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기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치

  • 기술번호 : KST2015163506
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판을 수직 및 수평으로 세워서 탑재시킨 대차를 인라인 방식에 의해 정속으로 부상 안내 및 추진시킬 수 있도록 한 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치에 관한 것이다.즉, 본 발명은 디스플레이 또는 반도체 분야의 공정장비에서 진공챔버 내의 분진과 진동문제를 해결하고, 고정밀의 스테이지 위치 제어가 가능하여 인라인 방식의 원래 목적을 달성하여 생산효율을 향상시키기 위해 안출한 것으로서, 고진공 조건에서 진행되는 증착공정에서도 아웃개싱없이 전자석이나 영구자석에서 발생한 자기력으로 물체를 부상시켜 안내 추진 또는 회전시키는 자기부상 방식을 이용하여, 기판을 수직 및 수평으로 세워서 탑재시킨 대차를 인라인 방식에 의해 정속으로 부상 안내 및 추진시킬 수 있도록 한 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치를 제공하고자 한 것이다.
Int. CL B60L 13/10 (2006.01) B65G 49/07 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01) B65G 54/02 (2006.01)
CPC H01L 21/67712(2013.01) H01L 21/67712(2013.01) H01L 21/67712(2013.01) H01L 21/67712(2013.01) H01L 21/67712(2013.01)
출원번호/일자 1020120051921 (2012.05.16)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0128117 (2013.11.26) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.05.16)
심사청구항수 43

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종문 대한민국 경남 밀양시 삼문*길 *,
2 전정우 대한민국 경남 밀양시 미리벌로
3 김판겸 대한민국 경남 밀양시 시청로*길 *,
4 오현석 대한민국 경남 밀양시 점필재로 **,
5 정성일 대한민국 경남 김해시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한라특허법인(유한) 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0391309-79
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.04.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0045501-56
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.09.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0617120-63
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.11.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0999108-26
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.12.03 수리 (Accepted) 1-1-2013-1104602-57
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-0007219-86
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.01.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0007217-95
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2014.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0228797-62
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
11 대리인선임신고서
Report on Appointment of Agent		 2015.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-5033520-42
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번호 청구항
1 1
