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ＲＦ 플라즈마 처리를 이용한 루테늄-크롬 합금 분말의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015149273
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 폐기 스퍼터링 타겟으로부터 얻어지는 루네늄-크롬 벌크 합금의 분쇄 및 RF 플라즈마 처리로 된 일련의 공정을 통해 새로운 스퍼터링 타겟을 제조하는데 사용될 수 있는 고순도 및 구상화된 재생분말을 제조하는 방법 및 그 제조장치를 제공하는데 주된 목적이 있다. 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 RF 플라즈마 처리를 이용한 루테늄-크롬 합금 분말의 제조방법은, 루테늄-크롬 합금으로 된 폐 스퍼터링 타겟으로부터 원자%로 루테늄 50 ~ 95% 및 크롬 5 ~ 50%의 벌크 합금을 마련하는 단계; 상기 루테늄-크롬의 벌크 합금을 0.1 ~ 1.0mm 크기의 분말로 조분쇄하는 단계; 상기 조분쇄된 루테늄-크롬 합금 분말을 20 ~ 250㎛ 크기의 분말로 미분쇄하는 단계; 및 상기 미분쇄된 루테늄-크롬 합금 분말을 RF 플라즈마 공정을 통해 고순도 및 구상화된 합금 분말로 제조하는 단계;를 포함한다.
Int. CL B22F 9/04 (2006.01) B22F 1/00 (2006.01) B22F 9/14 (2006.01)
CPC B22F 9/14(2013.01) B22F 9/14(2013.01) B22F 9/14(2013.01) B22F 9/14(2013.01) B22F 9/14(2013.01) B22F 9/14(2013.01)
출원번호/일자 1020130111326 (2013.09.16)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1510852-0000 (2015.04.03)
공개번호/일자 10-2015-0031750 (2015.03.25) 문서열기
공고번호/일자 (20150410) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.09.16)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임성철 대한민국 서울특별시 양천구
2 권혁천 대한민국 서울특별시 양천구
3 최한신 대한민국 인천광역시 연수구
4 호종환 대한민국 인천광역시 연수구
5 허규영 대한민국 인천광역시 연수구
6 백종진 대한민국 인천광역시 남동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인명인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층(역삼동, 두원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.09.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-0847868-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.08.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2014-0072763-68
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0818848-20
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2015-0080272-76
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.01.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0080297-17
8 등록결정서
Decision to grant		 2015.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0215427-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
루테늄-크롬 합금으로 된 폐 스퍼터링 타겟으로부터 원자%로 루테늄 50 ~ 95% 및 크롬 5 ~ 50%의 벌크 합금을 마련하는 단계;상기 루테늄-크롬의 벌크 합금을 0
2 2
청구항 1에 있어서,상기 조분쇄 단계는, 상기 루테늄-크롬의 벌크 합금을 5 ~ 30mm 크기로 예비 커팅하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 플라즈마를 이용한 루테늄-크롬 합금 분말의 제조방법
3 3
청구항 1에 있어서,상기 RF 플라즈마 처리 단계는, 63 ~ 125㎛ 크기의 루테늄-크롬 합금 분말을 RF 플라즈마 처리하여 고순도 및 구상화된 합금 분말로 제조하는 것을 특징으로 하는 RF 플라즈마를 이용한 루테늄-크롬 합금 분말의 제조방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 RF 플라즈마 처리 단계는, 38 ~ 63㎛ 크기의 루테늄-크롬 합금 분말을 RF 플라즈마 처리하여 고순도 및 구상화된 합금 분말로 제조하는 것을 특징으로 하는 RF 플라즈마를 이용한 루테늄-크롬 합금 분말의 제조방법
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
상기 청구항 1에 기재된 제조방법에 의해 제조되어, 99
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.