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내부에 기판이 형성된 반응챔버와, 상기 반응챔버의 내부 하부측에 형성된 스퍼터건과 상기 스퍼터건 상부에 형성되어 스퍼터 건을 냉각시키는 냉각자켓을 포함하여 상기 기판에 박막을 증착시키는 스퍼터 장치와, 상기 스퍼터 장치보다 상대적으로 상측에 위치하며 상기 스퍼터 건을 중심으로 동심원상으로 다수개 형성되고 증발물질이 수용된 증발도가니가 형성된 증발 장치가 기판에 대향되게 설치되어 증발증착과 스퍼터 증착이 동시에 이루어지는 박막 증착 장치에 있어서,
상기 기판은 히터가 장착된 기판지지부의 전단에 형성되고, 상기 기판지지부는 승강수단에 의해 상하로 유동되어 기판과 스퍼터 장치 및 기판과 증발장치의 거리가 조절되되,
상기 증발장치는, 상기 증발도가니를 수용하는 외부도가니와; 상기 외부도가니에 감겨진 히터와; 상기 외부도가니 전체가 놓여 지는 수용틀; 그리고, 상기 증발도가니 내부에 수용된 증발물질의 온도를 측정/제어하는 온도센서; 및 상기 수용틀의 중앙부에 상하로 관통된 통공;을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 박막 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 증발장치는,
상기 증발도가니 상측에 형성되고 증발된 증발물질을 외부로 배출시키는 분사구가 형성된 증발도가니 덮개를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 박막 증착 장치
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제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 기판의 하부에는 기판에 불순물의 증착을 방지하는 셔터가 형성됨을 특징으로 하는 박막 증착 장치
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제4항에 있어서, 상기 셔터는 하측으로 함몰된 포켓형상으로 형성되며, 반응챔버 외부에 형성된 개방손잡이와 결합 되어 회전가능하게 형성됨을 특징으로 하는 박막 증착 장치
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제5항에 있어서, 상기 증발장치에는 상기 증발장치에서 증발된 증발물질의 하측 유입을 방지하는 방지 격벽이 형성됨을 특징으로 하는 박막 증착 장치
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제6항에 있어서, 상기 승강수단은,
상기 반응챔버 외부로 돌출되고, 외부에 나사산이 형성된 나사 기둥과;
상기 나사기둥에 결합되어 나사기둥을 회전시키는 모터와;
일측은 상기 기판지지부에 결합되고 타측은 상기 나사 기둥에 나사결합되어 나사기둥을 따라 상하로 유동됨에 의해 상기 기판지지부를 상하로 유동시키는 결합프랜지;를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 박막 증착 장치
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제6항에 있어서, 상기 스퍼터 건은 상하로 이동가능하게 상기 반응챔버 내에 형성됨을 특징으로 하는 박막 증착 장치
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