일정면적의 대차(10)와, 대차(10)에 장착되어 기판을 탑재시키는 트레이 모듈(12)을 포함하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치에 있어서,상기 대차(10)의 상면 또는 저면, 상면 및 저면쪽에 대차를 부상방향(Z축 방향)으로 부상시키기 위하여 선택적으로 배열 장착되는 부상수단과;상기 대차(10)의 양측면쪽에 대차의 수평안내 방향(Y축 방향)으로 안내하기 위해 배열 장착되는 수평방향 안내수단과;상기 대차(10)의 상면 또는 저면, 상면 및 저면, 측면쪽에 대차를 추진방향(X축 방향)으로 추진시키거나 부상 보조를 하기 위하여 선택적으로 배열 장착되는 추진수단과;상기 대차(10) 및 트레이 모듈(12)의 부상방향(Z축) 갭과 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위한 갭측정수단 및 상기 대차(10) 및 트레이 모듈(12)의 추진방향(X축) 위치를 측정하기 위한 위치측정수단;을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
2 2
청구항 1에 있어서,상기 부상수단으로서, 대차(10)의 상하면에서 그 양측단부에 한 쌍의 제1부상자석 대향면(23) 및 제2부상자석 대향면(24)이 부착되는 동시에 제1부상자석 대향면(23) 및 제2부상자석 대향면(24)과 마주보는 위치에는 각각 제1부상자석(21) 및 제2부상자석(22)이 이격 배치되고,상기 수평방향 안내수단 및 추진수단으로서, 대차(10)의 양측면에는 제1안내추진자석 대향면(33) 및 제2안내추진자석 대향면(34)이 부착되고, 제1안내추진자석 대향면(33) 및 제2안내추진자석 대향면(34)과 마주보는 위치에는 각각 제1안내추진자석(31) 및 제2안내추진자석(32)이 이격 배치되며, 상기 갭측정수단은, 대차(10)의 수직부상 방향(Z축) 갭을 측정하기 위해 제1부상자석(21) 또는 제2부상자석(22)의 외측에 인접 배치되는 제1갭센서(25)와, 대차(10)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 제1안내추진자석(31) 또는 제2안내추진자석(32)의 상부에 인접 배치되는 제2갭센서(35)와, 상기 트레이 모듈(12)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 트레이 모듈(12)의 일끝단부에 인접 배치되는 제3갭센서(43)로 구성되며, 각 갭센서는 추진방향(X축)으로 챔버안에 일정간격으로 고정 배치된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
3 3
청구항 2에 있어서,상기 제1 및 제2부상자석(21,22)은 코어와 코일이 조합된 전자석으로 채택되거나, 코일(26)과 자성체 코어(28)로 구성된 전자석으로 채택되거나 영구자석과 코일을 포함한 형태의 자석으로 채택되고, 제1 및 제2부상자석 대향면(23,24)은 자성체로서 금속판으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
4 4
청구항 2에 있어서,상기 제1 및 제2안내추진자석(31,32)은 고정자(36)로서 코어가 없는 3상 코일로 채택되고, 상기 제1 및 제2안내추진자석 대향면(33,34)은 가동자(37)로서 영구자석을 겹쳐서 제작된 것이면서 고정자(36)와의 사이의 자속밀도를 키울 수 있는 할바흐 배열(Halbach array)을 갖도록 제작된 것으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
5 5
청구항 1 또는 2에 있어서,상기 대차(10)의 저부에는 위치측정수단으로서 대차의 추진방향 위치를 측정하는 위치센서(16)가 배치되고, 이 위치센서(16)는 대차(10)의 저면에 고정되는 스케일(17)과, 스케일(17)과 마주보는 위치에 이격 배치되는 리니어엔코더(18)로 구성되며, 상기 리니어엔코더(18)은 추진방향(X축)으로 챔버안에 일정간격으로 고정 배치된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
6 6
청구항 1에 있어서,상기 부상수단으로서, 대차(10)의 상면에서 그 양측단부에 한 쌍의 제1부상자석 대향면(23)이 부착되는 동시에 제1부상자석 대향면(23)과 마주보는 위치에는 제1부상자석(21)이 이격 배치되고,상기 수평방향 안내수단 및 추진수단으로서, 대차(10)의 양측면에는 제1안내추진자석 대향면(33) 및 제2안내추진자석 대향면(34)이 부착되고, 제1안내추진자석 대향면(33) 및 제2안내추진자석 대향면(34)과 마주보는 위치에는 각각 제1안내추진자석(31) 및 제2안내추진자석(32)이 이격 배치되며, 상기 갭측정수단은, 대차(10)의 수직부상 방향(Z축) 갭을 측정하기 위해 제1부상자석(21) 또는 제2부상자석(22)의 외측에 인접 배치되는 제1갭센서(25)와, 대차(10)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 제1안내추진자석(31) 또는 제2안내추진자석(32)의 상부에 인접 배치되는 제2갭센서(35)와, 상기 트레이 모듈(12)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 트레이 모듈(12)의 일끝단부에 인접 배치되는 제3갭센서(43)로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
