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테라헤르츠파 분광기에 있어서,
반복주파수를 가지면서 광 모드들의 집합인 팸토초 광 펄스를 각각 발생시키는 2개의 팸토초 펄스레이저;
각각의 상기 팸토초 펄스레이저로부터 발생된 각각의 상기 팸토초 광 펄스를 이용하여 상기 반복주파수를 가지면서 테라헤르츠 모드들의 집합인 테라헤르츠 펄스파를 발생시키는 2개의 테라헤르츠 펄스파 발생기;
각각의 상기 테라헤르츠 펄스파를 결합시켜 결합된 테라헤르츠 펄스파를 형성시키는 테라헤르츠 빔스플리터;
상기 결합된 테라헤르츠 펄스파를 샘플에 투과한 후, 상기 샘플을 투과한 상기 결합된 테라헤르츠 펄스파를 검출하여 검출신호를 출력하는 테라헤르츠 검출기;
상기 테라헤르츠 검출기에서 검출한 상기 검출신호와 트리거 신호를 받아 시간영역데이터를 획득하는 데이터획득장치; 및
상기 시간영역데이터를 푸리에 변환하여 반복주파수에 해당하는 주파수 분해능을 갖는 스펙트럼을 얻는 분석수단;을 포함하고,
상기 팸토초 펄스레이저에 연결된 반복주파수안정화장치를 더 포함하여,
상기 반복주파수안정화장치에 의해 각각의 상기 팸토초 펄스레이저에서 발생되는 각각의 상기 팸토초 광 펄스의 서로 다른 상기 반복주파수가 안정화되고, 각각의 상기 팸토초 광 펄스의 서로 다른 상기 반복주파수의 주파수차이를 안정화시키고,
상기 테라헤르츠 빔스플리터는,
테라헤르츠 간섭계를 구성하여 상기 테라헤르츠 펄스파를 결합시켜 상기 샘플에 투과시키고,
상기 시간영역데이터는, 상기 반복주파수의 차이에 의해 시간지연에 대한 정보를 구비하고, 상기 시간지연의 전체 변화폭은 상기 반복주파수의 역수에 해당하고,
상기 시간영역데이터는 평균화에 의해 잡음을 줄여서 원하는 신호대 잡음비를 획득하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 펄스파 푸리에 변환 분광기
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2
제 1항에 있어서,
상기 팸토초 광 펄스는 각각 서로 다른 상기 반복주파수를 가지고,
상기 테라헤르츠 펄스파도 각각 서로 다른 상기 반복주파수를 갖는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 펄스파 푸리에 변환 분광기
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3
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5
삭제
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제 2항에 있어서,
상기 테라헤르츠 펄스파 발생기는,
광전도 안테나, 광정류를 이용하는 비선형결정 또는 표면을 이용하는 반도체인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 펄스파 푸리에 변환 분광기
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7
제 2항에 있어서,
상기 테라헤르츠 빔스플리터는,
테라헤르츠 간섭계를 구성하여 상기 테라헤르츠 펄스파를 결합시켜 상기 샘플에 투과시키는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 펄스파 푸리에 변환 분광기
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8
제 1항에 있어서,
상기 테라헤르츠 검출기는,
상기 샘플을 투과한 상기 결합된 테라헤르츠 펄스파의 강도를 측정하는 강도 검출기인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 펄스파 푸리에 변환 분광기
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9
제 8항에 있어서,
상기 강도 검출기는 볼로미터, 뉴매틱검출기 또는 초전성 검출기인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 펄스파 푸리에 변환 분광기
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10
제 1항에 있어서,
상기 트리거 신호는,
상기 반복주파수들의 차주파수를 갖는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 펄스파 푸리에 변환 분광기
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11
제 10항에 있어서,
상기 트리거 신호는,
광학적인 합주파수 또는 전기적인 차주파수 발생으로 형성되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 펄스파 푸리에 변환 분광기
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삭제
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13
제 1항에 있어서,
상기 데이터획득장치는 오실로스코프 또는 디지타이저인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 펄스파 푸리에 변환 분광기
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14
삭제
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제 1항의 분광기를 이용한 분광방법에 있어서,
2개의 팸토초 펄스레이저가 각각 서로 다른 반복 주파수를 가지면서 광 모드들의 집합인 팸토초 광 펄스를 발생시키는 단계;
각각의 상기 팸토초 광 펄스를 이용하여 2개의 테라헤르츠 펄스파 발생기에 의해 각각 서로 다른 상기 반복 주파수를 가지면서 테라헤르츠 모드들의 집합인 테라헤르츠 펄스파를 발생시키는 단계;
각각의 상기 테라헤르츠 펄스파를 테라헤르츠 빔스플리터를 이용하여 결합시켜 결합된 테라헤르츠 펄스파를 형성하는 단계;
상기 결합된 테라헤르츠 펄스파를 샘플에 투과시키는 단계;
상기 샘플에 투과된 상기 결합된 테라헤르츠 펄스파를 테라헤르츠 검출기로 검출하여 검출신호를 출력하는 단계;
차주파수를 갖는 트리거 신호를 생성하는 단계;
데이터획득장치가 상기 테라헤르츠 검출기의 상기 검출신호와 상기 트리거 신호를 전송받아 시간영역데이터를 얻는 단계; 및
분석 수단에 의해 상기 시간영역데이터를 푸리에 변환하여 상기 반복주파수에 해당하는 주파수 분해능을 갖는 스펙트럼을 얻는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 펄스파 푸리에 변환 분광기를 이용한 분광방법
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16
제 15항에 있어서,
상기 팸토초 광 펄스 발생 단계에서,
반복주파수안정화장치에 의해 상기 반복주파수가 안정화된 팸토초 광펄스를 발생하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 펄스파 푸리에 변환 분광기를 이용한 분광방법
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17
제 16항에 있어서,
상기 반복주파수안정화장치는,
상기 팸토초 광 펄스의 서로 다른 상기 반복주파수의 주파수차이를 안정화시키거나, 상기 팸토초 광 펄스의 서로 다른 상기 반복주파수 각각을 안정화시키는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 펄스파 푸리에 변환 분광기를 이용한 분광방법
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18
제 15항에 있어서,
상기 시간영역데이터를 얻는 단계에서,
상기 시간영역데이터는,
상기 반복주파수의 차이에 의해 시간지연에 대한 정보를 구비하고,
상기 시간지연의 전체 변화폭은 상기 반복주파수의 역수에 해당하는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 테라헤르츠 펄스파 푸리에 변환 분광기를 이용한 분광방법
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19
제 18항에 있어서,
상기 시간영역데이터는,
평균화에 의해 잡음을 줄여 신호대 잡음비를 획득하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 펄스파 푸리에 변환 분광기를 이용한 분광방법
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제 19항에 있어서,
상기 데이터획득장치는 오실로스코프 또는 디지타이저이고,
상기 트리거 신호는,
상기 반복주파수들의 차주파수를 가지고, 그리고
광학적인 합주파수 발생방법 또는 전기적인 차주파수 발생방법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 펄스파 푸리에 변환 분광기를 이용한 분광방법
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