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와이어 디핑 코팅층의 두께측정방법

  • 기술번호 : KST2015177743
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 와이어 디핑 코팅층의 두께측정방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 디핑 코팅층의 두께측정방법은 디핑 용액을 와이어 표면에 코팅하는 단계, 와이어의 디핑 코팅층의 두께를 측정하기 전에 코팅층을 구분하는 목적으로 코팅 장비를 이용한 새로운 코팅층을 형성하는 재코팅 단계, 재코팅 단계를 거친 상기 와이어의 코팅층을 측정하기 위한 시료(sample)를 만드는 섹션 단계 및 섹션 단계를 거쳐 생성된 시료(sample)를 투과전자현미경(TEM)을 이용하여 코팅층의 두께를 측정하는 단계를 포함한다.와이어, 디핑(dipping) 코팅, 투과전자현미경(TEM), 초박막절편법
Int. CL G01N 1/28 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) G01B 21/08 (2006.01)
CPC G01B 7/066(2013.01) G01B 7/066(2013.01) G01B 7/066(2013.01) G01B 7/066(2013.01)
출원번호/일자 1020070067702 (2007.07.05)
출원인 강원대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0865764-0000 (2008.10.22)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20081029) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.07.05)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 강원대학교산학협력단 대한민국 강원도 춘천시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임성환 대한민국 강원 춘천시
2 윤진영 대한민국 강원 원주시
3 김형균 대한민국 강원 춘천시 후평*
4 탁용덕 대한민국 강원 홍천군
5 이택우 대한민국 강원 춘천시 효

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정현 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층 (역삼동, 신명빌딩)(한맥국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2007-0492374-55
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0181715-07
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.05.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0366778-54
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2008-0366774-72
5 등록결정서
Decision to grant		 2008.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0500857-10
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5075634-10
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-5249875-98
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.03.08 수리 (Accepted) 4-1-2012-5049179-27
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5230938-29
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
디핑(dipping) 용액을 와이어(wire) 표면에 코팅하는 단계;상기 와이어의 디핑 코팅층의 두께를 측정하기 전에 코팅층을 구분하는 목적으로 이온 빔 스퍼터링(IBS/e) 코팅장비를 이용한 새로운 백금(Pt) 또는 텅스텐(W) 코팅층을 형성하는 재코팅 단계;상기 재코팅 단계를 거친 상기 와이어의 코팅층을 측정하기 위한 시료(sample)를 만드는 섹션 단계;및상기 섹션 단계를 거쳐 생성된 시료(sample)를 투과전자현미경(TEM)을 이용하여 코팅층의 두께를 측정하는 단계를 포함하는 와이어 디핑 코팅층의 두께측정방법
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 섹션 단계는, 와이어를 합성수지에 포매(embedding)하는 단계;및다이아몬드 나이프를 이용하여 시료(sample)를 채취하는 초박막절편법 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 디핑 코팅층의 두께측정방법
4 4
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 섹션 단계는 상기 와이어의 시료(sample)를 얻기 위한 수단으로 초박막 절편법을 이용하되,골드 와이어(gold wire)의 경우에는 -160℃~-120℃의 저온 분위기를 유지할 수 있는 액체질소를 이용한 저온초박막절편법을 통해 시료(sample)를 형성하는 것을 특징으로 하는 와이어 디핑 코팅층의 두께측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.