7 7
청구항 6에 있어서,상기 제1부상자석(21)은 코어와 코일이 조합된 전자석으로 채택되거나, 코일(26)과 자성체 코어(28)로 구성된 전자석으로 채택되거나 영구자석과 코일을 포함한 형태의 자석으로 채택되고, 제1부상자석 대향면(23)은 자성체로서 금속판으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
8 8
청구항 6에 있어서,상기 제1 및 제2안내추진자석(31,32)은 고정자(36)로서 코어가 없는 3상 코일로 채택되고, 상기 제1 및 제2안내추진자석 대향면(33,34)은 가동자(37)로서 영구자석을 겹쳐서 제작된 것이면서 고정자(36)와의 사이의 자속밀도를 키울 수 있는 할바흐 배열(Halbach array)을 갖도록 제작된 것으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
9 9
청구항 1 또는 청구항 6에 있어서,상기 대차(10)의 저부에는 위치측정수단으로서 대차의 추진방향 위치를 측정하는 위치센서(16)가 배치되고, 이 위치센서(16)는 대차(10)의 저면에 고정되는 스케일(17)과, 스케일(17)과 마주보는 위치에 이격 배치되는 리니어엔코더(18)로 구성되며, 상기 리니어엔코더(18)은 추진방향(X축)으로 챔버안에 일정간격으로 고정 배치된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
10 10
청구항 1에 있어서,상기 부상수단으로서, 대차(10)의 상면에서 그 양측단부에 한 쌍의 제1부상자석 대향면(23)이 부착되는 동시에 제1부상자석 대향면(23)과 마주보는 위치에는 제1부상자석(21)이 이격 배치되고,상기 수평방향 안내수단 및 추진수단으로서, 대차(10)의 양측면에는 제1안내추진자석 대향면(33) 및 제2안내추진자석 대향면(34)이 부착되고, 제1안내추진자석 대향면(33) 및 제2안내추진자석 대향면(34)과 마주보는 위치에는 각각 제1안내추진자석(31) 및 제2안내추진자석(32)이 이격 배치되며,상기 추진수단으로서, 대차(10)의 저면 양쪽에 부상추진자석 대향면(52)이 더 부착되고, 부상추진자석 대향면(52)과 마주보는 위치에 부상추진자석(51)이 더 배치되며,상기 갭측정수단은, 대차(10)의 수직부상 방향(Z축) 갭을 측정하기 위해 제1부상자석(21)의 외측에 인접 배치되는 제1갭센서(25)와, 대차(10)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 제1안내추진자석(31) 또는 제2안내추진자석(32)의 상부에 인접 배치되는 제2갭센서(35)와, 상기 트레이 모듈(12)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 트레이 모듈(12)의 일끝단부에 인접 배치되는 제3갭센서(43)로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
11 11
청구항 10에 있어서,상기 제1부상자석(21)은 코어와 코일이 조합된 전자석으로 채택되거나, 코일(26)과 자성체 코어(28)로 구성된 전자석으로 채택되거나 영구자석과 코일을 포함한 형태의 자석으로 채택되고, 제1부상자석 대향면(23)은 자성체로서 금속판으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
12 12
청구항 10에 있어서,상기 제1 및 제2안내추진자석(31,32)은 고정자(36)로서 코어가 없는 3상 코일로 채택되고, 상기 제1 및 제2안내추진자석 대향면(33,34)은 가동자(37)로서 영구자석을 겹쳐서 제작된 것이면서 고정자(36)와의 사이의 자속밀도를 키울 수 있는 할바흐 배열(Halbach array)을 갖도록 제작된 것으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
13 13
청구항 1 또는 청구항 10에 있어서,상기 대차(10)의 저부에는 위치측정수단으로서 대차의 추진방향 위치를 측정하는 위치센서(16)가 배치되고, 이 위치센서(16)는 대차(10)의 저면에 고정되는 스케일(17)과, 스케일(17)과 마주보는 위치에 이격 배치되는 리니어엔코더(18)로 구성되며, 상기 리니어엔코더(18)은 추진방향(X축)으로 챔버안에 일정간격으로 고정 배치된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
14 14
