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원통형 자기부상 스테이지

  • 기술번호 : KST2015163567
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 원통형 자기부상 스테이지에 관한 것으로서, 원통의 부상이 이루어지는 수직방향(상하방향), 직선이송방향이 되는 축방향, 그리고 원통의 회전방향과 더불어, 원통 단면상 좌우방향이 되는 수평방향으로도 원통의 위치를 정밀하게 제어할 수 있는 원통형 자기부상 스테이지를 제공하는데 주된 목적이 있는 것이다. 상기한 목적을 달성하기 위해, 원통 금형에 일체로 장착되고 영구자석 배열체를 구비하여 영구자석 배열체와 하기 베이스부의 전자석 배열체 간 상호작용에 의한 자기부상력, 자기회전력, 자기이송력에 의해 부상하여 비접촉식으로 회전 및 직선이송이 가능한 원통이동부와; 전자석 배열체를 구비하고 상기 원통이동부의 하측으로 배치되어 비접촉으로 원통이동부를 회전 및 직선이송 가능하게 지지하는 베이스부와; 상기 원통이동부의 측방으로 배치되고 전자석 배열체를 구비하여 상기 전자석 배열체와 원통이동부의 영구자석 배열체 간 상호작용에 의해 발생하는 수평이송력으로 원통이동부 및 원통 금형의 수평방향 위치를 제어하는 수평 자기부상 보조부;를 포함하여 구성되는 원통형 자기부상 스테이지가 개시된다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/682(2013.01) H01L 21/682(2013.01) H01L 21/682(2013.01) H01L 21/682(2013.01) H01L 21/682(2013.01) H01L 21/682(2013.01)
출원번호/일자 1020100138525 (2010.12.30)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-1264224-0000 (2013.05.08)
공개번호/일자 10-2012-0076805 (2012.07.10) 문서열기
공고번호/일자 (20130514) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.30)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전정우 대한민국 경상남도 밀양시 미리벌로
2 오현석 대한민국 경상남도 밀양시 점필재로 **,
3 김종문 대한민국 경상남도 밀양시 삼문*길 *
4 김현택 대한민국 경상남도 밀양시 점필재로 **,
5 미티카 카라이아니 루마니아 경상남도 밀양시
6 이창린 대한민국 경상남도 김해시
7 정성일 대한민국 경상남도 밀양시 점필재로 **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한라특허법인(유한) 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 경상남도 창원시 성산구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0875779-53
2 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0874871-88
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.08.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.09.03 수리 (Accepted) 9-1-2012-0068691-50
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.10.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0590831-05
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.12.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0998205-44
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.12.03 수리 (Accepted) 1-1-2012-0998206-90
8 등록결정서
Decision to grant
2013.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0220282-40
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
10 대리인선임신고서
Report on Appointment of Agent
2015.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-5033520-42
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
