| 1 |
1
기판 상에 복수개의 픽셀들이 형성된 픽셀 어레이; 및상기 픽셀 어레이 중에서 외부에서 입사되는 광을 차단하는 옵티컬 블락 영역에 형성된 픽셀들의 위에 형성된 자외선 투과 필터를 구비하고,상기 자외선 투과 필터는 절연 물질로 구성된 제1 및 제2 절연층들; 및상기 제1 및 제2 절연층들 사이에 형성되며, 복수개의 메탈 칩들이 상호간에 공간들을 가지면서 동일한 방향으로 배열된 메탈층을 구비하며,상기 옵티컬 블락 영역에 입사되는 자외선은 상기 메탈층의 공간들을 통하여 상기 옵티컬 블락 영역에 형성된 픽셀들에 조사되는 것을 특징으로 하는 씨모스 이미지 센서
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 복수개의 메탈 칩들의 폭들은 상기 공간들보다 넓은 것을 특징으로 하는 씨모스 이미지 센서
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 복수개의 메탈 칩들은 서로 동일한 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 씨모스 이미지 센서
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 복수개의 메탈 칩들은 상기 제1 및 제2 절연층들과 수평한 방향으로 배열된 것을 특징으로 하는 씨모스 이미지 센서
|
| 5 |
5
기판 상에 복수개의 픽셀들이 형성된 픽셀 어레이; 및상기 픽셀 어레이 중에서 외부에서 입사되는 광을 차단하는 옵티컬 블락 영역에 형성된 픽셀들 위에 형성된 자외선 투과 필터를 구비하고,상기 자외선 투과 필터는,절연 물질로 구성된 복수개의 절연층들; 및상기 복수개의 절연층들 사이에 한 층씩 형성되며, 복수개의 메탈 칩들이 상호간에 공간들을 가지면서 동일한 방향으로 배열된 복수개의 메탈층들을 구비하며,상기 옵티컬 블락 영역에 입사되는 자외선은 상기 메탈층의 공간들을 통하여 상기 옵티컬 블락 영역에 형성된 픽셀들에 조사되는 것을 특징으로 하는 씨모스 이미지 센서
|
| 6 |
6
제5항에 있어서, 상기 복수개의 메탈 칩들의 폭들은 상기 공간들보다 넓은 것을 특징으로 하는 씨모스 이미지 센서
|
| 7 |
7
제5항에 있어서, 상기 복수개의 메탈 칩들은 서로 동일한 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 씨모스 이미지 센서
|
| 8 |
8
제5항에 있어서, 상기 복수개의 메탈 칩들은 상기 복수개의 절연층들과 수평한 방향으로 배열된 것을 특징으로 하는 씨모스 이미지 센서
|
| 9 |
9
기판 상에 복수개의 픽셀들이 형성된 픽셀 어레이; 및상기 픽셀 어레이 중에서 외부에서 입사되는 광을 차단하는 옵티컬 블락 영역에 형성된 픽셀들 위에 형성된 자외선 투과 필터를 구비하고,상기 자외선 투과 필터는절연 물질로 구성된 제1 및 제2 절연층들; 및상기 제1 및 제2 절연층들 사이에 형성되며, 메탈로 구성되며, 복수개의 구멍들이 형성된 메탈층을 구비하며,상기 옵티컬 블락 영역에 입사되는 자외선은 상기 복수개의 구멍들을 통하여 상기 옵티컬 블락 영역에 형성된 픽셀들에 조사되는 것을 특징으로 하는 씨모스 이미지 센서
|
| 10 |
10
제9항에 있어서, 상기 복수개의 구멍들 각각의 직경은 상기 구멍들 사이의 공간보다 긴 것을 특징으로 하는 씨모스 이미지 센서
|
| 11 |
11
제9항에 있어서, 상기 복수개의 구멍들은 서로 동일한 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 씨모스 이미지 센서
|
| 12 |
12
기판 상에 복수개의 픽셀들이 형성된 픽셀 어레이; 및상기 픽셀 어레이 중에서 외부에서 입사되는 광을 차단하는 옵티컬 블락 영역에 형성된 픽셀들 위에 형성된 자외선 투과 필터를 구비하고,상기 자외선 투과 필터는절연 물질로 구성된 복수개의 절연층들; 및상기 복수개의 절연층들 사이에 한 층씩 형성되며, 메탈로 구성되며, 각각 복수개의 구멍들이 형성된 복수개의 메탈층들을 구비하며,상기 옵티컬 블락 영역에 입사되는 자외선은 상기 복수개의 구멍들을 통하여 상기 옵티컬 블락 영역에 형성된 픽셀들에 조사되는 것을 특징으로 하는 씨모스 이미지 센서
|
| 13 |
13
제12항에 있어서,상기 복수개의 메탈층들 각각에 형성된 복수개의 구멍들 각각의 직경은 상기 구멍들 사이의 공간보다 긴 것을 특징으로 하는 씨모스 이미지 센서
|
| 14 |
14
제12항에 있어서, 상기 복수개의 구멍들은 서로 동일한 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 씨모스 이미지 센서
|