청구항 10에 있어서, 상기 부상추진자석(51)은 코어가 없는 3상 코일로 채택되고, 상기 부상추진자석 대향면(52)은 가동자(37)로서 단면이 사각형으로 된 영구자석을 겹쳐서 제작된 것이면서 고정자(36)와의 사이의 자속밀도를 키울 수 있는 할바흐 배열(Halbach array)을 갖도록 제작된 것으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
15 15
청구항 1에 있어서,상기 부상수단으로서, 대차(10)의 상면에서 그 양측단부에 한 쌍의 제1부상자석 대향면(23)이 부착되는 동시에 제1부상자석 대향면(23)과 마주보는 위치에는 제1부상자석(21)이 이격 배치되고,상기 수평방향 안내수단으로서, 대차(10)의 양측면에 제1 및 제2안내자석 대향면(63,64)이 부착되고, 제1 및 제2안내자석 대향면(63,64)과 마주보는 위치에 제1 및 제2안내자석(61,62)이 배치되며,상기 추진수단으로서, 대차(10)의 저면 양쪽 또는 저면 중앙부에 부상추진자석 대향면(52)이 더 부착되고, 부상추진자석 대향면(52)과 마주보는 위치에 부상추진자석(51)이 더 배치되며,상기 갭측정수단은, 대차(10)의 수직부상 방향(Z축) 갭을 측정하기 위해 제1부상자석(21)의 외측에 인접 배치되는 제1갭센서(25)와, 대차(10)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 제1안내자석(61) 또는 제2안내자석(62)의 상부에 인접 배치되는 제2갭센서(35)와, 상기 트레이 모듈(12)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 트레이 모듈(12)의 일끝단부에 인접 배치되는 제3갭센서(43)로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
16 16
청구항 15에 있어서,상기 제1부상자석(21)은 코어와 코일이 조합된 전자석으로 채택되거나, 코일(26)과 자성체 코어(28)로 구성된 전자석으로 채택되거나 영구자석과 코일을 포함한 형태의 자석으로 채택되고, 제1부상자석 대향면(23)은 자성체로서 금속판으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
17 17
청구항 15에 있어서,상기 제1 및 제2안내자석(61,62)은 코어와 코일이 조합된 전자석으로 채택되거나, 코일과 코어 및 영구자석이 조합된 것으로 채택되고, 제1 및 제2안내자석 대향면(63,64)은 자성체로서 금속판으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
18 18
청구항 1 또는 청구항 15에 있어서,상기 대차(10)의 저부에는 위치측정수단으로서 대차의 추진방향 위치를 측정하는 위치센서(16)가 배치되고, 이 위치센서(16)는 대차(10)의 저면에 고정되는 스케일(17)과, 스케일(17)과 마주보는 위치에 이격 배치되는 리니어엔코더(18)로 구성되며, 상기 리니어엔코더(18)은 추진방향(X축)으로 챔버안에 일정간격으로 고정 배치된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
19 19
청구항 10에 있어서, 상기 부상추진자석(51)은 코어가 없는 3상 코일로 채택되고, 상기 부상추진자석 대향면(52)은 가동자(37)로서 단면이 사각형으로 된 영구자석을 겹쳐서 제작된 것이면서 고정자(36)와의 사이의 자속밀도를 키울 수 있는 할바흐 배열(Halbach array)을 갖도록 제작된 것으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
20 20
청구항 1에 있어서,상기 수평방향 안내수단 및 추진수단으로서, 대차(10)의 양측면에는 제1안내추진자석 대향면(33) 및 제2안내추진자석 대향면(34)이 부착되고, 제1안내추진자석 대향면(33) 및 제2안내추진자석 대향면(34)과 마주보는 위치에는 각각 제1안내추진자석(31) 및 제2안내추진자석(32)이 이격 배치되고,상기 부상수단 및 추진수단으로서, 대차(10)의 저면 양쪽에 부상추진자석 대향면(52)이 부착되고, 부상추진자석 대향면(52)과 마주보는 위치에 부상추진자석(51)이 배치되며,상기 갭측정수단은, 대차(10)의 수직부상 방향(Z축) 갭을 측정하기 위하여 대차의 상면 양측에 배치되는 제1갭센서(25)와, 대차(10)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 제1안내추진자석(31) 또는 제2안내추진자석(32)의 상부에 인접 배치되는 제2갭센서(35)와, 상기 트레이 모듈(12)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 트레이 모듈(12)의 일끝단부에 인접 배치되는 제3갭센서(43)로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
21 21