원통 금형에 일체로 장착되고 영구자석 배열체를 구비하여 영구자석 배열체와 하기 베이스부의 전자석 배열체 간 상호작용에 의한 자기부상력, 자기회전력, 자기이송력에 의해 부상하여 비접촉식으로 회전 및 직선이송이 가능한 원통이동부와; 전자석 배열체를 구비하고 상기 원통이동부의 하측으로 배치되어 비접촉으로 원통이동부를 회전 및 직선이송 가능하게 지지하는 베이스부와;상기 원통이동부의 측방으로 설치되고, 원통이동부 측방으로 배치되는 전자석 배열체를 구비하여, 상기 원통이동부 측방으로 배치되는 전자석 배열체와 원통이동부의 영구자석 배열체 간 상호작용에 의해 발생하는 수평이송력으로 원통이동부 및 원통 금형의 수평방향 위치를 제어하는 수평 자기부상 보조부;를 포함하여 구성되며, 상기 원통이동부의 자기부상을 보조하기 위한 수단으로서 상기 원통이동부의 상측으로 배치되고 원통이동부의 영구자석 배열체와의 상호작용에 의한 흡인력을 발생시키도록 강자성체를 가지는 수직 자기부상 보조부를 더 포함하며, 상기 수직 자기부상 보조부는 설치 높이가 조절됨에 따라 원통이동부의 영구자석 배열체와의 상호작용에 의한 흡인력이 조절되는 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
2 2
청구항 1에 있어서,상기 수평 자기부상 보조부는 원통이동부의 좌우 양측에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
3 3
청구항 2에 있어서,좌우 양측의 상기 수평 자기부상 보조부가 가지는 각각의 전자석 배열체는 서로 독립적으로 외부 결선되어 독립적으로 전류 인가가 제어될 수 있게 된 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
4 4
청구항 2에 있어서,좌우 양측의 상기 수평 자기부상 보조부가 가지는 전자석 배열체들은 서로 통합적으로 외부 결선되어 통합적으로 전류 인가가 제어될 수 있게 된 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
5 5
청구항 2에 있어서,상기 수평 자기부상 보조부의 전자석 배열체는 베이스부의 전자석 배열체와는 독립적으로 외부 결선되어 독립적으로 전류 인가가 제어될 수 있게 된 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
6 6
청구항 1에 있어서,상기 원통이동부는 영구자석들이 원통 모양을 형성하도록 배열되어 이루어진 영구자석 배열체를 갖는 회전용 원통이동부와 직선이송용 원통이동부를 포함하여 구성되고, 상기 베이스부는 각각 상기 회전용 원통이동부와 직선이송용 원통이동부의 하측으로 전자석들이 원호 모양을 형성하도록 배열되어 이루어진 전자석 배열체를 갖는 회전용 고정부와 직선이송용 고정부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
7 7
청구항 6에 있어서,상기 회전용 고정부와 직선이송용 고정부는 상면이 원호를 이루면서 오목하게 형성되어 상면의 원호 내측에 상기 원통이동부의 일부가 수용된 상태로 원통이동부가 회전될 수 있게 되어 있고, 상기 원호의 내측면을 따라 전자석들이 배열되어 설치됨으로써 상기 회전용 고정부와 직선이송용 고정부의 전자석 배열체가 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
8 8
청구항 6에 있어서,상기 직선이송용 고정부는 원통이동부의 축방향을 따라 배열된 복수개의 전자석을 각 열로 하여 원주방향의 2열로 전자석들이 분할 배치되는 분할형 전자석 배열체를 구비하고, 분할된 제1전자석 배열체와 제2전자석 배열체는 독립적으로 외부 결선되어 독립적으로 전류 인가가 제어될 수 있게 된 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
9 9
청구항 6에 있어서,상기 직선이송용 고정부의 전자석 배열체는 전체 전자석들이 통합적으로 외부 결선되어 통합적으로 전류 인가가 제어될 수 있게 구비되고, 이로써 직선이송용 고정부가 원통이동부 및 원통 금형의 수직방향 제어를, 수평 자기부상 보조부가 수평방향 제어를 독립적으로 담당하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
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청구항 6에 있어서,상기 회전용 고정부는 복수개의 전자석이 원주방향을 따라 열을 이루도록 배치된 전자석 배열체를 구비하고, 전체 전자석들을 2개의 군으로 나누어 원주방향으로 배치되어 구분되는 제1전자석 배열체와 제2전자석 배열체가 각각 독립적으로 외부 결선되어 독립적으로 전류 제어될 수 있게 된 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
11 11
청구항 6에 있어서,상기 회전용 고정부의 전자석 배열체는 전체 전자석들이 통합적으로 외부 결선되어 통합적으로 전류 인가가 제어되고, 이로써 회전용 고정부가 원통이동부 및 원통 금형의 수직방향 제어를, 수평 자기부상 보조부가 수평방향 제어를 독립적으로 담당하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 자기부상 스테이지
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13 13
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