요약 |
본 발명은 고전압 펄스발생회로에 관한 것으로서, 고압충전기, 상기 고압충전기의 고전압에 의해 충전되는 커패시터, 상기 커패시터의 충전전압을 이용하여 부하단에 원하는 펄스의 형태로 제어하여 인가하는 스위치(반도체 스위치 등 사용)를 포함하여 구성되는 고전압 펄스발생회로에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 부하에 충전된 전압을 제거하기 위하여 불필요한 전력을 소모하면서 고압에 의한 저항 발열 문제와 비용 문제 등을 발생시키는 종래의 풀다운 저항을 사용하지 않고도 동등한 효과를 얻을 수 있는 펄스전원용 풀다운 회로(pull-down circuit)를 제공하는데 그 목적이 있는 것이다. 상기한 목적을 달성하기 위해, 커패시터의 후단에 제1다이오드와, 제2다이오드 또는 풀다운 저항을 직, 병렬로 연결하되, 상기 제2다이오드 또는 풀다운 저항을 상기 커패시터와 부하 사이에 배치하여 연결하고, 스위치와 제1다이오드, 부하를 접지단으로 연결하며, 상기 제2다이오드로서 긴 회복시간을 갖는 저속 회복 다이오드를 사용하여 구성한 풀다운 회로가 개시된다. 고전압, 펄스발생회로, 고압충전기, 커패시터, 다이오드, 챔버, 풀다운 저항
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