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원통 금형을 양쪽에서 지지하며 영구자석(10a,10b)과 전자석(11a,11b)의 상호작용에 의한 자기부상력과 자기이송력에 의해 회전 및 직선이송이 가능한 회전용 원통가동부(12) 및 직선이송용 원통가동부(13);상기 회전용 원통가동부(12) 및 직선이송용 원통가동부(13)의 각 아래쪽에 배치되어 비접촉으로 원통가동부를 지지하는 회전용 원통고정부(14) 및 직선이송용 원통고정부(15);를 포함하며, 상기 회전용 원통가동부(12)의 영구자석(11a) 배열과 회전용 원통고정부(14)의 전자석(11a) 배열의 상호작용에 의해 자기부상력과 자기회전력이 발생되는 동시에 직선이송용 원통가동부(13)의 영구자석(11b)의 배열과 직선이송용 원통고정부(15)의 전자석(11b) 배열의 상호작용에 의해 자기부상력과 자기이송력이 발생되어, 원통 금형을 비접촉으로 초정밀하게 부상, 회전 및 축방향 이송시킬 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
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청구항 1에 있어서, 상기 회전용 원통가동부(12)와 직선이송용 원통가동부(13)의 영구자석(10a,10b)은 원통가동부 내에 압입되어, 영구자석 간의 반발력에 의한 배열 분리를 방지할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
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청구항 1에 있어서, 상기 회전용 원통고정부(14)와 직선이송용 원통고정부(15)의 전자석(11a,11b)은 원통고정부 내에 삽입 및 에폭시 몰딩되어, 전자석 간의 반발력에 의한 배열 분리를 방지할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
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청구항 1에 있어서, 상기 회전용 원통가동부(12) 및 직선이송용 원통가동부(13)의 각 상부에 근접 배치되어, 영구자석 배열과 전자석 배열의 상호작용에 의한 자기부상력을 보조하는 자기부상력 보조부(16a,16b)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
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청구항 1에 있어서, 상기 회전용 원통고정부(14) 및 직선이송용 원통고정부(15)를 지지하는 공기부상 가동부(17)와 이 공기부상 가동부(17)의 하부에 조합되는 공기부상 고정부(18)를 포함하며, 공기부상 가동부 각각이 가지고 있는 공기부상 영구자석(19)과 공기부상 전자석(20)에 의해 공기부상 가동부(17)가 부상되어, 회전용 원통고정부(14) 및 직선이송용 원통고정부(15)를 포함하는 공기부상 가동부(17) 전체가 비접촉으로 이송될 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
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청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서, 상기 원통 금형의 축방향 장거리 이송은 공기부상 가동부(17) 및 공기부상 고정부(18)가 담당하고, 원통 금형의 축방향 미소 이송은 직선이송용 원통가동부(13) 및 직선이송용 원통고정부(15)가 담당하는 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
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7
챔버(21)의 내부에 설치되는 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항의 원통형 자기부상 스테이지와, 챔버(21) 내의 원통 금형 상부에 설치되는 광원(22)을 포함하며, 대형 크기의 원통 표면에 직접 나노미터 크기의 패턴을 대면적으로 새길 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 노광장치
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8
청구항 7에 있어서, 상기 원통 금형의 상부에 설치되어, 광원(22)과 원통 금형 사이에 부분적으로만 진공환경이 되도록 구면 또는 비구면 형상을 갖는 차동 진공부(23)를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치
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청구항 8에 있어서, 상기 차동 진공부(23)는 각각은 몸체의 측방향과 하방향을 통해 연통되는 구조로서, 몸체 저면쪽에서 일정간격을 두고 동심 배치되는 고진공관로(24), 저진공관로(25) 및 공압관로(26)를 포함하며, 광원과 원통 금형 사이에 부분적으로만 진공환경을 조성할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 노광장치
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10
청구항 9에 있어서, 상기 차동 진공부(23)의 몸체 저면쪽에 형성되는 고진공관로(24), 저진공관로(25) 및 공압관로(26)는 원형 또는 다각형의 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 노광장치
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11
챔버(21)의 내부에 설치되는 청구항 6의 원통형 자기부상 스테이지와, 챔버(21) 내의 원통 금형 상부에 설치되는 광원(22)을 포함하며, 대형 크기의 원통 표면에 직접 나노미터 크기의 패턴을 대면적으로 새길 수 있고, 상기 공기부상 가동부(17)가 공기부상 고정부(18)를 따라 이동함에 있어서, 공기부상 고정부(18)를 길게 연장하여, 원통 금형을 포함하는 원통가동부 및 원통고정부 전체를 챔버(21)의 바깥으로 이송할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 노광장치
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12
청구항 8에 있어서, 상기 광원(22)과 원통 금형 사이의 간격을 차동 진공부(23)와 원통형 자기부상스테이지에 의해 제어할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 노광장치
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13
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서, 상기 회전용 원통고정부(14) 및 직선이송용 원통고정부(15) 전체는 구름베어링 선형스테이지에 의해 이동될 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
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14
청구항 7에 있어서, 상기 원통형 자기부상 스테이지를 대신하여 원통형 공기베어링으로 원통 금형을 비접촉으로 초정밀하게 부상시킬 수 있거나, 또는 원통형 자기부상 스테이지 및 원통형 공기베어링과 함께 적용하여 초정밀하게 부상, 회전 및 축방향 이송시킬 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 노광장치
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