청구항 20에 있어서,상기 제1 및 제2안내추진자석(31,32)은 고정자(36)로서 코어가 없는 3상 코일로 채택되고, 상기 제1 및 제2안내추진자석 대향면(33,34)은 가동자(37)로서 영구자석을 겹쳐서 제작된 것이면서 고정자(36)와의 사이의 자속밀도를 키울 수 있는 할바흐 배열(Halbach array)을 갖도록 제작된 것으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
22 22
청구항 1 또는 청구항 20에 있어서,상기 대차(10)의 저부에는 위치측정수단으로서 대차의 추진방향 위치를 측정하는 위치센서(16)가 배치되고, 이 위치센서(16)는 대차(10)의 저면에 고정되는 스케일(17)과, 스케일(17)과 마주보는 위치에 이격 배치되는 리니어엔코더(18)로 구성되며, 상기 리니어엔코더(18)은 추진방향(X축)으로 챔버안에 일정간격으로 고정 배치된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
23 23
청구항 20에 있어서, 상기 부상추진자석(51)은 코어가 없는 3상 코일로 채택되고, 상기 부상추진자석 대향면(52)은 가동자(37)로서 단면이 사각형으로 된 영구자석을 겹쳐서 제작된 것이면서 고정자(36)와의 사이의 자속밀도를 키울 수 있는 할바흐 배열(Halbach array)을 갖도록 제작된 것으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
24 24
청구항 1에 있어서,상기 수평방향 안내수단으로서, 대차(10)의 양측면에 제1 및 제2안내자석 대향면(63,64)이 부착되고, 제1 및 제2안내자석 대향면(63,64)과 마주보는 위치에 제1 및 제2안내자석(61,62)이 배치되고,상기 부상수단 및 추진수단으로서, 대차(10)의 저면 양쪽에 부상추진자석 대향면(52)이 부착되고, 부상추진자석 대향면(52)과 마주보는 위치에 부상추진자석(51)이 배치되며,상기 갭측정수단은, 대차(10)의 수직부상 방향(Z축) 갭을 측정하기 위하여 대차의 상면 양측에 배치되는 제1갭센서(25)와, 대차(10)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 제1안내자석(61) 또는 제2안내자석(62)의 상부에 인접 배치되는 제2갭센서(35)와, 상기 트레이 모듈(12)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 트레이 모듈(12)의 일끝단부에 인접 배치되는 제3갭센서(43)로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
25 25
청구항 24에 있어서,상기 제1 및 제2안내자석(61,62)은 코어와 코일이 조합된 전자석으로 채택되거나, 코일과 코어 및 영구자석이 조합된 것으로 채택되고, 제1 및 제2안내자석 대향면(63,64)은 자성체로서 금속판으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
26 26
청구항 1 또는 청구항 24에 있어서,상기 대차(10)의 저부에는 위치측정수단으로서 대차의 추진방향 위치를 측정하는 위치센서(16)가 배치되고, 이 위치센서(16)는 대차(10)의 저면에 고정되는 스케일(17)과, 스케일(17)과 마주보는 위치에 이격 배치되는 리니어엔코더(18)로 구성되며, 상기 리니어엔코더(18)은 추진방향(X축)으로 챔버안에 일정간격으로 고정 배치된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
27 27
청구항 24에 있어서, 상기 부상추진자석(51)은 코어가 없는 3상 코일로 채택되고, 상기 부상추진자석 대향면(52)은 가동자(37)로서 단면이 사각형으로 된 영구자석을 겹쳐서 제작된 것이면서 고정자(36)와의 사이의 자속밀도를 키울 수 있는 할바흐 배열(Halbach array)을 갖도록 제작된 것으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
28 28
청구항 1에 있어서,상기 부상수단으로서, 대차(10)의 상면에서 그 양측단부에 한 쌍의 제1부상자석 대향면(23)이 부착되는 동시에 제1부상자석 대향면(23)과 마주보는 위치에는 제1부상자석(21)이 이격 배치되고,상기 수평방향 안내수단으로서, 대차(10)의 양측면에 제1 및 제2안내자석 대향면(63,64)이 부착되고, 제1 및 제2안내자석 대향면(63,64)과 마주보는 위치에 제1 및 제2안내자석(61,62)이 배치되며,상기 추진수단으로서, 대차(10)의 저면 양쪽에 부상추진자석 대향면(52)이 부착되고, 부상추진자석 대향면(52)과 마주보는 위치에 부상추진자석(51)이 배치되며,상기 갭측정수단은, 대차(10)의 수직부상 방향(Z축) 갭을 측정하기 위하여 제1부상자석(21)의 상부에 인접 배치되는 제1갭센서(25)와, 대차(10)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 제1안내자석(61) 또는 제2안내자석(62)의 상부에 인접 배치되는 제2갭센서(35)와, 상기 트레이 모듈(12)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 트레이 모듈(12)의 일끝단부에 인접 배치되는 제3갭센서(43)로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
