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인쇄패턴의 박막두께 검출 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2015173010
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 유연기판의 표면상에 정밀도막이나 인쇄박막을 성형하는 과정에서 인쇄패턴의 박막두께를 비접촉 방식에 의해 연속적으로 검출하고, 검출된 결과를 저장 및 모니터링 할 수 있도록 하는 박막두께 검출 방법 및 장치가 개시된다. 박막두께 검출 장치는 인쇄패턴 박막두께를 검출을 위한 정전용량 센서; 롤 진원도 및 편심도 검출을 위한 와전류 센서 그리고 검출된 데이터 계산 및 처리를 위한 데이터 처리부를 포함한다. 본 발명에 따르면, 롤투롤 인쇄 방식에 의해 유연기판상에 형성된 인쇄패턴의 박막두께를 비접촉 방식에 의해 실시간으로 검출할 수 있으며, 다층인쇄시 다음 단계 인쇄를 위한 인쇄 박막두께 데이터를 축적하여 운전조건 변경에 적용할 수 있는 이점이 있다.
Int. CL B41F 33/00 (2006.01) G01B 7/06 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01B 7/085(2013.01) G01B 7/085(2013.01) G01B 7/085(2013.01) G01B 7/085(2013.01) G01B 7/085(2013.01) G01B 7/085(2013.01) G01B 7/085(2013.01) G01B 7/085(2013.01)
출원번호/일자 1020110043478 (2011.05.09)
출원인 건국대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0134822 (2011.12.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020100054519   |   2010.06.09
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.09)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신기현 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 김송준 대한민국 전라북도 남원시
3 성진우 대한민국 서울특별시 노원구
4 최재원 대한민국 강원도 강릉시
5 강현규 대한민국 서울특별시 광진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조현석 대한민국 충청남도 예산군 대술면 송석백제울길 ***(지우국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0341622-15
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.01 수리 (Accepted) 4-1-2012-5116974-69
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.07.26 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.09.04 수리 (Accepted) 9-1-2012-0070009-45
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.10.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0591201-29
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.12.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-1003359-20
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0010895-56
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.02.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0103668-57
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0189252-61
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.03.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0189260-26
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0481161-23
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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롤 상에서 이송되는 유연기판상에 형성된 인쇄패턴의 박막두께를 검출하는 방법에 있어서, 상기 롤과 상기 인쇄패턴 사이의 두께에 상응하는 정전용량을 검출하는 정전용량 검출단계; 상기 롤의 표면 형상에 상응하는 와전류를 검출하는 와전류 검출 단계;상기 와전류 검출 단계에서 검출된 와전류를 기반으로 상기 롤의 편심, 가공오차 그리고 마모에 의한 에러를 산출하는 에러 산출 단계; 및상기 정전용량 검출단계에서 검출된 상기 롤과 상기 인쇄패턴 사이의 두께 및 상기 에러 산출단계에서 산출된 에러에 기반하여 상기 유연기판 상에 형성된 인쇄패턴의 박막두께를 산출하는 단계를 포함하는 인쇄패턴 박막두께 검출 방법
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롤 상에서 이송중인 유연기판상에 형성된 인쇄패턴의 박막두께를 검출하는 장치에 있어서, 상기 유연기판 상에 형성된 인쇄패턴 및 상기 롤 사이의 정전용량을 검출하는 정전용량 센서;상기 롤의 표면 형상에 상응하는 와전류를 검출하는 와전류 센서; 및상기 와전류 센서에 검출된 결과로부터 상기 롤의 편심, 가공오차 그리고 마모에 의한 에러를 산출하며 또한 상기 정전용량 센서에 의해 검출된 결과로부터 상기 에러를 감산하여 상기 인쇄패턴의 두께에 상응하는 박막두께 검출값을 출력하는 데이터 처리부를 포함하는 인쇄패턴 박막두께 검출 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울특별시 건국대학교 산학협력단 서울시 산학연 협력사업(2006년 서울시 기술기반구축사업) 동부권 도심형 제조업 혁신을 위한 e-Printing 부품 산업 클러스터 구축