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전계방출소자용 나노선 또는 나노막대의 제조방법 및 이를 이용한 전계방출소자

  • 기술번호 : KST2015164254
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고출력이 필요한 전계방출소자용 나노선 또는 나노막대에 관한 것으로서, 전도성 기판 상에 나노구슬을 단층으로 배열하여 1차층을 형성하고, 상기 1차층 상층에 상기 1차층에 형성된 나노구슬보다 직경이 2배~20배 큰 나노구슬을 단층으로 배열하여 2차층을 형성한 후, 금속 증착법을 이용하여 상기 1차층의 나노구슬 사이의 빈 공간을 통해 기판 상에 금속 촉매층을 형성시키고, 상기 나노구슬을 제거한 후 상기 금속 촉매층 상에 나노선 또는 나노막대로 이루어진 나노팁 무리를 형성하는 것을 특징으로 하는 전계분포를 고려한 나노선 또는 나노막대의 제조방법 및 상기 나노선 또는 나노막대로 이루어진 나노팁 무리를 전계방출팁으로 사용하는 전계방출소자를 그 기술적 요지로 한다. 이에 따라 전계방출팁 상단부에 전계가 집중되도록 소량의 나노팁 무리들 사이의 간격을 충분히 유지하면서도 팁의 갯수는 최대화함으로써 단위면적당 방출되는 전자의 양을 증대시켜 고출력이 필요한 냉음극용 전계방출소자나 x-선용등 고출력의 전계방출소자가 필요한 경우에 적합한 구조를 쉽게 구현할 수 있는 이점이 있다. 전계방출소자 나노구슬 나노선 나노비드 금속촉매 전계방출팁
Int. CL B82B 1/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01)
출원번호/일자 1020090128885 (2009.12.22)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0072090 (2011.06.29) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.12.22)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 방 욱 대한민국 경상남도 창원시
2 차승일 대한민국 경상남도 창원시 의창구
3 황규현 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 주성재 대한민국 경상남도 창원시 성산구
5 강인호 대한민국 경상남도 진주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2009-0793268-19
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.11.08 수리 (Accepted) 4-1-2010-5207456-63
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.09.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0534320-49
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.11.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0918535-18
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.12.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-1004075-03
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-1004052-53
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2012.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0317557-18
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전도성 기판 상에 나노구슬을 단층으로 배열하여 1차층을 형성하고, 상기 1차층 상층에 상기 1차층에 형성된 나노구슬보다 직경이 2배~20배 큰 나노구슬을 단층으로 배열하여 2차층을 형성한 후, 금속 증착법을 이용하여 상기 1차층의 나노구슬 사이의 빈 공간을 통해 기판 상에 금속 촉매층을 형성시키고, 상기 나노구슬을 제거한 후 상기 금속 촉매층 상에 나노선 또는 나노막대로 이루어진 나노팁 무리를 형성하는 것을 특징으로 하는 전계방출소자용 나노선 또는 나노막대의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 1차층에 형성된 나노구슬의 크기는 그 사이의 틈이 10~50nm 크기가 되도록 100~300nm의 직경이 되도록 조절하며, 2차층에 적층되는 나노구슬의 직경은 700nm~4
3 3
제 2항에 있어서, 상기 2차층의 나노구슬 상층에 3차층의 나노구슬을 단층으로 배열하여 형성시키며, 상기 3차층의 나노구슬의 직경은 2차층에서 사용된 나노구슬의 2배~10배인 것을 특징으로 하는 전계방출소자용 나노선 또는 나노막대의 제조방법
4 4
제 1항 내지 제 3항의 어느 한 항의 제조방법에 의해 제조된 나노선 또는 나노막대를 전계방출팁으로 사용한 것을 특징으로 하는 전계방출소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.