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기판 상에 배치된 구조물을 덮으며 기판 상면의 적어도 일부도 덮도록 사전 준비된 PMMA(Poly(methyl methacrylate))막을 배치시키는 단계;상기 PMMA막의 상기 구조물 상의 부분 중 적어도 일부인 제1부분과, 상기 PMMA막의 상기 기판 상의 부분 중 적어도 일부인 제2부분과, 상기 PMMA막의 상기 제1부분과 상기 제2부분을 연결하는 부분인 제3부분에, 제1도즈의 전자빔을 조사하여, 현상액과 박리액에 의해 제거되지 않도록 상기 PMMA막의 상기 제1도즈의 전자빔이 조사된 부분을 가교결합시키는 단계;상기 PMMA막의 상기 제1부분, 상기 제2부분 및 상기 제3부분의 주변에, 현상액에 의해 제거될 수 있도록, 상기 제1도즈보다 작은 제2도즈의 전자빔을 조사하는 단계;현상액을 이용해, 상기 PMMA막의 상기 제2도즈의 전자빔이 조사된 부분 중 상기 제1도즈의 전자빔이 조사된 부분 이외의 부분을 제거하는 단계;상기 기판의 상기 PMMA막이 제거된 부분과 상기 PMMA막 상에 도전층을 형성하는 단계; 및박리액을 이용해, 상기 PMMA막의 상기 제1부분, 상기 제2부분 및 상기 제3부분 이외의 부분을 상기 기판으로부터 박리시키는 단계;를 포함하는, 기판 상에 배치된 구조물과 기판을 전기적으로 연결하는 도전층 형성방법
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기판 상에 배치된 구조물을 덮으며 기판 상면의 적어도 일부도 덮도록 사전 준비된 PMMA막을 배치시키는 단계;상기 PMMA막의 상기 구조물 상의 부분 중 적어도 일부인 제1부분과, 상기 PMMA막의 상기 기판 상의 부분 중 적어도 일부인 제2부분과, 상기 PMMA막의 상기 제1부분과 상기 제2부분을 연결하는 부분인 제3부분과, 상기 PMMA막의 상기 제1부분과 상기 제2부분과 상기 제3부분의 주변에, 현상액에 의해 제거될 수 있도록, 제2도즈의 전자빔을 조사하는 단계;상기 PMMA막의 상기 제1부분, 상기 제2부분 및 상기 제3부분에, 상기 제2도즈보다 큰 제1도즈의 전자빔을 조사하여, 현상액과 박리액에 의해 제거되지 않도록 상기 PMMA막의 상기 제1도즈의 전자빔이 조사된 부분을 가교결합시키는 단계;현상액을 이용해, 상기 PMMA막의 상기 제2도즈의 전자빔이 조사된 부분 중 상기 제1도즈의 전자빔이 조사된 부분 이외의 부분을 제거하는 단계;상기 기판의 상기 PMMA막이 제거된 부분과 상기 PMMA막 상에 도전층을 형성하는 단계; 및박리액을 이용해, 상기 PMMA막의 상기 제1부분, 상기 제2부분 및 상기 제3부분 이외의 부분을 상기 기판으로부터 박리시키는 단계;를 포함하는, 기판 상에 배치된 구조물과 기판을 전기적으로 연결하는 도전층 형성방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 PMMA막을 배치시키는 단계는, 베이스기판 상에 PMMA층을 형성하는 단계와, 상기 PMMA층을 상기 베이스기판으로부터 분리하는 단계를 거쳐 얻은 것을 이용하는 단계인, 기판 상에 배치된 구조물과 기판을 전기적으로 연결하는 도전층 형성방법
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제3항에 있어서,상기 베이스기판은 산화 실리콘 또는 실리콘을 포함하는, 기판 상에 배치된 구조물과 기판을 전기적으로 연결하는 도전층 형성방법
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제4항에 있어서,상기 분리하는 단계는, 상기 산화 실리콘 또는 실리콘을 용해시킬 수 있는 액체에 상기 베이스기판을 침지하여 상기 PMMA층을 상기 베이스기판으로부터 분리하는 단계인, 기판 상에 배치된 구조물과 기판을 전기적으로 연결하는 도전층 형성방법
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제5항에 있어서,상기 액체는 수산화칼륨 수용액, 수산화나트륨 수용액 또는 불산 수용액인, 기판 상에 배치된 구조물과 기판을 전기적으로 연결하는 도전층 형성방법
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제5항에 있어서,상기 베이스기판으로부터 분리된 상기 PMMA층을 상기 PMMA막으로 이용하기에 앞서 초순수에 침지하는 단계를 더 포함하는, 기판 상에 배치된 구조물과 기판을 전기적으로 연결하는 도전층 형성방법
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제1항에 있어서,상기 제2도즈의 전자빔을 조사하는 단계는, 상기 PMMA막의 상기 제1부분과, 상기 PMMA막의 상기 제2부분과, 상기 PMMA막의 상기 제3부분과, 상기 PMMA막의 상기 제1부분과 상기 제2부분과 상기 제3부분의 주변까지 일체(一體)의 영역에 조사하는 단계인, 기판 상에 배치된 구조물과 기판을 전기적으로 연결하는 도전층 형성방법
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