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액튜에이터로 기능하는 압전 물질과 공구사이의 상대적인 변위를 변위 감지 수단에 의해 검출하고, 이렇게 검출된 변위 신호와 상기 공구와 압전 물질 사이의 원하는 변위 값인 기준 신호 사이의 오차를 계산하고, 상기 계산된 오차를 1차 피드백 처리하여 소정의 제어 신호를 발생시키고 이렇게 발생된 신호에 의거하여 상기 압전물질을 구동하므로써 가공물을 미소 절삭하는 시스템에 있어서, 상기 기준 신호를 처리하여 수정된 기준 신호를 발생시키는 피드포워드 블록; 상기 수정된 기준 신호를 소정의 게인으로 증폭하는 피드포워드 증폭블록; 수정된 기준 신호와 상기 변위 신호 사이의 오차를 계산하는 제 2감산 블록; 상기 제 2감산 블록의 출력으로부터 소정의 제어 신호를 발생시키는 제 2피드백 블록 및 상기 1차 피드백 처리된 출력, 상기 피드포워드 증폭블록의 출력 및 상기 제 2피드백 블록의 출력을 합하여 상기 압전 물질을 구동하는 제어 신호를 발생시키는 가산 블록을 구비하여 압전 물질의 히스테리시스 특성을 보상하므로써 공구의 추종성능을 향상시킨 것을 특징으로 하는 압전 물질을 이용한 미소 절삭 시스템
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