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자기부상을 이용한 원통형 기판용 코팅 장치

  • 기술번호 : KST2015163303
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 원통형 기판용 코팅 장치에 관한 것으로서, 원통형 기판에 대해 균일하게 코팅액을 도포하고 고 정밀도의 코팅이 가능하도록 하는 코팅 장치를 제공하는데 그 목적이 있는 것이다. 상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 코일조립체를 가지는 베이스부와; 상기 코일조립체의 상측으로 배치되는 영구자석조립체를 가지면서, 상기 영구자석조립체와 전원이 인가되는 상기 코일조립체 간의 상호작용에 의해 자기부상 및 회전, 축방향 이동이 가능하도록 구비되고, 코팅 대상이 되는 원통형 기판이 장착되는 자기부상형 기판고정부와; 상기 기판고정부과 함께 자기부상된 상태로 회전되는 원통형 기판의 표면에 코팅액공급부에서 공급되는 코팅액을 노즐을 통해 분사하여 도포하는 노즐부;를 포함하는 원통형 기판용 코팅 장치를 제공한다. 원통형 기판, 코팅, 감광제, 사진 공정, 자기부상
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/18(2013.01) G03F 7/18(2013.01) G03F 7/18(2013.01) G03F 7/18(2013.01) G03F 7/18(2013.01) G03F 7/18(2013.01) G03F 7/18(2013.01) G03F 7/18(2013.01)
출원번호/일자 1020090123745 (2009.12.14)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-1087584-0000 (2011.11.22)
공개번호/일자 10-2011-0067237 (2011.06.22) 문서열기
공고번호/일자 (20111129) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.12.14)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김판겸 대한민국 경상남도 밀양시
2 오현석 대한민국 경기도 수원시 영통구
3 정성일 대한민국 경상남도 밀양시
4 김현택 대한민국 경상남도 밀양시
5 전정우 대한민국 경상남도 창원시
6 김종문 대한민국 대구광역시 달서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한라특허법인(유한) 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2009-0769257-10
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.11.08 수리 (Accepted) 4-1-2010-5207456-63
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.03.21 수리 (Accepted) 9-1-2011-0026394-97
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0169255-17
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0402260-44
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.05.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0402259-08
8 등록결정서
Decision to grant		 2011.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0599213-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
10 대리인선임신고서
Report on Appointment of Agent		 2015.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-5033520-42
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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코일조립체(21)을 가지는 베이스부(20); 상기 코일조립체(21)의 상측으로 배치되는 영구자석조립체(12)를 가지면서 상기 영구자석조립체(12)와 전원이 인가되는 상기 코일조립체(21) 간의 상호작용에 의해 자기부상 및 회전, 축방향 이동이 가능하도록 구비되고, 코팅 대상이 되는 원통형 기판(1)이 장착되되, 외주상에 원통형 기판(1)이 끼워지는 축부(11)와 상기 축부(11)의 양단부에 장착되는 영구자석조립체(12)를 포함하여 구성되는 기판고정부(10); 상기 기판고정부(10)와 함께 자기부상된 상태로 회전되는 원통형 기판(1)의 표면에 코팅액공급부에서 공급되는 코팅액을 노즐(32)을 통해 분사하여 도포하는 노즐부(30); 를 포함하며, 상기 영구자석조립체(12)는 베이스부(20)의 코일조립체(21)의 상측으로 위치될 수 있도록 축부(11)의 양단부에 각각 조립되어 구성되되, 축부(11)의 외주상에 복수의 영구자석들을 환형으로 배열하여 구성될 수 있고, 상기 노즐부(30)는 코팅액 도포의 균일도 향상을 위해 원통형 기판(1)의 주변으로 배치되는 복수의 노즐(32)을 구비하되, 상기 노즐(32)들이 원통형 기판(1)의 횡단면 원주방향을 따라 상/하/좌/우 위치에 대칭으로 위치되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 코팅 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 노즐부(30)는 노즐(32) 하나를 메인공급관(31)에 연결하고 노즐(32)과 노즐 간에 코팅액이 전달되도록 이웃한 노즐(32) 상호 간을 연결관(35)으로 연결하여 상기 메인공급관(31)으로부터 공급된 코팅액이 각 노즐(32)로 분배되도록 한 링 타입 구성인 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 코팅 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 노즐부(30)는 원통형 기판(1)과 노즐(32)의 거리가 조정될 수 있도록 노즐(32)의 위치를 조정하는 위치조정수단을 구비하되, 상기 위치조정수단은 노즐(32)의 위치를 조정하기 위한 액츄에이터로서 실린더 장치(33)를 구비하고 상기 실린더 장치(33)의 전후진 동작 제어되는 피스톤 로드(34)에 노즐(32)을 장착하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 코팅 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 노즐부(30)는 원통형 기판(1)과 노즐(32)의 거리가 조정될 수 있도록 노즐(32)의 위치를 조정하는 위치조정수단을 구비하되, 상기 위치조정수단은 모터 및 그 구동에 의해 회전되는 스크류축, 노즐과 일체인 노즐 바디가 안내되는 가이드부를 구비하고 상기 스크류축을 노즐 바디에 나사 결합하여 모터 구동시 스크류축이 회전됨에 따라 노즐 바디가 전후진되도록 구성된 스크류 구동방식의 선형구동장치인 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 코팅 장치
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