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직선형의 레일 형태로 구비되는 고정자(10)와;
증착 공정을 위한 디스플레이 제품을 적재한 채로 상기 고정자에 대하여 흡인식 자기부상되어 직선 이송하는 이송자(20)와;
상기 고정자(10)와 이송자(20)간에 3점 지지되며 흡인식 자기부상력을 발생시키는 동시에 이송자에 열발생을 차단하는 흡인식 자기부상수단(30)과;
상기 고정자(10) 및 이송자(20)간의 대응되는 위치에 설치되어, 이송자(20)의 직선 이송을 위한 추진력을 발생시키는 추진수단(40)과;
상기 고정자(10)를 따라 직선 이송하는 이송자(20)가 그 이송궤도내에 존재하도록 이송자(20)의 양측부를 잡아주는 흡인식 안내력을 발생시키는 가이드수단(50);
을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 자기부상 및 자기베어링을 이용한 직선이송장치
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청구항 1에 있어서, 상기 고정자(10)는:
설치부지에 고정되는 하부레일(14)과;
상기 하부레일(14)의 일끝단 및 타끝단에 각각 일체가 되며 수직으로 세워지되, 상단부가 안쪽방향으로 수직 절곡된 제1 및 제2상부레일(11,12)과;
상기 제1 및 제2상부레일(11,12) 사이의 하부레일(14)의 상면에 일체가 되며 수직으로 세워지되, 상단부가 제2상부레일(12)과 같은 방향으로 수직 절곡된 제3상부레일(13);
로 구성된 것을 특징으로 하는 자기부상 및 자기베어링을 이용한 직선이송장치
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청구항 1에 있어서, 상기 이송자(20)는:
증착공정을 위한 제품을 적재하여 이송하는 이송판(24)과;
상기 이송판(24)의 저면 소정 위치에 일체가 되며 고정자의 제1 및 제3상부레일(11,13) 사이로 연장되는 제1지지바(25)와;
상기 제1지지바(25)의 하단끝에서 양쪽으로 연장되어 상기 제1 및 제3상부레일(11,13)의 상단부 저면과 서로 마주보게 되는 제1 및 제3부상판(21,23)과;
상기 이송판(24)의 저면 소정 위치에 일체가 되며 고정자(10)의 제2 및 제3상부레일(12,13) 사이로 연장되는 제2지지바(26)와;
상기 제2지지바(26)의 하단끝에서 바깥쪽으로 연장되어 상기 제2상부레일(12)의 상단부 저면과 서로 마주보게 되는 제2부상판(22);
으로 구성된 것을 특징으로 하는 자기부상 및 자기베어링을 이용한 직선이송장치
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청구항 1에 있어서, 상기 흡인식 자기부상수단(30)은:
고정자(10)의 제1,2,3상부레일(11,12,13)의 상단부 저면에 장착되는 전자석코어(32) 및 이 전자석 코어(32)에 감겨진 고정자 권선(34)으로 이루어진 부상전자석(36)과;
이송자(20)의 제1,2,3부상판(21,22,23)의 상면에 장착되어, 상기 부상전자석(36)과 흡인식으로 자기부상력을 발휘하도록 한 자기회로 경로형성 부재(38);
으로 구성된 것을 특징으로 하는 자기부상 및 자기베어링을 이용한 직선이송장치
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청구항 1에 있어서, 상기 추진수단(40)은:
고정자(10)의 하부레일(14) 바닥면에 설치되는 공심형 선형동기전동기(42)와;
상기 공심형 선형동기전동기(42)와 상하방향으로 대응되면서, 이송자(20)의 제1 및 제3부상판(21,22)의 저면에 걸쳐 부착되는 영구자석(44);
으로 구성된 것을 특징으로 하는 자기부상 및 자기베어링을 이용한 직선이송장치
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청구항 1에 있어서, 상기 가이드수단(50)은:
이송자(20)의 이송판(24) 양측면에 부착되는 자기회로 경로형성 부재(52);
전자석 코어(54) 및 이 전자석 코어(54)에 감겨진 고정자 권선(56)으로 이루어져, 상기 자기회로 경로형성 부재(52)의 바깥쪽에 이격 배치되며 고정 장착되는 가이드 전자석(58);
으로 구성된 것을 특징으로 하는 자기부상 및 자기베어링을 이용한 직선이송장치
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7
청구항 4에 있어서,
상기 이송자(20)의 제1,2,3부상판(21,22,23)에 각각 부착된 자기회로 경로형성 부재(38)는 평면에서 보았을 때, 삼각형 배열을 이루도록 배치된 것을 특징으로 하는 자기부상 및 자기베어링을 이용한 직선이송장치
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8
청구항 4에 있어서,
상기 고정자(10)의 제1,2,3상부레일(11,12,13)의 부상전자석(36)은 여러 개의 섹션으로 나누어져 장착되고, 각 레일의 길이가 늘어날수록 섹션의 개수도 늘어나는 것을 특징으로 하는 자기부상 및 자기베어링을 이용한 직선이송장치
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9
청구항 8에 있어서,
여러 개의 섹션으로 나누어져 장착되는 부상전자석(36)끼리의 연결 구조로서, 각 부상전자석(36)의 전자석 코어(32)를 서로 맞붙게 하고, 이 전자석 코어(32)마다 권선(32)이 독립적으로 감겨지게 하여, 각 부상전자석(36)의 제어 전류를 달리 줄 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 자기부상 및 자기베어링을 이용한 직선이송장치
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청구항 9에 있어서,
여러개의 섹션중 N번째 섹션과 N+1번째 섹션에서 발생하는 힘을 독립적으로 제어 가능하되, 전체 발생하는 힘을 일정하게(FN+FN+1=상수) 제어하여, 각 섹션으로 전환하는 동안, 왜란(Disturbance)이 발생되지 않도록 한 것을 특징으로 하는 자기부상 및 자기베어링을 이용한 직선이송장치
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11
청구항 4에 있어서,
상기 이송자(20)의 제1,2,3부상판(21,22,23)의 상면에 장착되어, 상기 부상전자석(36)과 흡인식으로 자기부상력을 발휘하도록 한 전자석 코어는 발생되는 열을 최소화하기 위하여 적층(Lemination) 코어를 사용한 것을 특징으로 하는 자기부상 및 자기베어링을 이용한 직선이송장치
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12
청구항 4에 있어서,
상기 고정자(10)의 각 전자석 코어(32) 및 고정자 권선(34)의 인접 위치에 수냉경로를 더 형성하여, 수냉 방식의 냉각이 이루어지도록 한 것을 특징으로 하는 자기부상 및 자기베어링을 이용한 직선이송장치
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