29 29
청구항 28에 있어서,상기 제1부상자석(21)은 사각형으로 된 영구자석을 겹쳐서 제작한 것으로 채택되고, 제1부상자석 대향면(23)은 자성체로서 금속판으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
30 30
청구항 28에 있어서,상기 제1 및 제2안내자석(61,62)은 코어와 코일이 조합된 전자석으로 채택되거나, 코일과 코어 및 영구자석이 조합된 것으로 채택되고, 제1 및 제2안내자석 대향면(63,64)은 자성체로서 금속판으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
31 31
청구항 1 또는 청구항 28에 있어서,상기 대차(10)의 저부에는 위치측정수단으로서 대차의 추진방향 위치를 측정하는 위치센서(16)가 배치되고, 이 위치센서(16)는 대차(10)의 저면에 고정되는 스케일(17)과, 스케일(17)과 마주보는 위치에 이격 배치되는 리니어엔코더(18)로 구성되며, 상기 리니어엔코더(18)은 추진방향(X축)으로 챔버안에 일정간격으로 고정 배치된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
32 32
청구항 28에 있어서, 상기 부상추진자석(51)은 코어가 없는 3상 코일로 채택되고, 상기 부상추진자석 대향면(52)은 가동자(37)로서 단면이 사각형으로 된 영구자석을 겹쳐서 제작된 것이면서 고정자(36)와의 사이의 자속밀도를 키울 수 있는 할바흐 배열(Halbach array)을 갖도록 제작된 것으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
33 33
청구항 1에 있어서,상기 부상수단으로서, 대차(10)의 상면에서 그 양측단부에 한 쌍의 제1부상자석 대향면(23)이 부착되는 동시에 제1부상자석 대향면(23)과 마주보는 위치에는 제1부상자석(21)이 이격 배치되고,상기 수평방향 안내수단 및 추진수단으로서, 대차(10)의 양측면에는 제1안내추진자석 대향면(33) 및 제2안내추진자석 대향면(34)이 부착되고, 제1안내추진자석 대향면(33) 및 제2안내추진자석 대향면(34)과 마주보는 위치에는 각각 제1안내추진자석(31) 및 제2안내추진자석(32)이 이격 배치되며, 상기 추진수단으로서, 대차(10)의 저면 양쪽에 부상추진자석 대향면(52)이 부착되고, 부상추진자석 대향면(52)과 마주보는 위치에 부상추진자석(51)이 배치되며,상기 갭측정수단은, 대차(10)의 수직부상 방향(Z축) 갭을 측정하기 위하여 제1부상자석(21)의 상부에 인접 배치되는 제1갭센서(25)와, 대차(10)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 제1안내추진(31) 또는 제2안내추진자석(32)의 상부에 인접 배치되는 제2갭센서(35)와, 상기 트레이 모듈(12)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 트레이 모듈(12)의 일끝단부에 인접 배치되는 제3갭센서(43)로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
34 34
청구항 33에 있어서,상기 제1부상자석(21)은 사각형으로 된 영구자석을 겹쳐서 제작한 것으로 채택되고, 제1부상자석 대향면(23)은 자성체로서 금속판으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
35 35
청구항 33에 있어서,상기 제1 및 제2안내추진자석(31,32)은 고정자(36)로서 코어가 없는 3상 코일로 채택되고, 상기 제1 및 제2안내추진자석 대향면(33,34)은 가동자(37)로서 영구자석을 겹쳐서 제작된 것이면서 고정자(36)와의 사이의 자속밀도를 키울 수 있는 할바흐 배열(Halbach array)을 갖도록 제작된 것으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
36 36
청구항 1 또는 청구항 33에 있어서,상기 대차(10)의 저부에는 위치측정수단으로서 대차의 추진방향 위치를 측정하는 위치센서(16)가 배치되고, 이 위치센서(16)는 대차(10)의 저면에 고정되는 스케일(17)과, 스케일(17)과 마주보는 위치에 이격 배치되는 리니어엔코더(18)로 구성되며, 상기 리니어엔코더(18)은 추진방향(X축)으로 챔버안에 일정간격으로 고정 배치된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
37 37
