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압전 모터의 제조 방법에 있어서,a) 저온 소결이 가능한 납(Pb), 아연(Zn), 니오브(Nb)로 조성되는 PZN과 납(Pb), 아연(Zn), 티타늄(Ti)으로 조성되는 PZT가 소정 비율로 혼합된 PZN-PZT 파우더에 폴리머를 첨가하여 압전체를 제조하는 압전체 제조 공정과;b) 상기 a) 공정에 의해 제조된 PZN-PZT 파우더와 은(Ag)이 소정 비율로 혼합된 파우더에 폴리머를 첨가하여 복합체를 제조하는 복합체 제조 공정과;c) 상기 압전체 및 복합체와 카본 블랙을 이용하여 상기 압전 모터의 초기 형상에 따른 피드로드(Feedrod)를 제작하는 피드로드 제작 공정과;d) 제작된 상기 피드로드(Feedrod)를 소정 크기의 성형 틀을 통해 사출하고 사출된 압전 모터 시편을 소정 크기로 절단하는 사출 공정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 초음파 모터의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 c) 공정이:c-1) 상기 복합체를 팔각 기둥 형상으로 성형하고, 그 중심에 상기 카본 블랙을 충전하기 위한 공간을 형성시켜 상기 카본 블랙을 충전하는 단계와; c-2) 상기 c-1) 단계에 의해 제조된 복합체의 사면으로 상기 압전체를 소정 간격으로 이격되게 부착하는 단계와;c-3) 상기 압전판 사이에 카본 블랙을 충전하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 초음파 모터의 제조 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 d) 공정이:사출된 압전 모터의 압전체 및 복합체에 첨가된 폴리머와 상기 피드로드(Feedrod) 제작시 충전된 카본 블랙을 연소시키는 열처리 과정을 거쳐 사출하는 것을 특징으로 하는 압전 초음파 모터의 제조 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 PZN-PZT 파우더에서 상기 PZN가 10% ~ 50%의 조성을 갖는 것을 특징으로 하는 압전 초음파 모터의 제조 방법
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제 1 항 내지 제 4 항에 있어서, 상기 복합체 파우더에서 상기 PZN-PZT 파우더가 30% ~ 70%의 조성을 갖는 것을 특징으로 하는 압전 초음파 모터의 제조 방법
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청구항 1 내지 청구항 4중 어느 한 항의 압전 초음파 모터의 제조 방법에 의해 제조된 압전 초음파 모터 장치에 있어서,압전 소자인 PZN-PZT 파우더와 은(Ag)이 소정 비율로 혼합된 복합체로 제조되는 실린더와; 일면이 상기 실린더 외측 사방에 부착되며, 그 타면에 은(Ag)이 도포된 압전체와;상기 압전체에 도포된 은(Ag)에 전기장을 가하기 위한 연결선과;상기 실린더 내부에 삽입되어 압전체에 의해 발생하는 압전 효과에 따라 회전하는 로터(Rotor);를 포함하는 압전 초음파 모터
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