함으로써 상기 샤프트를 축방향으로 선형이동시키는 선형이동부; 상기 샤프트의 끝단에 형성되는 홈의 내주면과 상기 홈에 삽입되는 모터의 회전축의 외주면 사이에 구비되어, 상기 샤프트와 모터의 회전축을 회전방향으로는 구속하고 상기 샤프트의 축방향으로는 자유도를 부여하는 키를 포함하여 이루어져, 상기 샤프트가 선형이동부에 의해 이동된 거리만큼 신축하는 신축부; 를 포함하여 이루어지는 스테이지
2 2
제1항에 있어서, 상기 샤프트의 회전운동 및 선형이동을 상기 작업대의 선형이동으로 변환시키는 제1변환부가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 스테이지
3 3
제2항에 있어서, 상기 제1변환부는, 상기 샤프트의 둘레에 형성된 나사산; 상기 샤프트의 회전 및 선형이동에 따라 상기 작업대가 선형이동되도록 상기 작업대를 가압하며, 상기 샤프트의 나사산에 치합되게 형성되는 슬라이더; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스테이지
4 4
제2항에 있어서, 상기 샤프트의 회전축과, 상기 작업대의 회전축은 평행한 것을 특징으로 하는 스테이지
5 5
제1항에 있어서, 상기 샤프트의 회전운동 및 선형이동을 상기 작업대의 회전운동으로 변환시키는 제2변환부가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 스테이지
6 6
제5항에 있어서, 상기 제2변환부는, 상기 샤프트의 둘레에 형성된 나사산; 상기 샤프트의 회전 및 선형이동에 따라 상기 작업대가 회전되도록 상기 작업대의 어느일부에 상기 샤프트의 나사산에 치합되게 형성되는 톱니부; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스테이지
7 7
제5항에 있어서, 상기 샤프트의 회전축과 상기 작업대의 이동방향은 서로 평행하지않은 것을 특징으로 하는 스테이지
8 8
제1항에 있어서, 상기 모터가 구비된 타단에 구비되어 상기 샤프트를 지지하며, 상기 선형이동부에 의해 이동된 샤프트의 이송량만큼 탄성변형하는 받침대가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 스테이지
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
제1항에 있어서, 상기 선형이동부는, 피에조소자를 이용한 엑츄에이터인 것을 특징으로 하는 스테이지
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP02299483 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP02299483 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 US08476807 US 미국 FAMILY
4 US20110181151 US 미국 FAMILY
5 WO2009134031 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
6 WO2009134031 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP2299483 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP2299483 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 EP2299483 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 US2011181151 US 미국 DOCDBFAMILY
5 US8476807 US 미국 DOCDBFAMILY
6 WO2009134031 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
7 WO2009134031 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.