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복수의 날개들을 가지는 회전형 반사체를 포함하는 광지연 수단을 이용하여 빔분배기에서 두경로로 분리된 레이저빔들이 시간차를 가지도록 하고,
상기 시간차를 가지는 레이저빔들을 각각 테라헤르츠파 발생 수단과 테라헤르츠파 검출 수단으로 입사시키며,
상기 광지연 수단을 제어하는 수단으로부터 트리거 신호 발생 시에, 활성화되는 DAQ 시스템에서, 상기 테라헤르츠파 검출 수단에서 생성되는 전류 신호에 대응되는 전압 신호를 샘플링하여 상기 테라헤르츠파 발생 수단과 테라헤르츠파 검출 수단 사이의 시료에 대하여 테라헤르츠파 펄스의 데이터를 수집하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 테라헤르츠파 측정 시스템은,
한번의 상기 트리거 신호에 응답하여 상기 회전형 반사체를 회전시키는 속도와 상기 복수의 날개들의 수에 기초한 파형 스캔 주파수에 비례하는 다수의 테라헤르츠파 펄스에 대한 계측을 수행하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 측정 시스템
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제1항에 있어서,
미리 선택한 광지연 길이 분해능 △l, 파형 스캔 주파수 fs, 및 측정 펄스 수 n에 기초하여 결정한 상기 DAQ 시스템의 샘플링 속도 SR, 상기 회전형 반사체를 회전시키는 모터의 회전속도 RPM, 및 전체 측정 데이터 수 Ntot에 따라 상기 광지연 수단을 제어하는 수단 및 상기 DAQ 시스템을 제어하는 시스템 제어기
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 측정 시스템
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제1항에 있어서,
상기 시료를 홀딩하기 위한 스테이지와 상기 스테이지를 구동하는 스테이지 제어기를 더 포함하고,
상기 스테이지 제어기를 통하여 상기 스테이지를 수평 또는 수직 방향으로 구동하여,
한번의 상기 트리거 신호에 응답하여 수직 공간 분해능으로 구분되는 상기 시료의 한 라인 전체에 대하여 수평 공간 분해능만큼씩 이동하며 테라헤르츠파 펄스에 대한 계측을 수행하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 측정 시스템
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제4항에 있어서, 상기 시스템 제어기는,
미리 선택한 광지연 길이 분해능 △l, 파형 스캔 주파수 fs, 수평 방향의 길이 lx, 수평 방향의 공간 분해능 △x, 수직 방향의 길이 ly, 수직 방향의 공간 분해능 △y에 기초하여, 상기 DAQ 시스템의 샘플링 속도 SR, 상기 회전형 반사체를 회전시키는 모터의 회전속도 RPM, 전체 측정 데이터 수 Ntot, 수평 방향의 속도 vx, 수평 및 수직 방향의 전체 픽셀수 nx, 및 ny를 결정하여, 상기 시료의 미리 정해진 영역에 대하여 상기 광지연 수단을 제어하는 수단 및 상기 DAQ 시스템을 제어하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 측정 시스템
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레이저빔을 두 경로로 분리하는 단계;
복수의 날개들을 가지는 회전형 반사체를 포함하는 광지연 수단을 이용하여 상기 두경로로 분리된 레이저빔들이 시간차를 가지도록 상기 레이저빔들 중 어느 하나를 지연시키는 단계;
상기 시간차를 가지는 레이저빔들을 각각 테라헤르츠파 발생 수단과 테라헤르츠파 검출 수단으로 입사시키는 단계; 및
상기 광지연 수단을 제어하는 수단으로부터 트리거 신호 발생 시에, 상기 테라헤르츠파 검출 수단에서 생성되는 전류 신호에 대응되는 전압 신호를 샘플링하여 상기 테라헤르츠파 발생 수단과 테라헤르츠파 검출 수단 사이의 시료에 대하여, 테라헤르츠파 펄스의 데이터를 수집하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 측정 방법
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제6항에 있어서,
상기 시료를 홀딩하기 위한 스테이지를 수평 또는 수직 방향으로 구동하여, 한번의 상기 트리거 신호에 응답하여 수직 공간 분해능으로 구분되는 상기 시료의 한 라인 전체에 대하여 수평 공간 분해능만큼씩 이동하며 테라헤르츠파 펄스에 대한 계측을 수행하는 단계
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 측정 방법
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