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(1) 알콕시실래인 함유 전구체 용액에 대해서 졸겔 반응을 수행하여 졸겔 용액을 제조하는 단계; 및(2) 상기 단계 (1)에서 제조된 졸겔 용액을, 산화된 PDMS 미세 채널의 표면과 접촉시켜 화학적으로 반응시키는 단계를 포함하는, 실리카-표면개질된 폴리다이메틸실록산(PDMS) 미세 채널의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 단계 (1)에서, 알콕시실래인이 테트라에틸 오르쏘실리케이트(TEOS), 테트라메틸 오르쏘실리케이트(TMOS) 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는, 실리카-표면개질된 PDMS 미세 채널의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 단계 (1)의 전구체 용액이 알킬알콕시실래인을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 실리카-표면개질된 PDMS 미세 채널의 제조방법
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제 3 항에 있어서,상기 알킬알콕시실래인이 메틸트라이메톡시실란, 에틸트라이에톡시실란, 다이메톡시다이메틸실란, 다이에톡시다이에틸실란, 다이에톡시다이메틸실란, 메톡시트라이메틸실란 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는, 실리카-표면개질된 PDMS 미세 채널의 제조방법
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제 3 항에 있어서,상기 단계 (1)의 전구체 용액이 알콕시실래인과 알킬알콕시실래인을 1 내지 5:1의 중량비로 포함하는 것을 특징으로 하는, 실리카-표면개질된 PDMS 미세 채널의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 단계 (1)의 전구체 용액이 2 내지 4의 pH를 갖는 것을 특징으로 하는, 실리카-표면개질된 PDMS 미세 채널의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 단계 (1)의 졸겔 반응이, 알콕시실래인, 가수분해 촉매 및 유기용매 또는 유기용매와 물의 혼합물을 혼합하여 전구체 용액을 제조한 후 이를 교반함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는, 실리카-표면개질된 PDMS 미세 채널의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 단계 (2)의 산화된 PDMS 미세 채널이, PDMS 미세 채널 전체 또는 일부를 코로나 방전에 의해 산화시켜 얻어진 것임을 특징으로 하는, 실리카-표면개질된 PDMS 미세 채널의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 단계 (2) 이후에, PDMS 미세 채널에 유기용매를 흘려준 다음 건조를 수행하여PDMS 미세 채널 내에 남아있는 졸겔 용액을 제거하는 단계를 추가로 수행하는 것을 특징으로 하는, 실리카-표면개질된 PDMS 미세 채널의 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 유기용매가 헥산, 크실렌, 톨루엔, 아세토니트릴 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는, 실리카-표면개질된 PDMS 미세 채널의 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 건조를 -20 내지 4℃의 온도에서 12 내지 24시간 동안 수행하는 것을 특징으로 하는, 실리카-표면개질된 PDMS 미세 채널의 제조방법
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제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항의 방법에 의해 제조된, 실리카로 표면개질된 폴리다이메틸실록산(PDMS) 미세 채널
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제 12 항에 있어서, 마이크로 칩에 응용되는 것을 특징으로 하는 실리카로 표면개질된 PDMS 미세 채널
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