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제품 표면에 나노 패턴과 마이크로 패턴을 형성하는데 이용되는 몰드의 제조 방법에 있어서, 마이크로 패턴(12)을 갖는 몰드용 기판(11)을 제조하는 과정;나노 패턴(14)을 갖는 나노 패턴 기판(13)을 제조하는 과정;상기 나노 패턴 기판(13)의 나노 패턴(14) 위에 수지를 도포한 뒤 경화시켜 나노 패턴 몰드 층(15)을 형성하고, 상기 나노 패턴 몰드 층(15) 위에 접착층(18)을 적층하는 과정;상기 나노 패턴 기판(13)의 나노 패턴 몰드 층(15)을 상기 접착층(18)을 이용하여 몰드용 기판(11)의 마이크로 패턴(12) 위에 부착하는 과정; 및상기 나노 패턴 기판(13)을 나노 패턴 몰드 층(15)으로부터 분리하여 제거함으로써 몰드용 기판(11) 위의 마이크로 패턴(12) 영역에 나노 패턴 몰드 층(15)의 나노 패턴(16)이 복합적으로 존재하는 몰드(19)를 완성하는 과정;을 포함하는 나노-마이크로 복합 패턴 형성을 위한 몰드의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 접착층(18)이 열가소성 접착 수지 또는 자외선 경화 수지이고, 상기 접착층(18)의 수지가 몰드용 기판(11)의 마이크로 패턴(12)에 접합되도록 하여 열 또는 자외선에 의해 경화되도록 함으로써 몰드용 기판(11)의 마이크로 패턴(12) 위에 상기 나노 패턴 몰드 층(15)을 부착하는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 복합 패턴 형성을 위한 몰드의 제조 방법
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청구항 2에 있어서,상기 수지가 몰드용 기판(11)의 마이크로 패턴(12) 사이의 빈 공간으로 침투된 상태로 열 또는 자외선에 의해 경화되도록 하는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 복합 패턴 형성을 위한 몰드의 제조 방법
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청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,상기 몰드용 기판(11)의 마이크로 패턴(12) 높이를 고려하여 접착층(18)의 두께를 조절함으로써 나노 패턴(16)과 마이크로 패턴(12) 간의 높이차를 줄이는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 복합 패턴 형성을 위한 몰드의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,몰드용 기판(11) 위에 나노 패턴(16)과 마이크로 패턴(12)이 복합적으로 존재하도록 완성된 상기 몰드(19)를 마스터 몰드로 사용하여 고분자 몰드(20)를 제조하는 과정을 더 포함하고,상기 고분자 몰드(20)를 제조하는 과정은,상기 마스터 몰드(19)의 나노 패턴(16)과 마이크로 패턴(12) 위에 고분자 수지를 도포한 뒤 경화시켜 고분자 몰드(20)를 성형하는 단계; 및상기 고분자 몰드(20)로부터 마스터 몰드(19)를 분리하여 제거하는 단계;를 포함하며, 나노 패턴(21)과 마이크로 패턴(22)이 전사된 상기 고분자 몰드(20)를 제품 표면에 나노 패턴과 마이크로 패턴을 형성하기 위한 최종의 몰드로서 제공하는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 복합 패턴 형성을 위한 몰드의 제조 방법
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