맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

전자빔 발생장치

  • 기술번호 : KST2015164380
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 전자빔 발생장치는, 상부에 전자빔이 방출되는 개방부가 형성된 진공챔버, 상기 진공챔버 내에 배치되는 냉음극, 상기 냉음극의 상부에 배치되는 그리드 전극, 상기 그리드 전극의 상부에 배치되는 양극, 상기 냉음극과 양극 사이에 직류 전압을 인가하기 위한 제1전원, 상기 냉음극과 그리드 전극 사이에 교류 전압을 인가하기 위한 제2전원, 상기 진공챔버 외부에서 레이저빔 펄스를 생성하여 도광부를 통해 진공챔버 내부로 레이저빔 펄스를 전달하는 레이저빔 소스를 포함하고, 상기 레이저빔 펄스는 상기 냉음극 상에 형성된 전자방출부로 조사되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 전자빔 발생장치에 의하면, 레이저빔 펄스를 이용하여 전자빔 펄스를 생성하므로, 전자빔 펄스폭을 크게 감소시키는 것이 가능하다.
Int. CL H01J 37/06 (2006.01) H01J 1/30 (2006.01)
CPC H01J 37/06(2013.01) H01J 37/06(2013.01) H01J 37/06(2013.01) H01J 37/06(2013.01) H01J 37/06(2013.01) H01J 37/06(2013.01) H01J 37/06(2013.01) H01J 37/06(2013.01) H01J 37/06(2013.01) H01J 37/06(2013.01)
출원번호/일자 1020120134282 (2012.11.26)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-1386016-0000 (2014.04.10)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140416) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.11.26)
심사청구항수 9

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 허두창 대한민국 경기 용인시 수지구
2 김관호 대한민국 서울 서초구
3 김근주 대한민국 경기 안산시 상록구
4 김재홍 대한민국 경기 성남시 분당구
5 김정일 대한민국 경기 안산시 상록구
6 전석기 대한민국 경기 안산시 상록구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 경상남도 창원시 성산구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.11.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0972660-07
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.11.20 수리 (Accepted) 9-1-2013-0098382-39
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0833985-39
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0089132-13
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.01.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0089131-67
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.02.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0106833-91
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상부에 전자빔이 방출되는 개방부가 형성된 진공챔버;상기 진공챔버 내에 배치되는 냉음극;상기 냉음극의 상부에 배치되는 그리드 전극;상기 그리드 전극의 상부에 배치되는 양극;상기 냉음극과 양극 사이에 직류 전압을 인가하기 위한 제1전원;상기 냉음극과 그리드 전극 사이에 교류 전압을 인가하기 위한 제2전원;상기 진공챔버 외부에서 레이저빔 펄스를 생성하여 도광부를 통해 진공챔버 내부로 레이저빔 펄스를 전달하는 레이저빔 소스;를 포함하는 전자빔 발생장치로서,상기 레이저빔 펄스는 상기 냉음극 상에 형성된 전자방출부로 조사되는 것을 특징으로 하는 전자빔 발생장치
2 2
제1항에 있어서,상기 냉음극은 레이저빔이 통과할 수 있는 재질로 형성된 기판을 포함하고,상기 레이저빔 펄스는 상기 냉음극 하부로부터 진공챔버 내부로 전달되어 상기 그리드 전극의 적어도 일부분에서 반사된 후 상기 전자방출부로 조사되는 것을 특징으로 하는 전자빔 발생장치
3 3
제2항에 있어서,상기 레이저빔 펄스는 상기 그리드 전극 테두리 하면에 하방 경사지도록 형성된 반사부에서 반사되어 상기 전자방출부로 조사되는 것을 특징으로 하는 전자빔 발생장치
4 4
제1항에 있어서,상기 그리드 전극은 테두리 하면에 평평판 반사부가 형성되고,상기 레이저빔 펄스는 수직 방향에서 소정 각도 경사진 방향으로 상기 냉음극 하부로부터 진공챔버 내부로 전달되어 상기 그리드 전극의 반사부에서 반사된 후 상기 전자방출부로 조사되는 것을 특징으로 하는 전자빔 발생장치
5 5
제3항 또는 제4항에 있어서,상기 반사부는 그리드 전극의 적어도 일부분에 금속 코팅을 하여 형성하는 것을 특징으로 하는 전자빔 발생장치
6 6
제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진공챔버 내부로 전달된 레이저빔 펄스를 집광하여 그리드 전극 측으로 전달하기 위한 렌즈부를 더 포함하는 전자빔 발생장치
7 7
제1항에 있어서,상기 진공챔버 내부에는 상기 진공챔버 내부로 전달되는 레이저빔 펄스를 상기 전자방출부 쪽으로 반사시킬 수 있도록, 레이저빔 펄스의 진행 방향에 대응되도록 구비되는 미러부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔 발생장치
8 8
제1항에 있어서,상기 제2전원에 의한 교류 전압 신호와 상기 레이저빔 소스에 의한 레이저빔 펄스가 동기화되는 것을 특징으로 하는 전자빔 발생장치
9 9
제1항에 있어서,상기 제2전원에 의한 교류 전압 신호와 상기 레이저빔 소스에 의한 레이저빔 펄스가 동기화되지 않는 것을 특징으로 하는 전자빔 발생장치
10 10
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.