청구항 33에 있어서, 상기 부상추진자석(51)은 코어가 없는 3상 코일로 채택되고, 상기 부상추진자석 대향면(52)은 가동자(37)로서 단면이 사각형으로 된 영구자석을 겹쳐서 제작된 것이면서 고정자(36)와의 사이의 자속밀도를 키울 수 있는 할바흐 배열(Halbach array)을 갖도록 제작된 것으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
38 38
청구항 1에 있어서,상기 부상수단으로서, 대차(10)의 상하면에서 그 양측단부에 한 쌍의 제1부상자석 대향면(23) 및 제2부상자석 대향면(24)이 부착되는 동시에 제1부상자석 대향면(23) 및 제2부상자석 대향면(24)과 마주보는 위치에는 각각 제1부상자석(21) 및 제2부상자석(22)이 이격 배치되고,상기 수평방향 안내수단으로서, 대차(10)의 양측면에 제1 및 제2안내자석 대향면(63,64)이 부착되고, 제1 및 제2안내자석 대향면(63,64)과 마주보는 위치에 제1 및 제2안내자석(61,62)이 배치되며,상기 추진수단으로서, 대차(10)의 저면 중앙 위치에 부상추진자석 대향면(52)이 부착되고, 부상추진자석 대향면(52)과 마주보는 위치에 부상추진자석(51)이 배치되며,상기 갭측정수단은, 대차(10)의 수직부상 방향(Z축) 갭을 측정하기 위하여 제1부상자석(21)의 상부에 인접 배치되는 제1갭센서(25)와, 대차(10)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 제1안내자석(61) 또는 제2안내자석(62)의 상부에 인접 배치되는 제2갭센서(35)와, 상기 트레이 모듈(12)의 수평안내 방향(Y축) 갭을 측정하기 위해 트레이 모듈(12)의 일끝단부에 인접 배치되는 제3갭센서(43)로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
39 39
청구항 38에 있어서,상기 제1 및 제2부상자석(21,22)은 코어와 코일이 조합된 전자석으로 채택되거나, 코일(26)과 자성체 코어(28)로 구성된 전자석으로 채택되거나 영구자석과 코일을 포함한 형태의 자석으로 채택되고, 제1 및 제2부상자석 대향면(23,24)은 자성체로서 금속판으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
40 40
청구항 38에 있어서,상기 제1 및 제2안내자석(61,62)은 코어와 코일이 조합된 전자석으로 채택되거나, 코일과 코어 및 영구자석이 조합된 것으로 채택되고, 제1 및 제2안내자석 대향면(63,64)은 자성체로서 금속판으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
41 41
청구항 1 또는 청구항 38에 있어서,상기 대차(10)의 저부에는 위치측정수단으로서 대차의 추진방향 위치를 측정하는 위치센서(16)가 배치되고, 이 위치센서(16)는 대차(10)의 저면에 고정되는 스케일(17)과, 스케일(17)과 마주보는 위치에 이격 배치되는 리니어엔코더(18)로 구성되며, 상기 리니어엔코더(18)은 추진방향(X축)으로 챔버안에 일정간격으로 고정 배치된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
42 42
청구항 38에 있어서, 상기 부상추진자석(51)은 코어가 없는 3상 코일로 채택되고, 상기 부상추진자석 대향면(52)은 가동자(37)로서 단면이 사각형으로 된 영구자석을 겹쳐서 제작된 것이면서 고정자(36)와의 사이의 자속밀도를 키울 수 있는 할바흐 배열(Halbach array)을 갖도록 제작된 것으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
43 43
청구항 1에 있어서,상기 기판이 고정된 트레이 모듈(12)은 대차(10)의 상면 또는 저면에 수직으로 세워져 고정되고, 수직으로 세워진 트레이 모듈(12)의 수평방향 안내를 위한 수단으로서, 트레이 모듈(12)의 일끝단부에 안내자석 대향면(42)이 부착되고, 그 양편에는 안내자석(41)이 이격 배치된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
44 44
청구항 43에 있어서,상기 안내자석(41)은 코어와 코일이 조합된 전자석으로 채택되거나, 코일(26)과 자성체 코어(28)로 구성된 전자석으로 채택되거나 영구자석과 코일을 포함한 형태의 자석으로 채택되고, 상기 안내자석 대향면(42)은 자성체로서 금속판으로 채택된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
45 45
청구항 1에 있어서,상기 대차(10)의 상면 또는 저면에 기판이 고정된 트레이 모듈(12)이 수평상태로 눕혀져서 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 비접촉식 자기부상 스테이지 장치
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