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측정대상물의 측방향에 소정각도를 이루도록 설치되어 광대역 파장의 레이저빔을 조사하도록 하는 레이저;조사된 상기 레이저빔이 상기 측정대상물로부터 직접반사되는 직접반사빔, 회절 및 간섭되는 회절 및 간섭빔, 산란되는 산란빔을 각각 검출하는 광검출장치;를 포함하며,산란된 레이저빔이 배제되도록 하기식에 의해 연산된 값을 상기 마이크로 컴퓨터에 의한 표면조도 연산에 적용시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 광학소자 어레이의 3차원 표면조도 측정장치
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제 2 항에 있어서, 상기 측정대상물은 스테이지에 의해 이송됨과 동시에 3차원 표면조도가 측정되는 특징으로 하는 마이크로 광학소자 어레이의 3차원 표면조도 측정장치
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제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 광검출장치로부터 검출된 레이저빔을 전기적 신호로 변환시키는 A/D변환기;상기 A/D변환기에 의해 변환된 전기신호를 이용하여 프로그래밍된 프로그램에 의해 3차원 표면조도를 연산하는 마이크로 컴퓨터;를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 광학소자 어레이의 3차원 표면조도 측정장치
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제 4 항에 있어서, 상기 마이크로 컴퓨터에 의해 연산된 3차원 표면조도값을 화면에 출력하도록 하는 디스플레이;를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 광학소자 어레이의 3차원 표면조도 측정장치
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제 4 항에 있어서, 상기 측정대상물의 상부에 설치되어 상기 측정대상물의 측정되는 표면을 실시간으로 모니터링하기 위한 CCD 카메라가 더 구비된 것을 특징으로 하는 마이크로 광학소자 어레이의 3차원 표면조도 측정장치
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a) 측정대상물과 소정각도를 이루도록 설치되는 레이저에 의해 광대역 파장의 레이저빔을 측정대상물에 조사하는 단계;b) 조사된 상기 레이저빔이 상기 측정대상물로부터 직접반사되는 직접반사빔, 회절 및 간섭되는 회절 및 간섭빔, 산란되는 산람빔을 광검출장치에 의해 각각 검출하는 단계;c) 상기 광검출장치들로부터 검출된 레이저빔을 A/D변환기에 의해 전기적 신호로 변환시키는 단계;d) 상기 A/D변환기에 의해 변환된 전기신호를 이용하여 프로그래밍된 마이크로 컴퓨터에 의해 3차원 표면조도를 연산하되, 산란된 레이저빔이 배제되도록 R=(B-C)/(A-C)(A: 직접 반사된 레이저빔의 강도,B: 1차 회절된 레이저빔 강도, C: 측정대상물의 산란원에 의한 산란된 레이저빔의 강도)식에 의해 연산된 값을 적용하여 3차원 표면조도를 연산하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 광학소자 어레이의 3차원 표면조도 측정방법
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제 7 항에 있어서, e) 상기 3차원 표면조도 연산단계에서 연산된 3차원 표면조도값을 화면에 출력하는 단계;를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 광학소자 어레이의 3차원 표면조도 측정방법
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제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 표준물질을 이용하여 마이크로 컴퓨터에 의한 연산 단계를 교정하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광학소자 어레이의 3차원 표면조도 측정방법
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제 9 항에 있어서, 상기 측정대상물은 스테이지에 의해 이송됨과 동시에 3차원 표면조도가 측정되는 특징으로 하는 마이크로 광학소자 어레이의 3차원 표면조도 측정방법
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제 10 항에 있어서, 상기 측정대상물의 상부에 설치되어 상기 측정대상물의 측정되는 표면을 CCD 카메라에 의해 실시간으로 모니터링되는 것을 특징으로 하는 마이크로 광학소자 어레이의 3차원 표면조도 측정방법
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