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다중 노즐을 이용해 고종횡비 나노 와이어 어레이를 제조하는 시스템 및 방법

  • 기술번호 : KST2015164066
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 국부성장기술에 적용을 위해 금속, 고분자, 복합재료 등의 3차원 고종횡비 나노 와이어를 다중 노즐을 이용해 어레이 형태로 제조할 수 있는 나노 와이어 제조 시스템 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일면에 따른 나노 와이어 제조 시스템은, 반도체 재료에 형성된 복수의 노즐을 포함하고, 상기 반도체 재료의 가장자리를 따라 접합된 테두리 내부에 액상 원료를 담기 위한 펜(fountain pen) 형태의 다중 노즐, 및 상기 복수의 노즐을 통해 상기 액상 원료가 배출되도록 제어하는 원료 공급 제어부를 포함한다.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC H01L 21/02603(2013.01) H01L 21/02603(2013.01) H01L 21/02603(2013.01)
출원번호/일자 1020110042428 (2011.05.04)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-1324478-0000 (2013.10.28)
공개번호/일자 10-2012-0124647 (2012.11.14) 문서열기
공고번호/일자 (20131101) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.04)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 설승권 대한민국 서울특별시 노원구
2 김대호 대한민국 경기도 안산시 상록구
3 정순신 대한민국 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 경상남도 창원시 성산구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2011-0333317-51
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.05.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.06.20 수리 (Accepted) 9-1-2012-0047656-25
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.02.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0099307-97
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.03.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0229971-08
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0229972-43
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.08.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0558000-75
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체 재료에 형성된 복수의 노즐을 포함하고, 상기 반도체 재료의 가장자리를 따라 접합된 테두리 내부에 액상 원료를 담기 위한 펜(fountain pen) 형태의 다중 노즐; 및 상기 복수의 노즐을 통해 상기 액상 원료가 배출되도록 제어하는 원료 공급 제어부를 포함하고,상기 복수의 노즐의 각각의 끝은 용액 메니스커스를 줄이기 위한 돌출된 부리를 포함하며, 반도체 공정의 식각을 통하여 상기 복수의 노즐과 상기 부리를 형성한 것을 특징으로 하는 나노 와이어 제조 시스템
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 반도체 재료는 Si으로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노 와이어 제조 시스템
4 4
제1항에 있어서, 상기 복수의 노즐의 각 배출구 직경은 1nm 내지 500nm인 것을 특징으로 하는 나노 와이어 제조 시스템
5 5
제1항에 있어서, 상기 원료 공급 제어부는 펌프를 이용하여 상기 다중 노즐의 상부에서 압력을 가하여 상기 액상 원료를 상기 복수의 노즐로 배출시켜 기판에 나노 와이어가 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 제조 시스템
6 6
제1항에 있어서, 상기 원료 공급 제어부는 포텐셔스탯(potentiostat)을 이용하여 상기 액상 원료와 접촉된 상기 다중 노즐의 상부 전극과 기판 사이에 전원을 인가하여, 상기 복수의 노즐 각각과 상기 기판 사이의 용액 메니스커스 내에서 발생하는 전기화학적 반응에 따라 상기 액상 원료가 합성된 물질을 상기 복수의 노즐로 배출시켜 상기 기판에 나노 와이어가 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 제조 시스템
7 7
제1항에 있어서, 상기 액상 원료는 금속, 고분자 물질, 또는 이들의 복합재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 제조 시스템
8 8
반도체 공정의 식각을 통하여 반도체 재료에 형성된 복수의 노즐과 상기 복수의 노즐의 각각의 끝에 용액 메니스커스를 줄이기 위한 돌출된 부리를 포함하고, 상기 반도체 재료의 가장자리를 따라 접합된 테두리 내부에 액상 원료를 담기 위한 펜(fountain pen) 형태의 다중 노즐을 이용하여,상기 복수의 노즐을 통해 상기 액상 원료가 배출되도록 제어하는 단계, 및 기판 상에 배출되는 상기 액상 원료에 의해 나노 와이어를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
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국가 R&D 정보가 없습니다.