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경사 입사각 증착을 이용한 보호층 및 제조장치

  • 기술번호 : KST2015157533
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 경사 입사각 증착을 이용한 보호층 및 제조장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 경사 입사각 증착을 이용한 보호층은, 소정의 각도로 기울어져 회전되는 기판, 기판 상에 소정의 간격으로 이격되어 형성된 기둥 미세구조를 가지는 비등방 박막층, 비등방 박막층의 기둥 미세구조 상에 소정의 경사 입사각으로 증착되어 기둥 미세구조를 보호하는 보호층을 포함한다. 경사 입사각, 비등방 막박층, 보호층
Int. CL C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/28 (2006.01) C23C 16/458 (2006.01)
CPC C23C 14/225(2013.01) C23C 14/225(2013.01) C23C 14/225(2013.01)
출원번호/일자 1020090006513 (2009.01.28)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0087494 (2010.08.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 취하
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020110131768;
심사청구여부/일자 Y (2009.01.28)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황보창권 대한민국 인천광역시 연수구
2 박용준 대한민국 인천광역시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.01.28 취하 (Withdrawal) 1-1-2009-0051225-64
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220324-82
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.01.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.02.11 수리 (Accepted) 9-1-2010-0009665-87
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.03.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0117538-70
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.04.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0298179-80
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0298178-34
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0587688-55
9 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2011.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0979787-69
10 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2011.12.09 무효 (Invalidation) 7-1-2011-0048120-41
11 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2011.12.09 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2011-0048119-05
12 심사전치출원의 심사결과통지서
Notice of Result of Reexamination
2012.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0062455-45
13 [특허 등 절차 취하]취하(포기)서
[Withdrawal of Procedure such as Patent, etc.] Request for Withdrawal (Abandonment)
2012.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0463187-17
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
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번호 청구항
1 1
소정의 각도로 기울어져 회전되는 기판; 상기 기판 상에 소정의 간격으로 이격되어 형성된 기둥 미세구조를 가지는 비등방 박막층; 및 상기 비등방 박막층의 상기 기둥 미세구조 상에 소정의 경사 입사각으로 증착되어 상기 기둥 미세구조를 보호하는 보호층; 을 포함하고, 상기 소정의 경사입사각은 수학식 l을 만족하는, 003c#수학식 1003e# (여기서, 는 90-기둥입사각이고, B는 상기 기둥 미세구조의 높이이며, A는 상기 기둥 미세구조의 간격임) 경사 입사각 증착을 이용한 보호층
2 2
제1항에 있어서, 상기 보호층은 경사구조로 형성되는, 경사 입사각 증착을 이용한 보호층
3 3
제1항에 있어서, 상기 보호층은 지그재그구조로 형성되는, 경사 입사각 증착을 이용한 보호층
4 4
제1항에 있어서, 상기 보호층은 경사구조와 지그재그구조가 혼합된 형태의 구조로 형성되는, 경사 입사각 증착을 이용한 보호층
5 5
제1항에 있어서, 상기 기판은 유리 또는 고분자 물질로 이루어지는, 경사 입사각 증착을 이용한 보호층
6 6
챔버 내에 소정의 간격으로 이격되어 형성된 기둥 미세구조 상에 증착되는 보호층을 포함하는 기판이 장착되고, 지지 수단에 의해 소정의 각도로 기울어진 지지판; 상기 지지판에 부착되는 기판이 상기 소정의 각도를 갖도록 지지하는 지지 수단; 상기 기판에 상기 보호층이 나선형 피치로 형성되도록 회전시키는 회전 수단; 상기 보호층을 상기 기판으로 증착시키는 증착 수단; 및 상기 회전 수단의 회전 속도, 회전량과 비등방 박막층의 증착율과 지지판의 소정의 각도를 조절 및 제어하는 제어부; 를 포함하고, 상기 소정의 경사입사각은 수학식 l을 만족하는, 003c#수학식 1003e# (여기서, 는 90-기둥입사각이고, B는 상기 기둥 미세구조의 높이이며, A는 상기 기둥 미세구조의 간격임) 경사 입사각 증착을 이용한 보호층 제조장치
7 7
제6항에 있어서, 상기 보호층은 상기 기판에 회전에 따라 나선형 피치로 증착되는, 경사 입사각 증착을 이용한 보호층 제조장치
8 8
제6항에 있어서, 상기 보호층은 상기 기판의 소정의 각도의 기울기에 의해 형성되는, 경사 입사각 증착을 이용한 보호층 제조장치
9 9
제6항에 있어서, 상기 기둥 미세구조의 높이는 상기 기판의 회전 속도 및 보호층의 증착율로 조절되는, 경사 입사각 증착을 이용한 보호층 제조장치
지정국 정보가 없습니다
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1 KR101182626 KR 대한민국 FAMILY

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