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금속 나노 막대의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015169967
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라스마 원자층 증착법(plasma-enhanced atomic layer deposition; PE-ALD)을 이용하여 금속 나노 구조물을 제작함에 있어서, 그 형상을 정확하게 조절할 수 있는 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 제조방법에 의하면, 금속 나노 구조물의 길이는 정해진 성장속도를 기본으로 성장 사이클로서 조절할 수 있으며, 지름은 기판의 온도를 조절함으로써 변화시킬 수 있다. 이 두 가지 요소를 적절히 혼합하면, 크기와 모양이 다른 여러 가지 나노 구조물 (나노 점, 나노 막대, 나노 선 등)을 손쉽게 대면적 기판 위에 제작할 수 있다.금속 나노 구조, 나노 막대, 나노 점, 나노 선, 플라스마 원자층 증착법, 원자층 증착법
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC H01L 21/0229(2013.01)H01L 21/0229(2013.01)H01L 21/0229(2013.01)H01L 21/0229(2013.01)H01L 21/0229(2013.01)
출원번호/일자 1020080060662 (2008.06.26)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1124352-0000 (2012.02.29)
공개번호/일자 10-2010-0000966 (2010.01.06) 문서열기
공고번호/일자 (20120315) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.06.26)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김형준 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 이한보람 대한민국 서울특별시 강서구
3 구길호 대한민국 경상북도 포항시 남구
4 박찬경 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.06.26 수리 (Accepted) 1-1-2008-0459225-87
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.07.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0299597-31
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0484423-55
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.07.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0484488-12
5 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2011.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0058631-01
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0236255-10
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0326141-58
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.05.02 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2011-0326140-13
9 등록결정서
Decision to grant
2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0708682-32
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
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번호 청구항
1 1
플라스마 원자층 증착법을 이용하여 기판상에 금속 나노 막대를 제조하는 방법으로서,플라스마 원자층 증착시, 증착 사이클 횟수의 조절을 통해 상기 금속 나노 막대의 길이 방향으로의 성장을 조절하고, 온도의 조절을 통해 상기 금속 나노 막대의 지름 방향으로의 성장을 조절하는 것을 특징으로 하는 금속 나노 막대의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 금속 나노 막대는 (a) 가열된 반도체 기판상에 금속 전구체를 투입하여 반도체 기판상에 흡착시키는 단계와,(b) 흡착되지 않은 금속 전구체를 퍼징 가스를 투입하여 제거하는 단계와, (c) 반응가스를 투입하여 금속 전구체와 반응시켜 금속을 환원시키는 단계와, (d) 반응되지 않은 반응가스를 퍼징 가스를 투입하여 제거하는 단계로 이루어진 사이클의 반복을 통해 형성되는 것을 특징으로 하는 금속 나노 막대의 제조방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 반응가스는 질소와 실리콘을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 나노 막대의 제조방법
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 반응가스는 플라스마 형태의 암모니아와 모노실란의 혼합물인 것을 특징으로 하는 금속 나노 막대의 제조방법
5 5
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 온도는 기판온도인 것을 특징으로 하는 금속 나노 막대의 제조방법
6 6
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.